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《材料科学与工程》 1994年01期
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化学气相淀积在无机新材料制备中的应用

郭新  袁润章  
【摘要】:本文讨论了化学气相淀积在超细粉,纳米复合材料及梯度功能材料制备中的应用,并结合实例分析了化学气相淀积的工艺特性及所制备材料的性能、显微组织特点。
【作者单位】武汉工业大学
【分类号】:TB321

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张莉;半导体纳米粒子的合成,性质及其光电化学应用[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2004年01期
2 姜军生,王宝友,黄传真;陶瓷刀具材料的现状与发展[J];山东陶瓷;2000年01期
3 雷闫盈,卫志贤,祖庸,吴金龙,王国辉,李小剑;年产20t纳米ZnO中试研究及生产[J];功能材料;2001年04期
4 王久亮,刘宽,秦秀娟,邵光杰;纳米氧化锌的应用研究展望[J];哈尔滨工业大学学报;2004年02期
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7 廖光辉;陈冬华;郭玉忠;吕飞;陆威;王洪益;;火焰气相沉积法合成纳米颗粒生长机制及影响因素[J];南方金属;2009年02期
8 李群,陈小林,姜万超;纳米氧化锌的制备与纳米功能纺织品的开发(下)[J];染整技术;2003年05期
9 王红艳,张莉;纳米氧化锌的制备及应用[J];宿州师专学报;2002年01期
10 李晓娥,樊安,祖庸;纳米级氧化锌的研究进展[J];现代化工;2000年07期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李群;;纳米氧化锌的制备与纳米功能纺织品的开发[A];2003“中大洁润丝杯”全国中青年染整工作者论坛论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 李运刚;熔盐电化学法制备Fe-W功能梯度材料的基础研究[D];东北大学;2005年
2 刘燕;金属材料表面仿生梯度纳米复合涂层的研究[D];吉林大学;2006年
3 姜银珠;气溶胶化学气相淀积及其制备陶瓷膜燃料电池功能层研究[D];中国科学技术大学;2007年
4 孙天军;氧化锌微/纳米材料的气相合成与表征[D];大连理工大学;2007年
5 王玉新;功能性纳米ZnO的调控制备、表征及其光催化性能研究[D];大连理工大学;2008年
6 吕春艳;氧化锌微/纳米材料的调控制备及性能研究[D];吉林大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 姜万超;纳米氧化锌的制备、改性及其在纺织品上的抗菌应用研究[D];青岛大学;2002年
2 王胜;并流沉淀法制备纳米氧化锌的工艺研究[D];兰州理工大学;2004年
3 陈立妙;几种金属复合氧化物纳米材料的合成结构与性能研究[D];中南大学;2004年
4 刘景亚;纳米氧化锌均匀沉淀法制备及理论研究[D];中南大学;2004年
5 李云;火焰CVD法合成二氧化钛纳米颗粒的数值模拟[D];大连理工大学;2005年
6 赵和平;火焰CVD法合成二氧化钛纳米颗粒的数值模拟[D];大连理工大学;2006年
7 潘洪亮;火焰CVD法合成二氧化钛纳米颗粒的数值模拟[D];大连理工大学;2006年
8 董楠;等离子喷涂法制备Cu-Al_2O_3梯度陶瓷涂层的组织及性能研究[D];西安理工大学;2007年
9 苑东生;AZ91HP镁合金表面电沉积纳米复合镀层的制备及性能研究[D];吉林大学;2007年
10 董福平;纳米ZnO改性LED封装用环氧树脂的抗紫外老化研究[D];重庆大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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3 许宇庆,张其土;激光诱导化学气相沉积制备SiC、Si_3N_4超细粉末[J];硅酸盐通报;1992年04期
4 李春忠,胡黎明,陈敏恒,朱远征,程晓鸣;化学气相淀积技术合成AIN超细粉末[J];硅酸盐学报;1993年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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3 易万兵;涂瑞能;张炳一;吴谨;毛杜立;邹世昌;;化学气相淀积在集成电路制造后段工艺中的应用[J];半导体技术;2005年11期
