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《材料科学与工艺》 2006年02期
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溶胶凝胶法制备ITO透明导电薄膜的工艺研究

李芝华  任冬燕  
【摘要】:以五水硝酸铟和乙酰丙酮为原料,以无水氯化锡为掺杂剂,采用溶胶凝胶工艺,用提拉法在石英玻璃基体上制备了ITO透明导电薄膜.采用DTA-TG、XRD、SEM等测试手段对薄膜从凝胶态向结晶态转变过程及微区形貌特点进行了表征,并利用四探针电阻率仪考察了热处理温度、提拉速度、冷却速度、提拉次数等工艺条件对薄膜的导电性能的影响.结果表明:ITO干凝胶膜在600℃热处理温度下完全转化为结晶态,ITO薄膜具有由球形粒子堆积而成的多孔结构;热处理温度与冷却速度均会对ITO薄膜的导电率产生重要影响.

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【引证文献】
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2 吕春艳;氧化锌微/纳米材料的调控制备及性能研究[D];吉林大学;2012年
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【参考文献】
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【共引文献】
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10 仉小猛;徐利华;程科;郝洪顺;何芳;;选钛尾矿胶态成型工艺制备SiAlON前驱体[A];2008年全国金属矿山难选矿及低品位矿选矿新技术学术研讨与技术成果交流暨设备展示会论文集[C];2008年
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3 王卓;A(Fe_(0.5)B_(0.5))O_3(A=Ba,Sr;B=Nb,Ta)陶瓷的巨介电效应及其调控[D];浙江大学;2010年
4 徐民;Nd_xLu_(1-x)VO_4系列激光晶体的生长及其性能研究[D];山东大学;2011年
5 张晓琳;微波法制备YAG粉体微观结构的调控及其烧结性的研究[D];山东大学;2011年
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7 颜涛;高品质铌酸锂、钽酸锂晶体的生长、结构与性质研究[D];山东大学;2011年
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9 刘怀菲;二元稀土氧化物复合稳定氧化锆热障涂层材料的制备及性能研究[D];中南大学;2011年
10 陈建林;Al掺杂与Al-Sc共掺杂ZnO薄膜的制备、微观组织及光电性能[D];湖南大学;2009年
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1 况琦;制备环境温度及紫外线灯照射改善ITO薄膜性能的研究[D];浙江理工大学;2010年
2 程慧;正交相Y_2Mo_3O_(12)薄膜的制备及光吸收性能研究[D];郑州大学;2010年
3 刘杰;基于时差法的超声波流量计设计[D];哈尔滨工程大学;2010年
4 龙颖;Al_2O_3陶瓷及其表面金属化的低温烧成技术研究[D];长沙理工大学;2009年
5 王敏;用于LTCC的微晶玻璃的制备及其性能研究[D];合肥工业大学;2010年
6 夏冬;高膨胀低温共烧陶瓷基板材料性能研究[D];华东理工大学;2011年
7 孙丽达;纳米ITO粉末制备工艺技术的研究[D];昆明理工大学;2009年
8 刘杰;(La、Nb)共掺杂TiO_2压敏陶瓷第二相研究[D];昆明理工大学;2010年
9 舒艺周;磷石膏碳热分解性能及工艺研究[D];昆明理工大学;2010年
10 方来鹏;Al-IB族掺杂ZnO薄膜的制备及第一性原理计算[D];昆明理工大学;2010年
【同被引文献】
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1 陈仕国;戈早川;;聚合物/碳黑气敏导电复合材料的研究进展[J];工程塑料应用;2006年03期
2 刘艳,谭中伟,傅永军,宁提纲,简水生;基于高非线性光纤四波混频的全光纤波长变换[J];半导体光电;2003年02期
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4 王军;林慧;杨刚;蒋亚东;张有润;;直流磁控溅射ITO薄膜的正交试验分析[J];半导体光电;2007年01期
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6 康晓东,尹树华,党利宏;喇曼和掺铒光纤放大器在WDM系统中的应用[J];半导体技术;2003年10期
7 张海霞,张泰华,郇勇;纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性[J];微纳电子技术;2003年Z1期
8 陈健;张江;高善民;曲荣君;;溶胶-凝胶旋涂法制备ITO薄膜[J];微纳电子技术;2007年03期
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1 魏慧英;氧化物半导体纳米材料的制备及光学性能研究[D];山东大学;2005年
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1 吴世华;铟锡醇盐的合成及ITO薄膜溶胶-凝胶法制备技术研究[D];昆明理工大学;2001年
2 辛科;铟锡氧化物(ITO)薄膜的制备工艺和性能研究[D];兰州大学;2008年
【二级引证文献】
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1 李春祥;谢桂香;温金瑜;;钴掺杂氧化锌的粉体制备和光催化性能研究[J];龙岩学院学报;2012年S1期
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1 王艳坤;纳米ZnO及掺杂La的ZnO/La(OH)_3混合膜的阴极电沉积研究[D];郑州大学;2010年
2 梅鑫涛;层状多孔ZnO自持膜的制备及其气敏性能研究[D];华中科技大学;2011年
3 梅松柏;稀土氧化物CeO_2、La_2O_3掺杂SnO_2基陶瓷的性能研究[D];东华大学;2009年
4 王道明;导电涂料的研制与应用[D];大连理工大学;2012年
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3 李湘海;铜及铜合金带材导电率的涡流测试方法[J];理化检验.物理分册;2005年08期
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1 尹若晶;ITO透明导电薄膜的研究[D];长春理工大学;2006年
2 赵岚;Sb掺杂SnO2薄膜的溶胶凝胶法制备及性能研究[D];华中科技大学;2004年
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6 李晶;ITO透明导电薄膜的溶胶凝胶法制备及工艺研究[D];中南大学;2004年
7 刘思远;ITO薄膜激光刻蚀控制系统的实现[D];苏州大学;2010年
8 邓志兵;溶胶—凝胶法制备ATO透明导电薄膜的光电性质[D];华中科技大学;2006年
9 袁振;微波烧结ITO靶材研究[D];中南大学;2011年
10 王磊;ITO薄膜晶体管的制备及其性能研究[D];湖南大学;2011年
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