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《材料导报》 2003年04期
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择优取向铁电薄膜制备影响因素的分析

王悦辉  庄志强  
【摘要】：制备性能优良、高度择优取向或外延生长、成分均匀、结构可控的晶态铁电薄膜材料,是发展铁电薄膜应用的基础。随着铁电薄膜在微电子学,光电子学和集成光学等领域的应用不断扩大,如何制备高性能的铁电薄膜材料一直称为人们关注的热点。对择优取向铁电薄膜材料制备技术中的主要影响因素进行了分析,希望能为从事此方面工作的研究者提供一定的借鉴。
【作者单位】： 华南理工大学材料科学与工程学院 华南理工大学材料科学与工程学院
【基金】：广东省自然基金
【分类号】：TB43

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【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 魏贤华;氧化物铁电薄膜生长与界面控制方法研究[D];电子科技大学;2005年
2 贾建峰;多层铁电薄膜的制备及其电性能研究[D];兰州大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 张景基;界面对PZT铁电薄膜性能的影响[D];南昌大学;2006年
2 梁柱;氧化物异质外延过程中应变研究[D];电子科技大学;2006年
3 张澎丽;近化学计量比铌酸锂薄膜的制备[D];天津理工大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 何恩培，刘梅冬，卢春如;溶胶一凝胶工艺对PZT铁电薄膜结构的影响[J];压电与声光;1994年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴桂芳,宋学平,刘勇,林伟,孙兆奇;衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年03期
2 宋学萍,王佩红,孙兆奇;退火温度对溅射Al膜微结构及光学常数的影响[J];安徽大学学报(自然科学版);2005年03期
3 吴萍,林旋英,姚若河,余楚迎;功能薄膜材料多晶硅的制备及光电特性研究[J];材料导报;1999年06期
4 李青山,张金朝,宋鹂;三防纳米级ATO透明导电薄膜材料的研究和应用[J];材料导报;2002年02期
5 何平;具有模糊协同控制的电子膜敷膜系统与工艺[J];材料科学与工艺;2004年01期
6 宋学萍,周桃飞,赵宗彦,孙兆奇;退火温度对溅射Al膜微结构及应力的影响[J];材料科学与工程学报;2003年05期
7 杨永安,吕永林,字正华;热释电材料的研究现状分析[J];楚雄师专学报;2001年03期
8 黄蕙芬;具有优良绝缘性能的Ta_2O_5介质膜[J];东南大学学报(自然科学版);1999年06期
9 曲喜新;固态介质薄膜的电击穿场强[J];电子元件与材料;1999年06期
10 杨田林,高绪团,韩圣浩;溅射偏压对柔性衬底ITO薄膜结构和光电特性的影响[J];电子元件与材料;2003年07期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 蔡珣;;可调的透明导电膜研究进展[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（1）[C];2007年
2 孙福来;谭红琳;;溶胶-凝胶法制备ZnO：Al导电薄膜的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（2）[C];2007年
3 何平;;纳米电子膜热加工可拓控制技术[A];第二十四届中国控制会议论文集（下册）[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 蒋亚东;电子聚合物气、湿敏特性及机理研究[D];电子科技大学;2001年
2 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
3 李晓云;金属膜电阻器稳定性的研究[D];天津大学;2003年
4 白永林;超高密度光盘存储关键技术的研究[D];中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）;2003年
5 严群;稀土氧化物及纳米氧化锌掺杂压敏材料的制备及机理研究[D];四川大学;2003年
6 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
7 谢欣云;非单一SiO_2埋层的SOI新结构研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2004年
8 龚恒翔;多晶氧化锌薄膜的制备和结构、电学、光学特性研究[D];兰州大学;2002年
9 杨雪娜;掺镧（钐）Bi_2Ti_2O_7薄膜的制备及其性能研究[D];山东大学;2005年
10 邱成军;基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制[D];哈尔滨工程大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周慎平;用不同配比度的预烧粉末和陶瓷靶在Ag、Au、Pt底电极上溅射制取PZT铁电薄膜的研究[D];暨南大学;2000年
