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ANSYS在梁-膜-岛结构设计中的应用

孙承松  杨芳  
【摘要】:本文利用ANSYS 软件对扩散硅力敏器件进行了力学分析,给出了不同尺寸梁—膜—岛结构的应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度分布曲线,为力敏电阻的合理布置提供了理论依据。

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