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6 喻志农;薛唯;郑德修;孙鉴;;退火处理对等离子体显示器中氧化镁薄膜特性的影响[J];北京理工大学学报;2006年01期
7 喻志农;相龙锋;薛唯;王华清;卢维强;;离子辅助反应蒸发技术室温制备ITO薄膜[J];北京理工大学学报;2007年10期
8 谭满清,林永昌,周建;窄带高反膜的研究[J];北京理工大学学报;1996年04期
9 周海,吴大兴;对DC-PCVD装置沉积Si_3N_4薄膜机理的研究[J];北京石油化工学院学报;1997年01期
10 蔡文;黄文旵;臧春雨;王永宪;;Glan-Taylor棱镜的加工与镀膜工艺研究[J];玻璃与搪瓷;2008年05期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 周言敏;李建芳;王君;袁勇;梅高国;;宽光谱监控法制作红外超宽带减反膜[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2 李建芳;周言敏;王君;袁勇;梅高国;;光学薄膜在激光测距望远镜中的应用及设计[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
3 王华清;卢维强;薛唯;喻志农;;光学镀膜的AB监控法[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
4 赵升林;孙龙;;薄膜沉积的影响因素和修正方法的研究[A];第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
5 毕军;易葵;于洪文;;电子束蒸发镀膜膜厚均匀性研究[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
6 任秀娟;曹雪峰;;关于蓝宝石减反膜的研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨田林;Zn_3N_2薄膜及AZO/Cu/AZO多层薄膜的制备与特性研究[D];天津大学;2010年
2 崔岩;气流粉碎过程的破碎理论研究及计算机仿真系统开发[D];华东理工大学;2011年
3 赵晓华;单晶硅基LaB_6薄膜的磁控溅射制备工艺及生长机制[D];山东大学;2011年
4 尹伊;铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究[D];浙江大学;2011年
5 张晓飞;液相基底表面纳米尺度金属原子岛的结构及生长机理研究[D];浙江大学;2012年
6 曲炳郡;TiNi形状记忆合金薄膜制备工艺及其单元互联微执行器研究[D];大连理工大学;2002年
7 王学华;TiO_2薄膜的结构、特性及生长模式的研究[D];武汉理工大学;2003年
8 司磊;低压反应离子镀设备关键技术研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2000年
9 邹武;三维纺织C/SiC复合材料的制备及其性能研究[D];西北工业大学;2001年
10 马德伟;带隙可调的Zn_(1-x)Cd_xO合金半导体薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
2 耿似玉;用于紫外指纹仪的短波通滤光片的研制[D];长春理工大学;2010年
3 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
4 马向丽;ZnO薄膜及其光电器件的室温制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
5 卢晨盈;修正板改善薄膜厚度均匀性的研究[D];武汉理工大学;2011年
6 胡岗;Mo掺杂In_2O_3薄膜的电磁性能研究[D];武汉理工大学;2011年
7 张云霏;碳化硼粉体的低温合成[D];大连理工大学;2011年
8 吕江涛;碳纳米线圈的直径控制及其光操纵研究[D];大连理工大学;2011年
9 齐瑞云;制备参数对二氧化铪薄膜应力及光学特性的影响[D];曲阜师范大学;2011年
