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《稀有金属材料与工程》 2004年12期
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基于内涨鼓泡实验的金刚石膜附着强度精确定量评价

简小刚  陈明  孙方宏  张志明  沈荷生  
【摘要】:根据内涨作用下薄膜发生鼓泡变形的原理,开发了 1 种新的适用于金刚石膜附着强度精确定量评价的测试系统。并在传统的硅平面加工工艺的基础上发展了 1 种新的在沉积好的基片上制备自支撑窗口试样的方法,该方法可以保证在刻蚀基底形成自支撑窗口的同时不会损坏到薄膜。通过实验,实现了对硅基底金刚石膜结合强度的定量检测,实验得到的薄膜结合强度为 4.287 26 J/m2。实验所测得的附着强度结果与有限元仿真结果类比的吻合,证实了该模型的有效性,从而为金刚石膜的制备工艺优化及其质量的评估提供了可靠的依据和标准,对促进金刚石膜材料的深度开发和工程应用将具有积极的意义。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 龙剑平;汪灵;张湘辉;常嗣和;;低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜/基附着性能压痕测试分析[J];材料工程;2006年09期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 简小刚,孙方宏,赵国伟,刘国良,陈明;金刚石薄膜膜基界面结合强度测量技术的研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2002年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 龙剑平;汪灵;张湘辉;常嗣和;;低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜/基附着性能压痕测试分析[J];材料工程;2006年09期
2 张志明,沈荷生,孙方宏,何贤昶,万永中;CVD金刚石涂层拉丝模的研制与应用[J];工具技术;2000年04期
3 简小刚,孙方宏,赵国伟,刘国良,陈明;金刚石薄膜膜基界面结合强度测量技术的研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2002年03期
4 杨班权;陈光南;张坤;罗耕星;肖京华;;涂层/基体材料界面结合强度测量方法的现状与展望[J];力学进展;2007年01期
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 龙剑平;汪灵;张湘辉;常嗣和;;低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜/基附着性能压痕测试分析[J];材料工程;2006年09期
2 简小刚,孙方宏,赵国伟,刘国良,陈明;金刚石薄膜膜基界面结合强度测量技术的研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2002年03期
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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5 记者 周文斌;我金刚石薄膜技术达世界先进水平[N];光明日报;2001年
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7 刘苒;我国金刚石薄膜开发取得重大进展[N];科技日报;2001年
8 北京科技大学 吕反修;金刚石膜:带起一个产业群[N];科技日报;2001年
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中国博士学位论文全文数据库 前9条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李超;金刚石薄膜的制备形核及其半导体性质的研究[D];长春理工大学;2002年
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3 赵锴;活性钎料与金刚石膜的润湿性试验研究[D];河北工业大学;2002年
4 吴海兵;EACVD金刚石成膜设备与技术的研究[D];南京航空航天大学;2002年
5 徐峰;CVD金刚石厚膜的加工技术研究[D];南京航空航天大学;2002年
6 陈君;电火花抛光CVD金刚石膜研究[D];广东工业大学;2002年
7 彭文武;CVD金刚石厚膜高效抛光的基础研究[D];南京航空航天大学;2003年
8 陈春林;机械与氧化化学法抛光金刚石膜研究[D];广东工业大学;2003年
9 朱胤;EACVD金刚石膜设备的控制技术及实验研究[D];南京航空航天大学;2004年
10 吕志勇;活性涂层钎料的制备及其钎焊金刚石膜的研究[D];河北工业大学;2004年
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