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《材料导报》 2006年S2期
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锆钛酸铅铁电薄膜电容的研究现状

张洪伟  张树人  杨艳  谢和平  相龙成  
【摘要】:介绍了Pb(Zr,Ti)O3,(PZT)铁电薄膜电容的研究现状,列举了不同电极和缓冲层所制备出的PZT铁电薄膜电容的结构,并对不同结构进行了分析比较,结果表明由于氧化物电极材料的各种优越性,已被证明可用于替代现有的金属电极材料,从而有效解决了PZT薄膜铁电性能退化的问题,是未来铁电薄膜电容的发展方向。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 束平;王姝娅;张国俊;戴丽萍;翟亚红;王刚;钟志亲;曹江田;;PZT铁电薄膜的反应离子刻蚀研究[J];压电与声光;2011年03期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 邵天奇,任天令,李春晓,朱钧;高介电常数材料在半导体存储器件中的应用[J];固体电子学研究与进展;2002年03期
2 任天令,张林涛,张武全,李春晓,刘理天,李志坚;一种新型硅基PT/PZT/PT夹心结构的电性能研究[J];压电与声光;2000年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐庆安;张景文;杨晓东;巨楷如;贺永宁;侯洵;;生长温度对L-MBE制备的ZnO薄膜性能的影响[J];半导体光电;2006年03期
2 周勋;左长明;邹泽亚;廖秀英;姬洪;罗木昌;刘挺;赵红;;二次退火对p型GaN的应变影响[J];半导体光电;2008年03期
3 李建丰;孙硕;欧谷平;张福甲;;Liq/ITO结构表面与界面的AFM和XPS研究[J];半导体光电;2008年03期
4 王丽春;张贵锋;侯晓多;姜辛;;镀铜玻璃衬底上柱状多晶硅薄膜的制备[J];半导体光电;2009年01期
5 杜宏伟;魏昕;林悦香;潘志国;江景涛;;LiTaO_3晶片CMP过程的化学去除机理研究[J];半导体技术;2008年03期
6 朱光耀;顾书林;朱顺明;;MOCVD ZnO缓冲层生长与退火研究[J];半导体技术;2008年S1期
7 郑明波,曹洁明,唐璐,常欣,邓少高,马贤佳,还大军,陶杰,徐国跃;自组装与纳米技术[J];微纳电子技术;2003年Z1期
8 郭冬云,王耘波,付承菊,于军;MEMS器件中的铁电材料[J];微纳电子技术;2004年03期
9 陶涛;苏辉;谢自力;张荣;刘斌;修向前;李毅;韩平;施毅;郑有炓;;PECVD法氮化硅薄膜生长工艺的研究[J];微纳电子技术;2010年05期
10 周昕,顾书林,叶建东,顺明,秦锋,刘伟,胡立群,张荣,施毅,郑有炓;ZnO纳米岛的MOCVD自组装生长[J];半导体学报;2004年07期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 胡明;高晓明;孙嘉奕;翁立军;杨军;伏彦龙;汪晓萍;;低温沉积的Ag和Ag-Cu薄膜的耐原子氧性能[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会2011学术交流会论文集[C];2011年
2 田晓宝;杨新华;操卫忠;;不同应变率条件下铁电体180°畴结构的力学行为模拟[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年
3 朱杰;骆亚娟;孙大志;朱玉丹;金雪琴;;梯度钛酸锶钡(Ba_xSr_(1-x)TiO_3)材料性能的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
4 安红娜;杨祖念;肖定全;余萍;刘志强;黄昕;;电化学法制备钼酸盐和钨酸盐薄膜的生长特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(10)[C];2007年
5 刘高旻;谢庆海;刘艺;王海晏;贺红亮;;PZT 95/5陶瓷FE→AFE相变区冲击放电规律研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
6 李颖;李变晓;邹文俊;董企铭;毛协民;;电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层制备工艺的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
7 董树荣;王德苗;金浩;;微扰和标定技术测量薄膜微波介电常数[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
8 郝斌魁;姜雪宁;张庆瑜;陈充林;;基片温度对反应射频磁控溅射法制备掺杂CeO_2电解质薄膜的影响[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
