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《材料导报》 2007年S3期
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类金刚石薄膜的耐热性研究进展

谢红梅  聂朝胤  张碧云  曲燕青  
【摘要】:类金刚石薄膜具有良好的物理化学性能、光电性能、机械性能及摩擦学性能。但是在高于400℃的温度条件下,DLC膜易向石墨结构转变,从而阻碍了其在高温条件下的应用。因此关于类金刚石薄膜耐热性的研究是目前的一个热门研究课题。在综合分析近年来该领域研究的基础上总结了影响DLC膜耐热性的3种因素:膜结构、掺杂、制备方法,并分析了各种因素的影响机理。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前3条
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中国硕士学位论文全文数据库 前5条
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【同被引文献】
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1 常同钦;;类金刚石膜的物理特性及应用[J];表面技术;2006年05期
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3 华敏奇,袁振海;划痕试验法对特殊薄膜系结合力的检测与评价[J];分析测试技术与仪器;2002年04期
4 侯晏红,乔学亮,吴一平,李贺军;Ti-Al-N系功能梯度薄膜结合力的实验研究[J];功能材料;2000年S1期
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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3 任嗣利,杨生荣,张俊彦,张绪寿;自组装单分子膜的摩擦学研究进展[J];摩擦学学报;2000年05期
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6 江晓红,金元生,KAZACHENKO V P,POPOV A N,ROGACHEV A V;热处理对类金刚石碳薄膜力学和摩擦性能的影响[J];摩擦学学报;2004年03期
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9 闻荻江,沈风雷,王红卫;钛合金表面液相电解类金刚石碳膜的摩擦磨损性能[J];摩擦学学报;2005年03期
10 王成兵,李红轩,徐洮;相对湿度对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响[J];摩擦学学报;2005年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨伟毅;类金刚石膜的电子能谱(XAES,XPS)研究[J];真空科学与技术;1992年06期
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5 卫中山,左敦稳;类金刚石膜的制备及应用[J];航空精密制造技术;2004年01期
6 袁镇海,谢致薇,罗广南,邓其森,郑健红,戴达煌,付志强;真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究[J];广东有色金属学报;1997年02期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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4 李河清;陈小龙;倪代秦;吴星;;加籽晶升华法生长SiC单晶过程中料石墨化影响因素的研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
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6 杨雪;程勇;郭延龙;王会升;王淑云;朱孟真;米朝伟;;脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜新技术研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
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9 王吉会;贺小明;路新春;温诗铸;;等离子辅助沉积DLC膜的结构和微摩擦磨损特性[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
10 李钱陶;熊长新;杨长城;;基底温度对α-C:H膜微观结构的影响[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 刘艳红;介质阻挡放电制备类金刚石膜的研究[D];大连理工大学;2007年
2 李元昌;金属-π电子低维体系的第一性原理研究[D];清华大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 董云亮;热解碳化硅外延生长石墨烯[D];广西师范大学;2012年
2 李建;He(或Ar)+CH_4介质阻挡放电制备类金刚石膜的性能和沉积机理研究[D];大连理工大学;2004年
3 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
4 陈小锰;硅掺杂-DLC硬盘保护膜的制备及等离子体诊断[D];大连理工大学;2005年
5 陈明文;PECVD生长类金刚石薄膜的电学性质研究[D];厦门大学;2008年
6 赖起邦;类金刚石薄膜的制备和光学性质研究[D];厦门大学;2008年
7 张成武;磁过滤真空阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜[D];大连理工大学;2004年
8 牛丽芳;碳氮膜的生物相容性以及离子注入对聚丙烯材料的表面改性研究[D];天津师范大学;2002年
9 丁旭丽;类金刚石薄膜的制备及光学性质研究[D];曲阜师范大学;2009年
10 姜辉;中频非平衡磁控溅射制备DLC膜的工艺研究[D];四川大学;2007年
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