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《材料导报》 2003年S1期
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氧化锌薄膜研究的新进展

贾晓林  张海军  谭伟  
【摘要】:ZnO薄膜是一种具有优良的压电、光电、气敏、压敏等性质的材料。ZnO薄膜的制备方法多样,薄膜的性质取决于不同的掺杂组分,并与制备工艺紧密相关。简述了ZnO薄膜的制备方法与基本性质与应用,分析了ZnO薄膜研究、应用与开发现状,展望了产业化发展前景。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 宋学萍;黄飞;吕建国;孙兆奇;;射频磁控溅射制备SiO_2薄膜及性能表征[J];安徽大学学报(自然科学版);2010年06期
2 陈颖慧;高杨;席仕伟;赵兴海;;硅基底和金刚石基底上沉积ZnO薄膜工艺研究[J];传感技术学报;2012年01期
3 邓赞红;董伟伟;陶汝华;苏清磊;方晓东;;p型铜铁矿结构氧化物材料研究进展[J];材料导报;2006年03期
4 俞亮燕;魏取福;汪莹莹;李琪;;非织造布表面反应溅射沉积ZnO薄膜及其结构与性能分析[J];材料导报;2007年S3期
5 李海峰;沈长斌;薛钰芝;李剑峰;申琳;;溶胶-凝胶法与磁控溅射法制备ZnO薄膜性能对比研究[J];材料导报;2008年S1期
6 宋学萍;周旭;孙兆奇;;射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和应力特性[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2007年09期
7 艾国齐;谭红琳;马正洪;;Na、Mg共掺杂ZnO薄膜的结构及性能研究[J];热加工工艺;2011年08期
8 许洪华;陈跃宁;袁广才;;基于ZnO活性层薄膜晶体管的研究进展[J];沈阳师范大学学报(自然科学版);2007年01期
9 黄飞;孙仲亮;孟凡明;孙兆奇;;射频磁控溅射ZnO薄膜的微结构与光学特性[J];真空电子技术;2008年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 孙礼;氧化物纳米材料的磁性以及多铁特性研究[D];山东大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 路婷;ZAO~p/ZAO透明导电薄膜的制备工艺与性能研究[D];西安工业大学;2011年
2 徐泽;光学玻璃强化工艺及机理研究[D];西安工业大学;2012年
3 李强;氧化锌薄膜及其掺杂特性[D];长春工业大学;2011年
4 刘长友;ZnO花束状晶须及纳米棒的制备与形貌控制[D];西北工业大学;2005年
5 段启亮;ZAO(掺铝氧化锌)导电膜的制备及特性研究[D];郑州大学;2005年
6 侯春燕;ZnO纳米材料的制备及其光催化降解有机废水的研究[D];大连海事大学;2006年
7 黄伟霞;Mg_xZn_(1-x)O透明导电薄膜的制备及性能研究[D];浙江大学;2006年
8 代红丽;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜的工艺优化及其发光性能研究[D];西北大学;2006年
9 常春荣;磁控溅射制备Sb-ZnO薄膜及其性能研究[D];南京航空航天大学;2006年
10 潘青山;PA6/酞菁纳米复合材料的制备与表征[D];湘潭大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 陈汉鸿,叶志镇;ZnO薄膜的掺杂和转型的研究进展[J];半导体情报;2001年02期
2 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
3 贾锐,曲风钦,武光明,宋世庚,陶明德;ZnO系低压压敏薄膜的喷雾热分解法制备及膜厚对其压敏特性影响的研究[J];功能材料;1999年06期
4 李美成,陈学康,杨建平,王菁,赵连城;脉冲激光纳米薄膜制备技术[J];红外与激光工程;2000年06期
5 张德恒,王卿璞;新型半导体激光器——ZnO紫外激光器[J];物理;2001年12期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王通国;蒋晓虎;张继忠;晏勇;冯再;;高性能锰锌铁氧体材料制备新工艺[J];四川有色金属;2006年01期
2 丁明桐,杜先智,陈凡,昂锋;Y-Z_rO_2稀土增韧陶瓷的微波烧结[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2000年04期
3 李强;杜卫民;;典型镍酸盐系列复合氧化物研究进展[J];安阳师范学院学报;2008年05期
4 闫晓燕,卫英慧,胡兰青,许并社;纳米氧化锌的制备及其应用[J];兵器材料科学与工程;2002年06期
5 吕建国,叶志镇,汪雷;ZnO薄膜紫外受激发射研究的最新进展[J];半导体光电;2002年03期
