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《材料导报》 2006年01期
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ZnO基紫外探测器的研究进展

赵懿琨  连洁  张飒飒  王公堂  宫文栎  于元勋  卜刚  
【摘要】:ZnO是一种新型的宽带隙半导体光电材料,可用于制作高性能的紫外探测器,是未来半导体紫外探测器的发展重点。介绍了ZnO基紫外探测器常见的器件结构、探测材料的基本特性和主要制备方法,以及器件近期的研究进展,并扼要分析了其今后的发展方向。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 韦敏;邓宏;王培利;李阳;;ZnO基紫外探测器的研究进展与关键技术[J];材料导报;2007年12期
2 双丹;朱星星;;纳米ZnO的制备及退火温度对结晶的影响[J];湖南工程学院学报(自然科学版);2007年02期
3 范晓玲;刘俊成;刘云燕;;ZnO基紫外探测器及关键技术研究[J];激光与红外;2009年05期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 徐苗;基于聚合物—富勒烯体异质结光伏器件的应用研究[D];华南理工大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 刘明;水热法制备过渡金属掺杂ZnO及其光学性质研究[D];西北大学;2011年
2 隋光辉;共溅射法制备Mg_xZn_(1-x)O薄膜及光电性能研究[D];长春理工大学;2011年
3 赵春雷;氧化锌基紫外探测器的制备与研究[D];吉林建筑工程学院;2010年
4 代红丽;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜的工艺优化及其发光性能研究[D];西北大学;2006年
5 陈政;强发光纳米ZnO的模板法制备及烧结工艺研究[D];西北工业大学;2007年
6 高荣顺;ZnO紫外光敏电阻制备及电子能带分析[D];广州大学;2008年
7 吕婷;溶胶—凝胶法制备Zn_(1-x)Mg_xO、Zn_(1-x)Mn_xO薄膜及其发光性能研究[D];西北大学;2009年
8 李杰;MSM结构紫外探测器的性能测试与研究[D];电子科技大学;2010年
9 何俊刚;ZnO光电导纳米材料及其半导体性质研究[D];广州大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 吕建国,叶志镇,汪雷;ZnO薄膜紫外受激发射研究的最新进展[J];半导体光电;2002年03期
2 熊传兵,方文卿,蒲勇,戴江南,王立,莫春兰,江风益;衬底温度对常压MOCVD生长的ZnO单晶膜的性能影响[J];半导体学报;2004年12期
3 马瑾,计峰,李淑英,马洪磊;退火处理对氧化锌透明导电膜的结构及电学特性的影响[J];半导体学报;1998年06期
4 汪雷;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱研究[J];材料科学与工程;2002年03期
5 叶志镇,张银珠,陈汉鸿,何乐年,邹璐,黄靖云,吕建国;ZnO光电导紫外探测器的制备和特性研究[J];电子学报;2003年11期
6 高晖,邓宏,李燕;ZnO肖特基势垒紫外探测器[J];发光学报;2005年01期
7 马瑾,计峰,马洪磊,李淑英;蒸发制备ZnO薄膜的结构及光学电学特性的研究[J];太阳能学报;1995年02期
8 叶志镇,张银珠,徐伟中,吕建国;ZnO薄膜p型掺杂的研究进展[J];无机材料学报;2003年01期
9 吕建国,陈汉鸿,叶志镇;ZnO薄膜的研究与开发应用进展[J];压电与声光;2002年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 胡春香;陶向阳;;脉冲激光沉积ZnO薄膜的结构和光学特性[J];安阳师范学院学报;2006年02期
2 李琳;季振国;张亚红;韩伟智;;氧化锌薄膜紫外光电导机理研究[J];半导体光电;2006年01期
3 徐庆安;张景文;杨晓东;巨楷如;贺永宁;侯洵;;生长温度对L-MBE制备的ZnO薄膜性能的影响[J];半导体光电;2006年03期
4 朱丽红;许海军;姚志涛;李新建;;ZnO/Si纳米孔柱阵列的真空蒸镀及其光致发光特性[J];半导体光电;2008年01期
5 孙剑;白亦真;谷建峰;刘明;张庆瑜;;基片温度对金刚石上沉积ZnO薄膜特性的影响[J];半导体光电;2008年06期
