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GaN薄膜制备技术的研究进展

赵丹  梁建  赵君芙  马淑芳  张华  许并社  
【摘要】:综述了近年来国内外GaN薄膜制备技术的研究进展,并重点介绍了其发展历程、所使用的设备和技术、各自的优缺点及应用前景。通过比较这些技术的优缺点展望了制备GaN薄膜技术的发展前景。

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