2 魏欢;SiGe异质结双极晶体管及其集成电路的研究[D];北京工业大学;2000年
3 黄创军;以SiCl_4为气源用PECVD方法低温沉积多晶硅薄膜[D];汕头大学;2001年
4 张博;Ni-Co-P/WC(nm)复合镀层研究及硅的表面金属化[D];广东工业大学;2001年
5 贺月娇;表面修饰N型多孔硅的光致荧光特性[D];山东师范大学;2001年
6 张兴旺;氧化物透明导电薄膜的溶胶—凝胶法制备[D];西安理工大学;2002年
7 刘力锋;热处理对非掺杂半绝缘LECGaAs本征缺陷及电特性影响的研究[D];河北工业大学;2002年
8 叶光;用于场致发射显示的MIM型电子发射结构的研制[D];福州大学;2003年
9 王晓泉;太阳电池用氮化硅薄膜及氢钝化研究[D];浙江大学;2003年
10 杜泽惠;锆钛酸铅镧铁电薄膜的制备及微细加工[D];西安理工大学;2003年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 江辉明,叶志清,曾明生;脉冲激光沉积(PLD)机理分析及其应用[J];江西师范大学学报(自然科学版);2005年01期
2 余火根,余家国,郭瑞,赵修建;溶胶-凝胶薄膜的制备和应用[J];材料导报;2003年06期
3 李戈扬,施晓蓉,吴亮,许俊华,戎咏华,张惠娟;TiN/AlN纳米多层膜的研究[J];材料工程;1999年11期
4 彭会芬;钛酸钡铁电陶瓷和薄膜的溶胶凝胶法制备及表征[J];材料科学与工程;1998年01期
5 田家万,劳技军,虞晓江,李戈扬,宁兆元;纳米多层膜中立方AlN外延生长的HRTEM观察[J];电子显微学报;2002年05期
6 单连伟,丁碧妍,付兴华,侯文萍,单志强;(Ba,Sr)TiO_3铁电薄膜制备技术及其研究进展[J];桂林电子工业学院学报;2003年06期
7 丁文,丁永平,孟中岩;Sol-Gel制备Ba_(1-x)Sr_xTiO_3系铁电薄膜的介电、调谐性能[J];功能材料;2001年04期
8 朱小红,彭炜,胡文斐,陈莺飞,郑东宁,李林,朱建国;Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜、Ba_(0.1)Sr_(0.9)TiO_3/YBa_2Cu_3O_(7-δ)异质薄膜的制备及介电性能研究[J];功能材料;2003年02期
9 肖定全;铁电薄膜研究中的几个重要问题[J];功能材料;2003年05期
10 陈强,肖定全,吴家刚,方瑜,王媛玉,袁小武,于光龙,熊学斌,朱建国;Pechini法制备铌酸锂陶瓷的结晶性能研究[J];功能材料;2004年04期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 秦福文;RHEED原位监测的PEMOCVD方法及GaN基薄膜低温生长[D];大连理工大学;2004年
2 魏贤华;氧化物铁电薄膜生长与界面控制方法研究[D];电子科技大学;2005年
3 陈涛;Fe/Ti纳米多层薄膜界面反应机制研究[D];大连理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 任卫;立方相氮化硼薄膜制备及掺杂特性研究[D];北京工业大学;2001年
2 彭润玲;Pb（Zr_（0.94）Ti_（0.06））O_3薄膜的铁电性及热释电性能的研究[D];南京航空航天大学;2002年
3 曹亮亮;硅基铌酸锂薄膜的PLD生长及其性能研究[D];浙江大学;2005年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 黄奇辉;PZT铁电薄膜/LaNiO_3薄膜周期结构的制备及其光学性质[D];南昌大学;2007年
【相似文献】
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1 郭淑兰;王敏;徐学东;李佳;;Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜的ICP刻蚀及性能研究[J];微电子学;2011年04期
2 李振豪;李琳;普朝光;;应用于非制冷焦平面器件上的PMN-PT铁电薄膜[J];硅酸盐学报;2011年09期
3 郭红力;李雪冬;李海敏;刘果;肖定全;朱建国;;含有衬底的双层复合薄膜的磁电效应[J];四川大学学报(工程科学版);2011年05期
4 田玥;唐艳学;石旺舟;;0.74Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.26PbTiO_3薄膜的光学性能研究[J];上海师范大学学报(自然科学版);2011年03期
5 王光明;张铭;李廷先;郭宏瑞;严辉;;氧压对脉冲激光沉积LaNiO_3薄膜结构和电学性能的影响[J];功能材料;2011年S2期
6 尚杰;张辉;唐艳艳;曹明刚;张鹏翔;;新型脉冲激光能量计用无铅(Na_(1-x)K_x)_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3铁电薄膜的制备及其激光感生热电电压信号的研究[J];功能材料与器件学报;2011年03期
7 刘晓娜;张婷;孙新格;丁玲红;张伟风;;非晶Pr_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3薄膜的电阻开关性质[J];电子元件与材料;2011年08期