9 江勤;姜胜林;张海波;杨智兵;钟南海;;非制冷红外探测器用热释电材料的研究进展[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(E 光电子器件技术专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王希花;基于压电陶瓷迟滞非线性建模及控制系统的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 张光祖;钛酸锶钡场致效应及热释电特性研究[D];华中科技大学;2010年
3 吴云良;扫描近场光学显微镜若干关键技术研究[D];中国科学技术大学;2010年
4 柯常波;NiTi形状记忆合金中Ni_4Ti_3相沉淀行为的相场法模拟研究[D];华南理工大学;2010年
5 康慧珍;光折变表面波激发及其在二次谐波产生中的应用研究[D];南开大学;2010年
6 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
7 曾慧中;铁电/AlGaN/GaN半导体异质薄膜的界面表征研究[D];电子科技大学;2010年
8 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
9 周聪华;染料敏化太阳能电池中电极材料和寄生电阻的研究[D];武汉大学;2009年
10 朱晓莉;充满型钨青铜铌酸盐陶瓷的结构、介电性能与铁电相变[D];浙江大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李冲;超导材料性质和半导体表面重构及表面合金性质[D];郑州大学;2010年
2 王文杰;氧化钛基光电子器件[D];郑州大学;2010年
3 姜雅丽;La_2Mo_3O_(12)薄膜的制备和光学性能的研究[D];郑州大学;2010年
4 程慧;正交相Y_2Mo_3O_(12)薄膜的制备及光吸收性能研究[D];郑州大学;2010年
5 陈伟绩;玻璃衬底上GaN和InN制备的研究[D];大连理工大学;2010年
6 侯建伟;电子型铁电体的介电调谐性的研究[D];湘潭大学;2010年
7 王涛;镍/铁沉积薄膜微观结构及其特性的分子动力学研究[D];湘潭大学;2010年
8 王芳;Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)铁电纳米管的制备与表征[D];湘潭大学;2010年
9 项尚;BaTiO_3、SrTiO_3及Ba_(1-x)Sr_xTiO_3纳米材料的制备研究[D];湘潭大学;2010年
10 董广军;铁电薄膜的频率依赖关系研究[D];湘潭大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李于利;汪静;姚熹;张良莹;;不同PT厚度的PZT/PT复合薄膜的性能研究[J];电子元件与材料;2006年01期
2 娄利飞,肖斌,汪家友,杨银堂,李跃进;PZT铁电薄膜材料的ECR等离子体刻蚀研究[J];西安电子科技大学学报;2005年04期
3 郑可炉,褚家如,鲁健,李恒;PZT铁电薄膜湿法刻蚀技术研究[J];压电与声光;2005年02期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李志坚,任天令,刘理天;铁电-硅微集成系统[J];半导体学报;1999年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴家庆,黄岩彬,赵应丁,杨晓继,吴子宁;一种“绝对型”电容薄膜真空计的研制[J];真空科学与技术学报;1994年04期
2 孙绍伍;利用数字频率计测量电感电容值[J];北华大学学报(社会科学版);1995年08期
3 沈达逊;新型数字式电容在线测试仪[J];仪表技术;2000年01期
4 施华,舒琳,裴涛,王均宏;漏泄同轴电缆电容的有限差分法求解[J];铁道学报;2002年03期
5 仲崇权,兰敬辉,杨素英;一种消除分布电容影响的电阻测量方法[J];大连理工大学学报;2003年03期
6 庄新国,杨裕生,嵇友菊,杨冬平,唐致远;超级电容器炭电极材料孔结构对其性能的影响[J];物理化学学报;2003年08期
7 赵琳,蒋泽;平板电容器的边值分析(英文)[J];重庆邮电学院学报(自然科学版);2004年02期
8 SPRS;;V-Cap TFTF 特富龙电容评测[J];电子世界;2007年10期
9 唐炬,孙才新,苟海丰,陈荣柱;在线测量介质损耗的方法与误差分析[J];重庆大学学报(自然科学版);1998年05期
10 冯正鸣,赵学红,王永洪;浮子电容式石油密度传感器的研究[J];天津大学学报(自然科学与工程技术版);1998年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈学明;Bertram Hentschel;;石墨电极材料高速铣削加工需要兼顾其动态特性的影响(英文)[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