6 谭红琳;孙福来;方来鹏;邓德国;;溶胶-凝胶法制备的ZnO∶Al薄膜的表面形貌与导电性[J];半导体光电;2009年02期
7 王怡;江伟;邢光建;武光明;李东临;;TiO_2/ZnO薄膜紫外探测器的光电特性[J];半导体光电;2009年04期
8 谌夏;方亮;吴芳;阮海波;魏文猴;黄秋柳;;透明导电ZnO:Sn薄膜光学和电学性能的研究进展[J];半导体光电;2012年01期
9 王瑞华,李怀祥,张华,赵婧;制备纳米发光氧化锌的新方法[J];微纳电子技术;2004年02期
10 杨华明,杜春芳,欧阳静,张向超,苏晓辉;掺杂纳米SnO_2气敏传感器的研究进展[J];微纳电子技术;2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 郝瑞亭;刘焕林;杨宇;;掺杂ZnO薄膜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
2 方庆清;汪金芝;焦永芳;李锐;;Co含量对Zn_(0.6)Co_xFe_(2.4-x)O_4结构与磁性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
3 陈宇晖;姜建华;黄月霞;朱源泰;韦莉;;溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜及其性能研究[A];上海市化学化工学会2010年度学术年会论文集[C];2010年
4 徐自强;李燕;谢娟;陈航;王恩信;邓宏;;半导体紫外探测器及其研究进展[A];四川省电子学会传感技术第九届学术年会论文集[C];2005年
5 郭成花;李怀祥;王瑞华;张华;;多孔硅复合纳米粒子的光致荧光特性[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
6 李洪波;耿新华;周祯华;陆靖谷;孙建;张丽珠;;塑料衬底非晶硅太阳电池的研究[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
7 王雅欣;孟凡斌;薛俊明;周祯华;李养贤;;中频脉冲磁控溅射Zn0: Al透明导电膜工艺参数对材料性能的影响[A];第四届全国磁性薄膜与纳米磁学会议论文集[C];2004年
8 江保锋;陈晓航;詹华瀚;周颖慧;王惠琼;李书平;康俊勇;;不同单体在ZnO(0001)-Zn极性面上生长的机制[A];第十二届全国MOCVD学术会议论文集[C];2012年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟泽;ZnO和AlN薄膜的MOCVD生长及其性质研究[D];中国科学技术大学;2010年
2 周小芳;一些简单氧化物半导体薄膜的LIV效应及其输运性质研究[D];昆明理工大学;2010年
3 赵旺;MOCVD法制备氧化锌发光器件及薄膜晶体管的研究[D];吉林大学;2011年
4 任树洋;强磁场对真空蒸发薄膜生长的影响研究[D];上海大学;2011年
5 向嵘;氧化锌基紫外光电薄膜及器件的技术研究[D];长春理工大学;2011年
6 李莹滢;一维半导体纳米材料制备、性能及辐射探测器件研究[D];南京航空航天大学;2009年
7 刘洁;氧化锌单晶及激光辐照氧化锌单晶的光谱学研究[D];北京工业大学;2011年
8 曾文;SnO_2/TiO_2体系气敏性能及其机理研究[D];重庆大学;2011年
9 赵涧泽;MOCVD生长Sb掺杂ZnO薄膜的基本特性及ZnO同质结发光器件研究[D];大连理工大学;2011年
10 刘成有;A_xZn_(1-x)O(A:Mg,Cd)薄膜材料与非线性光学性质[D];东北师范大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王铁柱;基于硅基波导声光移频器理论与技术的研究[D];长春理工大学;2010年
2 张兴来;ZnO薄膜的制备和紫外探测器的研究[D];长春理工大学;2010年
3 单海燕;ZnO薄膜的水溶液法制备及Li~+、柠檬酸钠对ZnO生长的影响[D];大连理工大学;2010年
4 翟纪伟;氧化亚铜粉末、薄膜的制备及其光催化性能研究[D];中国海洋大学;2010年
5 赵兴亮;Mn、Co、Al掺杂SiC薄膜制备及其光敏性质研究[D];天津理工大学;2010年
6 李勇;A1掺杂ZnO薄膜的制备及激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
7 王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