10 郝思坤;用低能量/光电子显微镜研究Si基片上Pb岛的生长和熔化[D];兰州大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张萍,张平,李大成;肤色氧化锌的制备[J];四川有色金属;1997年01期
2 刘小群,江宏富,姚文锐;硫化氢脱除技术研究进展[J];安徽化工;2004年05期
3 李晓奇,高首山,王开明,温传庚,周英彦;纳米ZnO粉体的制备[J];鞍山钢铁学院学报;2001年02期
4 马胜利,徐可为;等离子体化学气相沉积(PCVD)硬质膜成膜理论[J];兵器材料科学与工程;2000年02期
5 杨元政,刘正义,庄育智;等离子喷涂Al2O3陶瓷涂层的结构与组织特征[J];兵器材料科学与工程;2000年03期
6 袁秦鲁,胡锐,李金山,吕振林;梯度复合材料制备技术研究进展[J];兵器材料科学与工程;2003年06期
7 赵文轸,苏勋加,王汉功;铝表面激光熔覆硬质合金层的结合强度[J];兵器材料科学与工程;1997年01期
8 王新强,杜国同,姜秀英,王金忠,杨树人;ZnO薄膜的研究进展[J];半导体光电;2000年04期
9 武俊齐;微型传感器及纳米传感器[J];半导体情报;1998年03期
10 赵广杰;木材中的纳米尺度、纳米木材及木材-无机纳米复合材料[J];北京林业大学学报;2002年Z1期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 杨云志;陈治清;;梯度功能材料微观结构的分形表征[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 陈艺锋;ZnO晶须生长理论及热镀锌渣制备四针状晶须工艺研究[D];中南大学;2004年
2 贾素秋;镁合金的腐蚀行为与防护[D];吉林大学;2006年
3 范娜;前驱物热分解法和液相还原法制备纳米及亚微米级材料[D];山东大学;2007年
4 孙天军;氧化锌微/纳米材料的气相合成与表征[D];大连理工大学;2007年
5 王瑞祥;MACA体系中处理低品位氧化锌矿制取电锌的理论与工艺研究[D];中南大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 袁鑫;Nd:YAG激光照射制备SiC纳米晶须的研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 郭锐;FGM等离子喷涂的优化研究[D];长春理工大学;2002年
3 王利希;火焰CVD法合成二氧化钛纳米颗粒的数值模拟[D];大连理工大学;2004年
4 缪永建;超细氧化锌制备过程中的超声强化研究[D];中南大学;2002年
5 李云;火焰CVD法合成二氧化钛纳米颗粒的数值模拟[D];大连理工大学;2005年
6 赵和平;火焰CVD法合成二氧化钛纳米颗粒的数值模拟[D];大连理工大学;2006年
7 莫利蓉;纳米羟基磷灰石合成的比较研究及其体外溶解性能研究[D];四川大学;2006年
8 潘洪亮;火焰CVD法合成二氧化钛纳米颗粒的数值模拟[D];大连理工大学;2006年
9 石爱华;湘西铅锌矿锌焙砂制备纳米氧化锌的工艺研究[D];中南大学;2009年
10 孟春站;氮化镁粉末的制备及性质研究[D];山东大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨凤霞;刘其丽;毕磊;;纳米氧化锌的应用综述[J];安徽化工;2006年01期
2 江锡铭;方兆;陶海升;;L-半胱氨酸自组装单层膜修饰金电极测定抗坏血酸[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2006年05期
3 黄圆;王丽亚;董可秀;石建平;;一维光子晶体滤波器滤波性能的影响因素研究[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2008年03期
4 李海军;乔学亮;邱小林;陈建国;王维;;纳米氧化物的表面修饰研究进展[J];材料导报;2006年S2期
5 杜媛媛;丘克强;;纳米氧化锌的制备和应用研究[J];材料导报;2007年S1期
6 赵俊锋;陈建华;王旭红;沈晓冬;陆春华;;Ni掺杂ZnO晶体结构和红外光谱特性的研究[J];材料导报;2009年06期
7 张荣良;柳亚输;金云学;;针状纳米ZnO制备EP/ZnO复合材料及其力学性能的研究[J];材料工程;2011年12期