2 李悦明;李玮瑒;侴术雷;陈军;;多孔空心氢氧化镍电极材料的研究[A];第二十七届全国化学与物理电源学术年会论文集[C];2006年
3 杨晓欣;缪扬富;杨志强;;高端石墨的放电特性分析及应用[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
4 杨晓欣;缪扬富;杨志强;;高端石墨的放电特性分析及应用[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
5 李生娟;王树林;徐波;;超细活性炭电极材料的制备和性能[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
6 孙莞柠;应皆荣;黄震雷;任建国;高剑;姜长印;;锂二次电池有机硫化物电极材料的研究进展[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
7 刘志坚;唐华芬;李志友;曲选辉;;热电池用LiB合金的物相组成及对放电性能影响[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
8 马衍伟;张熊;余鹏;陈尧;;新型超级电容器纳米电极材料的研究[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
9 罗劼;R.Stevens;;固体氧化物燃料电池(英文)[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
10 郭嘉琳;张富巨;章少华;罗传红;李朝志;;电火花精密堆焊的材料选择与工艺优化[A];湖北省暨武汉焊接学会成立二十五周年2005年焊接学术年会文集[C];2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 广西 郑智敏;电容失效导致电脑不开机[N];电子报;2008年
2 ;FDK开发新的电极材料技术[N];中国有色金属报;2002年
3 湖北 朱少华;电压不足时支持电信电源的小电容介绍[N];电子报;2009年
4 山西 王东升;简介有关电场演示用的电量表(三)[N];电子报;2009年
5 驻太仓首席记者 徐允上;功能膜 让电容能量增强5000倍[N];苏州日报;2011年
6 山西 王东升;简介有关电场演示用的电量表(四)[N];电子报;2009年
7 编译 北京汇冠新技术股份有限公司董事长 刘新斌;投射电容触摸技术[N];中国计算机报;2010年
8 周硕;杜邦开发不用钌的PDP电极材料[N];电子资讯时报;2008年
9 山东 王东升;简介有关电场演示用的电量表(二)[N];电子报;2009年
10 杨建峰 李小明 张彦杰;动力型锂电池通过国家级认定[N];中国船舶报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李建华;前驱体法制备PZT/ZrO_2纳米复相陶瓷性能研究[D];天津大学;2009年
2 余璟;基于PZT阻抗技术的结构损伤识别研究[D];华中科技大学;2011年
3 冯铁程;B位先驱体法制备PZT/ZrO_2复合压电陶瓷及其性能研究[D];天津大学;2010年
4 邓启煌;多场耦合条件下MSP测试系统的建立及在PZT陶瓷中的应用[D];东华大学;2012年
5 孟凡明;自动激活锌银储备电池电极材料的制备技术与性能研究[D];四川大学;2004年
6 程爽;锰/钴氧化物超级电容电极材料的制备和性能研究[D];兰州大学;2012年
7 晁小练;低温烧结PZT基压电陶瓷材料的研究及器件开发[D];陕西师范大学;2010年
8 王六平;有序介孔炭基超级电容器电极材料的制备及性能研究[D];大连理工大学;2012年
9 陈金伙;有机场效应晶体管的研究与试制[D];兰州大学;2006年
10 丹媛媛;PbO_2基纳米氧化物复合功能电极材料的制备及性能研究[D];吉林大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵敬伟;PbZr_(0.4)Ti_(0.6)O_3铁电电容器的集成研究[D];河北大学;2010年
2 黄玲;PZT薄膜热退火工艺的研究及微传感器的制备[D];武汉理工大学;2011年
3 未治奎;PZT95/05薄膜的制备及介电特性研究[D];天津师范大学;2011年
4 张雪珍;溶胶—凝胶法制备PZT薄膜的研究[D];长春理工大学;2011年
5 赵奉阔;锑锂复合取代的PZT二元体系的研究[D];天津大学;2012年
6 李瑛娟;稀土掺杂PZT压电陶瓷与薄膜材料的制备研究[D];昆明理工大学;2012年
7 曾辉;PZT薄膜的制备和电性质研究[D];南京航空航天大学;2010年
8 杨晓鸾;PZT/Ag_2O-NPs/PZT复合薄膜的光电特性[D];苏州大学;2012年
9 文宝华;PZT基铁电陶瓷材料疲劳特性研究[D];北京化工大学;2012年
10 张吕权;压电微探针中PZT薄膜与硅尖制备工艺的研究[D];大连理工大学;2010年
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