6 李琳;季振国;张亚红;韩伟智;;氧化锌薄膜紫外光电导机理研究[J];半导体光电;2006年01期
7 朱丽红;许海军;姚志涛;李新建;;ZnO/Si纳米孔柱阵列的真空蒸镀及其光致发光特性[J];半导体光电;2008年01期
8 孙剑;白亦真;谷建峰;刘明;张庆瑜;;基片温度对金刚石上沉积ZnO薄膜特性的影响[J];半导体光电;2008年06期
9 张化福;袁玉珍;刘汉法;刘云燕;;掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展[J];半导体技术;2008年06期
10 胡英,周晓华,徐毓龙,赵祖军;Si/Si_(1-x)Ge_x HEMT异质结层的结构与二维电子气密度的关系[J];半导体情报;2001年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘大成;;氧化锆-碳化硅复合材料性能研究[A];中国硅酸盐学会陶瓷分会2010年学术年会论文集(一)[C];2010年
2 周世圆;张运涛;徐春广;伍懿;;无源无线声表面波嵌入式测量理论与技术[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
3 车仁超;李永清;周浩;陈朝辉;程海峰;林红吉;杨孚标;;磁性微粉的化学还原法制备工艺及其电磁特性研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
4 章四琪;黄劲松;段伟;卢斌;陈世柱;;热循环对Ti(C,N)_P/Ni合金复合材料强度的影响[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
5 郝瑞亭;刘焕林;杨宇;;掺杂ZnO薄膜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
6 方庆清;汪金芝;焦永芳;李锐;;Co含量对Zn_(0.6)Co_xFe_(2.4-x)O_4结构与磁性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
7 刘延辉;谢长生;曾大文;周细应;;氧化锌颗粒膜电阻响应-恢复特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
8 沈敬亭;张跃;;大气开放式MOCVD方法制备ZnO薄膜的气敏特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(7)[C];2007年
9 甄强;李榕;;工业用结构陶瓷的发展[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第三卷)[C];2011年
10 陈宇晖;姜建华;黄月霞;朱源泰;韦莉;;溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜及其性能研究[A];上海市化学化工学会2010年度学术年会论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟泽;ZnO和AlN薄膜的MOCVD生长及其性质研究[D];中国科学技术大学;2010年
2 熊飞;钙钛矿型氧化物薄膜的激光感生热电电压效应及光探测器应用[D];昆明理工大学;2008年
3 祝琳华;新型NZP族催化剂载体材料的合成及应用研究[D];昆明理工大学;2010年
4 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
5 周小芳;一些简单氧化物半导体薄膜的LIV效应及其输运性质研究[D];昆明理工大学;2010年
6 张熙;II-VI族半导体耦合/复合低维结构光学非线性[D];武汉大学;2009年
7 李淑红;基于声表面波技术的新型气体传感器的研究[D];南开大学;2010年
8 任树洋;强磁场对真空蒸发薄膜生长的影响研究[D];上海大学;2011年
9 张晓琳;微波法制备YAG粉体微观结构的调控及其烧结性的研究[D];山东大学;2011年
10 杨立山;添加剂辅助合成硼化物、碳化物、氮化物纳米材料[D];山东大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王铁柱;基于硅基波导声光移频器理论与技术的研究[D];长春理工大学;2010年
2 林爽;低温前驱体裂解法合成碳化硼粉体的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 单海燕;ZnO薄膜的水溶液法制备及Li~+、柠檬酸钠对ZnO生长的影响[D];大连理工大学;2010年
4 谷琳;数据挖掘在陶瓷涂层制备中的应用[D];辽宁工程技术大学;2009年
5 翟纪伟;氧化亚铜粉末、薄膜的制备及其光催化性能研究[D];中国海洋大学;2010年
6 郭路;用于PEMFC双极板的新型Ni-Cr-Fe合金的制备[D];武汉理工大学;2010年
7 黄华;射频声表面波梯形滤波器的研制[D];电子科技大学;2011年