8 云广平;不锈钢基Cu_2O/TiO_2膜的制备及光催化性能研究[D];西安电子科技大学;2011年
9 马向丽;ZnO薄膜及其光电器件的室温制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
10 于平坤;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈正才;诸葛兰剑;吴雪梅;;过渡金属掺杂ZnO形成稀磁半导体的研究进展[J];微纳电子技术;2007年01期
2 任学民;SiC单晶生长技术及器件研究进展[J];半导体情报;1998年04期
3 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
4 邹璐,叶志镇,黄靖云,赵炳辉;脉冲激光沉积法生长Zn_(1-x)Mg_xO薄膜[J];半导体学报;2002年12期
5 王卿璞,张德恒,薛忠营;射频磁控溅射ZnO薄膜的光致发光[J];半导体学报;2003年02期
6 季振国,宋永梁,杨成兴,刘坤,王超,叶志镇;溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征[J];半导体学报;2004年01期
7 杨青;楼静漪;杨德仁;童利民;;ZnO纳米线光学特性测试的倏逝波耦合(英文)[J];半导体学报;2006年03期
8 简中祥;叶志镇;高国华;卢洋藩;赵炳辉;曾昱嘉;朱丽萍;;Al-N共掺p型Zn_(0.95)Mg_(0.05)O薄膜的性能[J];半导体学报;2007年03期
9 张德恒;用射频偏压溅射制备的具有快速紫外光响应的ZnO薄膜[J];半导体学报;1995年10期
10 冯士维;李瑛;孙静莹;谢雪松;杨集;张跃宗;卢毅成;;ZnO紫外光电导型探测器的制备与研究[J];北京工业大学学报;2007年07期
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 杨小天;MOCVD法ZnO薄膜生长及其紫外探测器的制备与初步研究[D];吉林大学;2004年
2 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
3 段理;ZnO薄膜的光电性质研究[D];中国科学技术大学;2006年
4 郭俊福;宽禁带半导体器件的研制及其测量技术[D];中国科学技术大学;2008年
5 尹利君;高质量氧化锌晶体的水热法合成及其光电性能研究[D];武汉理工大学;2008年
6 杨天鹏;ZnO薄膜的等离子体辅助MOCVD生长及掺杂研究[D];吉林大学;2009年
7 闫军锋;菊花状ZnO纳米线簇的制备及其吸波性能研究[D];西北大学;2009年
8 吴兆丰;Co、Cr、Cu、Mn等过渡金属掺杂ZnO薄膜的合成与性能研究[D];苏州大学;2010年
9 孙海波;ZnO材料的制备及其性能研究[D];山东师范大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈汉鸿;ZnO薄膜和ZnO紫外探测器[D];浙江大学;2002年
2 杨洪军;金刚石衬底上ZnO薄膜的MOCVD生长及SAW器件的初步研究[D];吉林大学;2004年
3 郝树森;纳米SrTiO_3电容-电压敏特性优化及双功能器件研究[D];西北大学;2004年
4 周英;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜[D];电子科技大学;2005年
5 刘德华;一维氧化锌纳米线的研制、光致发光与场发射特性研究[D];武汉大学;2005年
6 代红丽;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜的工艺优化及其发光性能研究[D];西北大学;2006年
7 肖鑫礼;氧化锌纳米晶材料的制备及其发光性质研究[D];东北师范大学;2006年
8 周飞跃;GaN基MSM结构紫外探测器研究[D];电子科技大学;2006年
9 王锦春;ZnO纳米线的光致发光(PL)行为研究[D];电子科技大学;2006年
10 杨安丽;氧化锌纳米棒、纳米管二维阵列及多形态氧化锌纳米材料的制备与表征[D];青岛科技大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 谌夏;方亮;吴芳;阮海波;魏文猴;黄秋柳;;透明导电ZnO:Sn薄膜光学和电学性能的研究进展[J];半导体光电;2012年01期
