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《稀有金属材料与工程》 2003年08期
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衬底对铟凸点织构的影响研究

刘豫东  崔建国  马莒生  
【摘要】:为研究衬底材料对所溅射的铟织构模式的影响,选用UBM(UnderBumpMetallization)膜、InSb单晶和无定形PR(光刻胶)3种不同衬底材料磁控溅射铟,实验对比了3种衬底材料对铟织构的影响。实验结果表明:铟的织构模式基本不受衬底材料的影响,其织构模式主要为强(101)丝织构和弱的(110)丝织构。这证明了铟的织构形成机理是典型的生长竞争机制。

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