8 云广平;不锈钢基Cu_2O/TiO_2膜的制备及光催化性能研究[D];西安电子科技大学;2011年
9 王晨清;Sialon陶瓷在泥浆泵缸套上的试样研究[D];中国地质大学(北京);2011年
10 马向丽;ZnO薄膜及其光电器件的室温制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孟凡明;孙兆奇;;ZnO压敏材料研究进展[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年04期
2 李村;权传斌;徐洪耀;何金花;张现利;;掺铝氧化锌ZAO(ZnO∶Al)薄膜研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2007年05期
3 宋学萍;王佩红;孙兆奇;;射频溅射Si膜的微结构与光学性质研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2009年03期
4 董如何,肖必华,方永水;正交试验设计的理论分析方法及应用[J];安徽建筑工业学院学报(自然科学版);2004年06期
5 程晨;纳米材料的特异效应及应用[J];安徽建筑工业学院学报(自然科学版);2005年04期
6 谢嫚,张东翔,曹明;头孢生产废水的光催化氧化特性[J];安全与环境学报;2005年04期
7 周晓红,赵秀琴;氧化锌光催化降解六种可溶性染料的研究[J];安庆师范学院学报(自然科学版);2003年02期
8 杨立荣,靳正国,步绍静,程志捷;ZnO薄膜的制备及其光学性能[J];兵器材料科学与工程;2004年01期
9 张静全,蔡伟,郑家贵,黎兵,孙小松,蔡亚平,冯良桓;CdTe太阳能电池研究进展[J];半导体光电;2000年02期
10 王新强,杜国同,姜秀英,王金忠,杨树人;ZnO薄膜的研究进展[J];半导体光电;2000年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 季振国;宋永梁;向因;刘坤;王超;叶志镇;;溶胶凝胶法制备禁带宽度可调的Mg_xZn_(1-x)O薄膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 李勇;[N];中国建材报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 申林;掺镧钛酸铋粉体、陶瓷及薄膜的溶胶-凝胶制备技术与性能研究[D];四川大学;2002年
2 杨小天;MOCVD法ZnO薄膜生长及其紫外探测器的制备与初步研究[D];吉林大学;2004年
3 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
4 李喜峰;新型透明导电氧化物薄膜的研究[D];复旦大学;2006年
5 卢焕明;硅基ZnO薄膜与一维ZnO材料的显微结构研究[D];浙江大学;2006年
6 刘耀东;脉冲激光沉积法制备铝掺杂氧化锌薄膜的组织及性能[D];吉林大学;2007年
7 孙彦峰;ZnO:Al透明导电薄膜与ZnO器件的制备及性质的研究[D];吉林大学;2007年
8 王辉虎;纳米氧化锌的控制制备及其光催化性能的研究[D];华中科技大学;2006年
9 马全宝;透明的高导电近红外反射ZnO:Ga薄膜的制备及特性研究[D];浙江大学;2007年
10 李林;氧化锌p型掺杂的相关问题研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张兴来;ZnO薄膜的制备和紫外探测器的研究[D];长春理工大学;2010年
2 王兰兰;TiO_2薄膜的制备及其MIT特性研究[D];天津理工大学;2011年
3 韦晓莹;基于VO_X薄膜的电致阻变特性的研究[D];天津理工大学;2011年
4 曾正球;氧化锌薄膜的阻变性能研究[D];湘潭大学;2011年
5 陈健;超声雾化热解法制备ZnO薄膜结构及其性能研究[D];北京工业大学;2004年
6 尹保忠;二氧化钛光催化剂的制备和改性研究[D];华东师范大学;2004年
7 郝树森;纳米SrTiO_3电容-电压敏特性优化及双功能器件研究[D];西北大学;2004年
8 于朝阳;具有紫外光学性能的富勒烯功能材料[D];武汉大学;2004年
9 周英;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜[D];电子科技大学;2005年
10 刘洪涛;钛合金表面镀铁工艺及镀层摩擦学性能研究[D];机械科学研究院;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈颖慧;高杨;席仕伟;赵兴海;;硅基底和金刚石基底上沉积ZnO薄膜工艺研究[J];传感技术学报;2012年01期
2 史永胜;陈阳阳;宁青菊;秦双亮;宁磊;;溅射功率对AZO透明导电薄膜的影响[J];材料导报;2011年06期
3 王星明;白雪;段华英;石志霞;孙静;卢世刚;黄松涛;;AZO靶材的制备与镀膜应用研究[J];材料导报;2011年S2期