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10 陈其猛;易双萍;赵渺;王震虎;朱燕娟;;纳米添加剂对镍氢电池正极电化学性能的影响[J];电源技术;2010年08期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 赵晓娣;姚金波;丁毅;府佳萍;;纳米ZnO在抗菌拒水拒油整理方面的应用研究[A];第四届功能性纺织品及纳米技术研讨会论文集[C];2004年
2 李万灯;梁小平;蒋强;刘亚津;赵世海;;纳米陶瓷涂层技术在纺织机械中的应用[A];第五届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2005年
3 赵静;邓桦;张红敏;徐俊勇;;纳米ZnO抗紫外整理剂的制备及在棉织物上的应用研究[A];第八届功能性纺织品及纳米技术研讨会论文集[C];2008年
4 周忠诚;舒万艮;阮建明;邹俭鹏;李松林;;紫外线屏蔽剂纳米氧化锌的固相合成[A];2005塑料助剂生产与应用技术信息交流会论文集[C];2005年
5 印万忠;丁亚卓;;纳米氧化锌的制备技术现状和发展概况[A];中国纳米级无机粉体材料发展·节能·环保高峰论坛论文集[C];2007年
6 李明;李玉芳;;纳米氧化锌的生产和应用进展[A];中国纳米级无机粉体材料发展·节能·环保高峰论坛论文集[C];2007年
7 杨凤霞;刘其丽;毕磊;;纳米氧化锌的应用综述[A];中国纳米级无机粉体材料发展·节能·环保高峰论坛论文集[C];2007年
8 李彦生;李刚;高宏;;表面活性剂在纳米氧化锌制备和改性中应用研究进展[A];第十一届全国粉体工程学术会暨相关设备、产品交流会论文集[C];2005年
9 李群;;纳米氧化锌的制备与纳米功能纺织品的开发[A];2003“中大洁润丝杯”全国中青年染整工作者论坛论文集[C];2003年
10 班燕;丁辛;邢彦军;;TiO_2涂层芳纶纤维的抗紫外老化性能研究[A];第六届全国印染后整理学术研讨会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李榕;纳米至亚微米Bi_2O_3-Ln_2O_3(Ln=Y、Er、Dy)氧离子导体晶粒尺寸对性能的影响[D];上海大学;2011年
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3 周小岩;纳米氧化锌的制备及其气敏、光催化性能研究[D];中国石油大学;2011年
4 曾文;SnO_2/TiO_2体系气敏性能及其机理研究[D];重庆大学;2011年
5 曲蛟;锦州市铁合金厂土壤重金属污染分析、修复及植物产后利用的研究[D];东北师范大学;2011年
6 王春梅;β-环糊精在织物整理中的应用研究[D];东华大学;2011年
7 刘宝;氧化锌纳米晶的水热法制备及其掺杂改性研究[D];山东大学;2011年
8 郭兴忠;锌铅分离的理论及应用研究[D];重庆大学;2002年
9 江智渊;低维纳米材料的制备研究[D];厦门大学;2002年
10 严群;稀土氧化物及纳米氧化锌掺杂压敏材料的制备及机理研究[D];四川大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵殿栋;负载纳米ZnO非织造材料的制备和性能研究[D];江南大学;2010年
2 彭家成;Cu/WC功能梯度材料细观组织与力学性能的研究[D];昆明理工大学;2010年
3 范俊卿;纳米ZnO和钇铝石榴石的水热法制备及特性表征[D];烟台大学;2010年
4 刘淑洁;水热法制备六方柱状ZnO微晶的形貌、结构与光催化性能[D];武汉理工大学;2011年
5 朱明明;水热合成法制备一维取向ZnO纳米线阵列及光学特性研究[D];辽宁师范大学;2011年
6 李加智;超细粒α-PbO、ZnO的表面硫化络合研究[D];济南大学;2011年
7 徐丽亚;纳米氧化锌对不同可溶性染料的光催化性能的研究[D];南京理工大学;2010年
8 李陆柯;氧化锌基纳米发光材料的制备及其光学性能的研究[D];中南大学;2011年
9 邱培;高压系ZnO压敏电阻设计及其性能研究[D];华南理工大学;2011年
10 陈荣;Cu和Ag掺杂ZnO纳米材料的研究[D];汕头大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张其土,罗宏慧;示差分光光度法测定SiC中的总硅量[J];哈尔滨工业大学学报;1987年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 一木;;延长拉丝模寿命并改进其光洁度的涂层[J];金属制品;1991年02期
3 丁建良;;NEC开发室温CVD技术[J];化工新型材料;1992年05期