2 白谢辉;李忠贺;常超;;CdS紫外探测器的研究[J];激光与红外;2011年08期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 赵旺;MOCVD法制备氧化锌发光器件及薄膜晶体管的研究[D];吉林大学;2011年
2 向嵘;氧化锌基紫外光电薄膜及器件的技术研究[D];长春理工大学;2011年
3 赵涧泽;MOCVD生长Sb掺杂ZnO薄膜的基本特性及ZnO同质结发光器件研究[D];大连理工大学;2011年
4 孙景昌;p-ZnO薄膜和ZnO发光器件的制备与研究[D];大连理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘明;水热法制备过渡金属掺杂ZnO及其光学性质研究[D];西北大学;2011年
2 魏晴;3d过渡金属掺杂ZnO纳米线的制备及磁、光性质研究[D];西北大学;2011年
3 于丽媛;取向ZnO/Cu_2O异质结构纳米线阵列的制备及特性研究[D];辽宁师范大学;2011年
4 田炎磊;非极性ZnO薄膜的制备及其光电性能研究[D];电子科技大学;2011年
5 左连勇;ZnO基热电材料的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 孔志强;稀土掺杂ZAO系陶瓷红外发射率及光致发光性能[D];南京航空航天大学;2010年
7 唐巍;MOCVD法氧化锌薄膜材料生长[D];吉林建筑工程学院;2010年
8 王云华;ZnO基透明氧化物薄膜制备和性质研究[D];长春理工大学;2010年
9 王彬;磁控溅射法制备ZnO薄膜研究[D];大连理工大学;2010年
10 夏咏梅;染料敏化太阳能电池光阳极的制备及其性能研究[D];兰州理工大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
2 王卿璞,张德恒,薛忠营;射频磁控溅射ZnO薄膜的光致发光[J];半导体学报;2003年02期
3 邱东江,吴惠桢,杨爱龄,徐晓玲;低温生长的ZnO单晶薄膜的结构和性能[J];材料研究学报;2000年05期
4 郭常新,傅竹西,施朝淑;阴极射线激发下ZnO薄膜室温紫外发光的超线性增长规律[J];发光学报;1998年03期
5 黄焱球,刘梅冬,李楚容,曾亦可,刘少波,夏冬林;ZnO陶瓷薄膜的制备及其低压压敏性质[J];压电与声光;2001年05期
6 施昌勇,沈克明;溅射电压和铝掺杂对透明导电氧化锌薄膜性能的影响[J];稀有金属;2000年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴跃波;;氩氧比对ZnO薄膜特性的影响与紫外探测器的研制[J];传感器与微系统;2009年12期
2 吴跃波;黄波;吴孙桃;;ZnO薄膜紫外探测器的研制[J];传感技术学报;2008年07期
3 贺洪波,范正修,姚振钰;多种基底上溅射沉积ZnO薄膜的结构[J];功能材料与器件学报;1999年01期
4 钟冠群;ZnO薄膜声表面波电视中频滤波器[J];压电与声光;1982年01期
5 张源涛,杨小天,赵佰军,刘博阳,杨天鹏,李万成,刘大力,杨树人,杜国同;退火对MOCVD法生长ZnO薄膜性能的影响[J];半导体光电;2004年02期
6 朱宝富,黄柏标,秦晓燕,李先林,姚书山,尉吉勇,张琦;退火效应对MOCVD生长的ZnO薄膜的影响[J];人工晶体学报;2004年05期
7 张家跃;C轴取向ZnO薄膜的研制报告[J];测控技术;1994年04期
8 王卿璞,马洪磊,张兴华,张锡健;溅射法制备的ZnO薄膜的光发射[J];山东大学学报(理学版);2004年02期
9 李健,白素杰,通拉嘎;稀土Nd掺杂纳米ZnO薄膜气敏特性[J];传感器技术;2004年05期
10 包定华,王世敏,顾豪爽,黄桂玉,邝安祥;ZnO薄膜的Sol-Gel制备与结构分析[J];科学通报;1995年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王磊;冷杉;王波;黄安平;李小换;朱满康;严辉;;AlN/Si衬底上ZnO薄膜的择优取向生长[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
2 袁国栋;叶志镇;黄靖云;曾昱嘉;吕建国;汪雷;赵炳辉;;Al、N共掺方法生长p型ZnO薄膜及其特性研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
3 张翼英;杜丕一;韩高荣;;PECVD法制备宽带隙半导体SiC薄膜的研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