4 张伟;黄英;邵杰;吴海伟;;半导体纳米材料在光催化领域的研究进展[J];材料开发与应用;2012年03期
5 邵桂荣;苏世栋;畅福善;;考虑负载补偿的脉冲溅射电源的设计与实现[J];电力电子技术;2012年05期
6 汪立文;万蕴杰;高岭;董建新;;p型透明导电CuAlO_2薄膜的透光性能研究[J];材料导报;2012年12期
7 李丽;张贵友;陈人杰;陈实;吴锋;;太阳能电池及关键材料的研究进展[J];化工新型材料;2008年11期
8 马涛;黄毅;马健;张丽;;溶胶凝胶法制备CuAlO_2多晶及其性能研究[J];人工晶体学报;2012年05期
9 方亮;黄秋柳;彭丽萍;吴芳;;CuAlO_2热电性能的研究进展[J];真空科学与技术学报;2009年02期
10 马涛;黄毅;马健;赵林;;溶胶-凝胶法制备CuAlO_2多晶的结构性能研究[J];西南民族大学学报(自然科学版);2012年05期
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 王韵芳;钛硅复合氧化物的制备及在微污染水处理中的应用研究[D];太原理工大学;2011年
2 肖宗湖;ZnO材料的制备和GaN基LED器件的研究[D];南昌大学;2011年
3 陈建林;Al掺杂与Al-Sc共掺杂ZnO薄膜的制备、微观组织及光电性能[D];湖南大学;2009年
4 王丽丹;纳米ZnO基有机/无机复合光伏器件研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
5 靳瑞敏;中温制备多晶硅薄膜及相关理论问题的探讨[D];郑州大学;2006年
6 齐雪莲;会切场约束ICP增强非平衡磁控溅射放电及应用研究[D];大连理工大学;2008年
7 何波;新型硅基SINP异质面蓝紫光电池及SIS异质结光电器件的研究[D];上海大学;2010年
8 殷帅;我国光伏发电项目规模化发展研究[D];北京交通大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王雄;氧化物薄膜晶体管的制造及其电学性能研究[D];浙江大学;2011年
2 刘明;水热法制备过渡金属掺杂ZnO及其光学性质研究[D];西北大学;2011年
3 魏晴;3d过渡金属掺杂ZnO纳米线的制备及磁、光性质研究[D];西北大学;2011年
4 张路宁;聚合物/ZnO杂化太阳能电池的制备[D];北京交通大学;2011年
5 王玮丽;基于ZnO薄膜的低阈值电压压敏电阻[D];杭州电子科技大学;2011年
6 王小娜;Gd_2O_3掺杂HfO_2高k栅介质的制备与击穿特性研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
7 张晶;金属离子掺杂ZnO微/纳米结构的制备及其光催化性质研究[D];陕西师范大学;2011年
8 薛进奎;AZO薄膜表面织构机理和表面织构均匀性的研究[D];郑州大学;2011年
9 左连勇;ZnO基热电材料的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
10 孔志强;稀土掺杂ZAO系陶瓷红外发射率及光致发光性能[D];南京航空航天大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
2 杨志坚,陈寿元;减小低压ZnO压敏电阻器漏电流的方法及其作用机理探讨[J];传感器世界;1997年09期
3 李美成,杨建平,王菁,吴敢,李勇华,雷占许,赵连城,陈学康;脉冲激光薄膜制备技术[J];真空与低温;2000年02期
4 陈学康;大功率脉冲激光纳米薄膜制备技术[J];真空科学与技术;1995年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李新柱,陈雯;二氧化氯的发生与应用研究[J];昆明理工大学学报(理工版);2003年05期
2 赵玉凌;郑燕春;;六氟化硫的性质、制备和市场分析[J];化工科技市场;2007年11期
3 陈爱军;吴雪梅;诸葛兰剑;;ZnO薄膜的磁电光性质研究进展[J];材料导报;2006年S1期
4 王鹏,金韶华,松全才,史彦山;1,4,6,6-四硝基-1,4-二氮杂环庚烷的制备及性质[J];火炸药学报;2000年04期
5 戴剑锋,何彦林,王青;超硬纳米类金刚石膜的结构特点及其形成机制的探讨[J];甘肃工业大学学报;2002年03期
6 宋怀河,陈晓红,章颂云,高燕;中间相沥青炭微球及其在锂离子二次电池方面的应用[J];炭素技术;2002年01期
7 董国君,朱毅,边培荣,苏玉;真空动密封用双酯基磁性流体的制备及性质[J];真空;1993年01期
8 宋淑芳,李健,季秉厚;纳米ZnO薄膜的制备[J];内蒙古大学学报(自然科学版);2001年05期
9 王学云;二氧化氯作为饮用水消毒剂[J];净水技术;1998年02期
10 吴东垠,田文栋,黎军,盛宏至 ,马玉峰,徐峰;乳化油的性质及其制备方法研究[J];中国能源;2000年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 柳学全;;羰基金属的性质、制备及在功能材料中的应用[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(8)[C];2007年
