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《材料导报》 2000年08期
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金刚石薄膜压力传感器的研究

杨保和  常明  杨晓萍  呈晓国  
【摘要】:金刚石的许多性质(例如,高硬度、高弹性模量、高屈服强度、化学惰性、低摩擦系数和高热传导)使它成为微结构器件的优异材料。现已证明金刚石薄膜有压阻效应,这个性能打开了金刚石薄膜在压力传感器领域的应用。研究了金刚石薄膜的欧姆接触、热敏特性和压阻特性。研究表明金刚石薄膜可制成适于高温工作的传感器。

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9 郭兰静;YBaCo_4O_7及其相关化合物氧吸附性能研究[D];郑州大学;2005年
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