8 孙玄;黄煦;王亚洲;冯庆荣;;MgB_2超薄膜的制备和性质研究[J];物理学报;2011年08期
9 兰梦;邵婷娜;谢佳乐;杨秀凡;孙凯;蔡田田;王俊忠;;利用STM直接观察红荧烯薄膜中的质量密度波[J];中国科学:物理学 力学 天文学;2011年08期
10 王英龙;张鹏程;刘虹让;刘保亭;傅广生;;晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响[J];物理学报;2011年07期
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1 陈辉;;非理想表面层对铁电薄膜极化率分布的影响[A];创新沈阳文集（B）[C];2009年
2 陈延峰;孙力;于涛;闵乃本;姜晓明;修立松;;MOCVD制备PbTiO_3铁电薄膜的研究[A];1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集[C];1996年
3 周济;李俊国;李龙土;张孝文;;溶胶—凝胶(Sol—Gel)过程制备Pb(Zr,Ti)O_3铁电薄膜[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
4 李辉道;唐新桂;刘毅;唐振方;张曰理;莫党;;(Pb，Ca)TiO_3铁电薄膜的椭偏光谱研究[A];'99十一省（市）光学学术会议论文集[C];1999年
5 朱建国;肖定全;陈猛;彭文斌;张力;景亚斌;;PbTiO_3铁电薄膜快速退火后结晶特性研究[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
6 吴小清;李波;任巍;姚熹;;热释电薄膜红外探测器的微图形化及其性能[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
7 杨长红;王卓;韩建儒;;金属有机分解法制备无铅环保K_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3铁电薄膜[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
8 贾彩虹;张伟风;;Bi_(3.25)M_(0.75)Ti_3O_(12)(M=Nd,Al,In)薄膜的铁电与光学性质研究[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
9 朱建国;彭文斌;张文;陈猛;肖定全;兰发华;;多离子束反应溅射室温沉积PbTiO_3薄膜的结晶性能[A];1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集[C];1996年
10 李理;朱俊;罗文博;;以TiO_2为缓冲层在GaN上外延生长PZT铁电薄膜及性能测试[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
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1 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
2 尹伊;铁电薄膜生长及器件制备工艺的研究[D];浙江大学;2011年
3 卢兆信;铁电薄膜相变性质的高阶格林函数研究[D];电子科技大学;2011年
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6 裴玲;钛酸铋基铁电薄膜的Sol-gel法制备及改性研究[D];武汉大学;2010年
7 迟庆国;钛酸铅基铁电薄膜组织结构控制及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 周阳;透明ZnO薄膜与铁电薄膜的集成研究[D];河北大学;2011年
9 王卓;钛酸铋钠基铁电薄膜的制备及相关刻蚀工艺的研究[D];山东大学;2003年
10 贾建峰;多层铁电薄膜的制备及其电性能研究[D];兰州大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周光惺;BLT/PZT/BLT铁电薄膜的溶胶—凝胶制备及性能研究[D];华中科技大学;2009年
2 张才建;PT系铁电薄膜生长及其性能研究[D];电子科技大学;2010年
3 万晓婧;激光沉积法制备SrTiO_3铁电薄膜及其性能分析[D];北京工业大学;2011年
4 杨莺;锆钛酸铅铁电薄膜的制备及性能测试[D];西安理工大学;2003年
5 白刚;外延钙钛矿薄膜中铁电相变的唯象理论研究[D];汕头大学;2010年
6 王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
7 田玥;弛豫铁电薄膜PMN-0.26PT的制备及其性能的研究[D];上海师范大学;2011年
8 郭冬云;FFET存储器用Bi_4Ti_3O_（12）铁电薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2002年
9 余中;感光性PZT铁电薄膜制备及光敏性机理研究[D];西安理工大学;2003年
10 刁雪岩;复合铁电薄膜性质的理论研究[D];吉林大学;2006年
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