2 雷牧云;黄存新;宋庆海;孙加林;;透明多晶尖晶石的制备及应用研究[A];特种陶瓷及金属封接技术基础和应用研讨会论文集[C];2005年
3 袁毅范;周洪斌;梁运;李华;;胺苯磺隆钠盐制备的研究[A];中国化工学会农药专业委员会第八届年会论文集[C];1996年
4 吕超;梁小平;高永扬;王剑臣;岳雪梅;辛少波;;氧化铝功能纤维的制备及其应用[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
5 苏移山;张晓元;朱希强;郭学平;凌沛学;;酶法制备低聚木糖[A];2006年全国生化与生物技术药物学术年会论文集[C];2006年
6 李良锋;丘泰;;机械合金化法(Ag-Cu_(28))_(80)-In_x-Sn_(20-x)合金焊粉制备的研究[A];陶瓷——金属封接与真空开关管用管壳技术进步专辑[C];2007年
7 倪玲;李范珠;;离心造粒法制备生血微丸的研究[A];2009全国中药创新与研究论坛学术论文集[C];2009年
8 李军;姜华;张延平;王新胜;李晓明;尹卫平;王忠东;;柴胡皂苷b2对照品的制备研究[A];第十届全国中药和天然药物学术研讨会论文集[C];2009年
9 李先学;印万忠;韩跃新;;保护-还原法制备纳米银粉[A];第九届全国粉体工程学术会暨相关设备、产品交流会论文专辑[C];2003年
10 谢继青;姬胜利;王凤山;崔慧斐;曹吉超;;分子硫酸皮肤素的制备、理化性质及抗血栓活性的研究[A];中国资源生物技术与糖工程学术研讨会论文集[C];2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 骆宝程;基金的性质[N];金融时报;2001年
2 吴宣恭;明确我国改革的性质和方向[N];福建日报;2001年
3 贾富元;本次调整的性质、目标和方式[N];山西经济日报;2001年
4 岳婷婷 陆晓伟;扣车性质有别 适用不同法律[N];人民法院报;2001年
5 黄保红;关于私营企业主性质的探讨[N];北京日报;2002年
6 国务院经济体制改革办公室宏观分析师 李幛喆;吃透政策看下跌性质[N];江苏经济报;2001年
7 北京昌明律师事务所 蒋五四;无提单放货行为的性质问题[N];国际经贸消息;2001年
8 聂武钢;二万元押金究竟为何性质[N];人民法院报;2002年
9 魏武刚 李彦君;民事合同性质不因政府公章而改变[N];检察日报;2001年
10 郭莹;电子商务引发税收难题[N];科技日报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 熊联明;微胶囊红磷阻燃剂的制备、应用及阻燃抑烟机理研究[D];中南大学;2004年
2 王国庆;杂萘联苯型聚芳醚腈(酮)及其磺化改性超滤膜研制[D];大连理工大学;2005年
3 刘文波;壳聚糖超细胶囊的制备及应用研究[D];东北林业大学;2005年
4 郭承华;海燕皂苷及其它活性物质的制备及其生物功能研究[D];中国海洋大学;2005年
5 邸垫平;玫瑰黄链霉菌Men-myco-93-63活性组分的制备及相关基因克隆研究[D];河北农业大学;2006年
6 于开录;模板法合成一维纳米管阵列[D];天津大学;2004年
7 傅磊;氢等离子体制备纳米硬质合金粉末的研究[D];清华大学;1997年
8 刘建伟;等离子体增强化学气相沉积制备碳纳米管及其表征[D];吉林大学;2008年
9 冯小刚;环境中微囊藻毒素的检测、提纯及其紫外光助催化降解的研究[D];东南大学;2006年
10 向大雄;8-甲氧基补骨脂素皮肤靶向纳米脂质体凝胶的研究及评价[D];成都中医药大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 贺召平;乙基麦芽酚废渣制取氧化镁[D];湘潭大学;2007年
2 刘伟;利用废油脂制备金属皂及产品性能和应用的研究[D];天津科技大学;2005年
3 赵杰;热氧化法与PLD法制备ZnO薄膜及其特性[D];大连理工大学;2005年
4 陈健;超声雾化热解法制备ZnO薄膜结构及其性能研究[D];北京工业大学;2004年
5 贾小龙;直流磁控溅射制备ZnO光电薄膜的研究[D];华中科技大学;2004年
6 董建芳;功能化离子液体的制备及在药物合成中的应用研究[D];河北科技大学;2007年
7 王兆阳;PLD方法制备ZnO薄膜及其结构和光学性能分析[D];大连理工大学;2005年
8 苏凤莲;PLD和MOCVD方法生长的ZnO薄膜结构及发光性能[D];安徽大学;2005年
9 王丹;热氧化法制备的纳米氧化锌及其掺氮薄膜的特性研究[D];东北师范大学;2004年
10 任思雨;射频磁控溅射氧化锌薄膜的制备、改性及光催化性能研究[D];暨南大学;2005年
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