4 郝瑞亭;刘焕林;杨宇;;掺杂ZnO薄膜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
5 李丽;王万录;廖克俊;张瑞俭;杨丰帆;付光宗;;直流磁控溅射制备ZnO薄膜的结构及电学性质研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
6 陈健;;超声雾化热解法制备ZnO薄膜及其发光特性研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
7 张永辉;杨英;杜永娟;陈国荣;;溶液法制备ZnO薄膜[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
8 成彩晶;;背入射AlGaN p-i-n太阳光盲紫外探测器的研制[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
9 尹顺政;李献杰;蔡道民;刘波;冯志宏;;AlGaN基日盲型紫外探测器的研制[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
10 单正平;顾书林;朱顺明;;Zn_(1-x)Mg_xO合金的MOCVD生长及其紫外探测器的研究[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前8条
1 记者 卢基荣;落户永定德泓[N];闽西日报;2011年
2 苏 林;点“气”成“金”[N];大众科技报;2003年
3 王占国;专家建言:我国必须有自己的信息功能材料[N];中国有色金属报;2003年
4 中国科学院院士 王占国;我国必须有自己的信息功能材料产业[N];光明日报;2002年
5 ;步入后硅材料时代[N];中国电子报;2002年
6 ;2003年度国家自然科学奖目录[N];科技日报;2004年
7 ;聚焦获奖项目五大亮点[N];科技日报;2004年
8 赛迪新型材料工程咨询中心 李国强;GaN:半导体材料生力军[N];中国电子报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘健敏;CVD金刚石薄膜在光电器件中的应用研究[D];上海大学;2007年
2 谢峰;Ⅲ族氮化物半导体可见光盲及日盲紫外探测器研究[D];南京大学;2012年
3 杨小天;MOCVD法ZnO薄膜生长及其紫外探测器的制备与初步研究[D];吉林大学;2004年
4 赵延民;MgZn(Ni)O薄膜制备及垂直结构紫外探测器特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
5 马艳;ZnO薄膜的MOVPE法生长、掺杂及X光取向研究[D];吉林大学;2004年
6 韩舜;MgZnO薄膜及其紫外光电探测器制备和特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
7 赵佰军;声表面波用ZnO薄膜的制备及器件的初步研究[D];吉林大学;2004年
8 李镇江;SiC、GaN半导体纳米材料及阵列的合成、性能与机理研究[D];西北工业大学;2003年
9 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
10 张昊翔;硅基GaN薄膜材料及紫外探测器原型器件研究[D];浙江大学;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈汉鸿;ZnO薄膜和ZnO紫外探测器[D];浙江大学;2002年
2 赵杰;热氧化法与PLD法制备ZnO薄膜及其特性[D];大连理工大学;2005年
3 陈健;超声雾化热解法制备ZnO薄膜结构及其性能研究[D];北京工业大学;2004年
4 贾小龙;直流磁控溅射制备ZnO光电薄膜的研究[D];华中科技大学;2004年
5 王兆阳;PLD方法制备ZnO薄膜及其结构和光学性能分析[D];大连理工大学;2005年
6 苏凤莲;PLD和MOCVD方法生长的ZnO薄膜结构及发光性能[D];安徽大学;2005年
7 王丹;热氧化法制备的纳米氧化锌及其掺氮薄膜的特性研究[D];东北师范大学;2004年
8 任思雨;射频磁控溅射氧化锌薄膜的制备、改性及光催化性能研究[D];暨南大学;2005年
9 巩锋;溶胶—凝胶法制备Al~(3+):ZnO薄膜及其性能研究[D];北京工业大学;2003年
10 盖艳琴;钪掺杂ZnO薄膜的电子结构与缺陷磁性的研究[D];吉林大学;2006年
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