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6 朱宏杰,王新,李春忠,胡黎明;高频等离子体化学气相淀积法制备TiO_2超细粒子[J];华东理工大学学报;1994年05期
7 谢松,刘希,孟广耀;化学气相淀积法合成氮化铝薄膜及其工艺设计[J];高等学校化学学报;1996年06期
8 李春忠,胡黎明,陈敏恒;AlN 粉末制备的热力学分析和实验研究[J];无机材料学报;1992年04期
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10 夏冬梅;王荣华;王琦;韩平;谢自力;张荣;;生长温度对Si_(1-x)Ge_x∶C合金薄膜性质的影响[J];稀有金属;2007年S2期
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2 彭定坤;黄磊;孟广耀;;金属有机化合物化学气相淀积Pd-Ni膜的氢敏性能[A];第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集[C];2000年
3 葛瑞萍;韩平;吴军;俞斐;赵红;谢自力;张荣;郑有炓;;生长温度对Si_(1-x)Ge_x:C薄膜特性的影响[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
4 俞斐;吴军;韩平;王荣华;葛瑞萍;赵红;俞慧强;谢自力;徐现刚;陈秀芳;张荣;郑有炓;;4H-Si_(1-y)C_y合金的生长及特性[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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6 崔怀纲 王建冰;“金牛能源”超细粉系统年综合利用矿渣10万多吨[N];中国建材报;2006年
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8 本报记者 李建周 通讯员 王远征;努力创造三大新优势 奋力实现六个新突破[N];鹤壁日报;2011年
9 Mohith Verghese Fourmun Lee;原子层淀积技术[N];电子资讯时报;2008年
10 本版编辑李强 冯晓伟;非晶硅薄膜太阳能电池:成本优势显现 投资建线升温[N];中国电子报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
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2 张发生;4H-SiC同质外延薄膜及其高压肖特基二极管器件研究[D];湖南大学;2010年
3 刘继进;(CaO/Y_2O_3)-ZrO_2超细粉的制备及其电解质性能的研究[D];湖南大学;2002年
4 孟祥东;CVD法制备ZnO薄膜的发光特性研究及碱金属钛酸盐纳米线的合成与表征[D];中国科学技术大学;2006年
5 徐璋;超细粉再燃降低NOx排放的热态试验研究与数值模拟[D];浙江大学;2003年
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7 任继文;平板式氧化锆汽车氧传感器技术基础研究[D];华中科技大学;2007年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张丽娟;64K BiCMOS PROM的工艺实现[D];沈阳工业大学;2006年
2 殷月辉;RF-PCVD法纳米TiO_2的制备、表征及其光催化性能研究[D];太原理工大学;2002年
3 贾威;碳化硅外延材料生长及表征技术研究[D];西安电子科技大学;2006年
4 闫新强;碳化硅外延材料生长温度场模拟和表征技术研究[D];西安电子科技大学;2007年
5 季伟;锗硅外延工艺的调试和优化[D];复旦大学;2009年
6 李青民;6H-SiC上3C-SiC缓冲层及SiCGe薄膜的生长[D];西安理工大学;2008年
7 章蕾;后端low-k材料的制备及卷带封装的可靠性研究[D];复旦大学;2008年
8 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
9 胡浩;钨的淀积和钨刻蚀残留的改善[D];复旦大学;2008年
10 唐晓犇;使用超细粉再燃技术的锅炉炉内过程的数值模拟[D];华北电力大学(北京);2004年
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