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《材料科学与工程学报》 2008年05期
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非平衡磁控溅射沉积TiC/a-C多层膜的组织结构

肖晓玲  洪瑞江  林松盛  李洪武  侯惠君  
【摘要】:本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,分别以石墨和甲烷气体为碳源,制备TiC/a-C多层膜。利用X-射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC/a-C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析。结果表明:所制备的两种TiC/a-C薄膜中,TiC的晶粒呈柱状生长;用溅射石墨靶方法获得的TiC/a-C薄膜,无明显的层状结构,a-C相为石墨化和非石墨化的碳原子构成,碳原子的有序化程度较大;而采用甲烷气体为碳源沉积的TiC/a-C薄膜,呈规则的分层结构,碳原子的有序化程度低。采用过渡层及添加适当的金属元素能改善膜/基的结合强度。
【作者单位】广州有色金属研究院;
【基金】:广东省自然科学基金资助项目(06026151A)
【分类号】:O484.5

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张馨;肖晓玲;洪瑞江;罗承萍;林松盛;;掺杂钨类金刚石膜的显微结构与性能[J];机械工程材料;2009年09期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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3 林松盛;代明江;侯惠君;李洪武;朱霞高;林凯生;;掺钛类金刚石膜的微观结构研究[J];真空科学与技术学报;2007年05期
【共引文献】
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王惠,罗瑞盈,乔生儒,杨延清,冉新权;现代仪器分析技术在炭材料研究中的应用[J];炭素技术;1998年05期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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