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《传感器世界》 2002年03期
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汽车MEMS传感器的应用及发展

吴雄  
【摘要】:本文通过大量的文献资料,评述汽车MEMS(微机电系统)传感器的应用现状及发展趋势,其中重点介绍几种传感器的原理和结构,同时对该领域的产业化也进行了探讨。
【作者单位】成都龙泉89信箱情报室
【分类号】:TP212

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 吕良;邓中亮;刘玉德;辛洪兵;;基于MEMS技术的汽车传感器研究进展[J];电工技术学报;2007年04期
2 曲国福;刘宏昭;;基于MEMS技术的复合型智能传感器设计[J];传感器与微系统;2006年03期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
2 孙东明;扭臂结构的MEMS静电微驱动器的特性研究[D];吉林大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 包晓明;汽车轮胎压力监测系统[D];西安理工大学;2005年
2 玄伟;硅基MEMS光强型光纤加速度计的设计与制作[D];吉林大学;2007年
3 杨特育;高精度微光学器件激光直写光刻系统研究[D];华中师范大学;2007年
4 张乐;MEMS射流陀螺的研究与工艺实现[D];北京大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 沈广鸿,吴先良;提高无源非接触IC卡作用范围的有效方法[J];安徽大学学报(自然科学版);2002年01期
2 王振宇,成立,祝俊;微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J];半导体技术;2005年08期
3 张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期
4 杨友文,王建华;MEMS技术现状及应用[J];微纳电子技术;2003年03期
5 张丹,郑志霞,冯勇建;硅的凸角补偿尺寸及腐蚀中避免削角的新方法[J];微纳电子技术;2004年08期
6 谌贵辉,张万里,彭斌,蒋洪川;MEMS微致动器的研究[J];微纳电子技术;2004年09期
7 梁春广,徐永青,杨拥军;MEMS光开关[J];半导体学报;2001年12期
8 赵志勇,侯继光,浦晓波,沈林;USB2.0通信接口的设计[J];兵工自动化;2005年03期
9 刘光辉,亢春梅;MEMS技术的现状和发展趋势[J];传感器技术;2001年01期
10 亢春梅,曹金名,刘光辉;国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用[J];传感器技术;2002年06期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 罗小兵;微惯性流体器件中的流动和传热及其工程应用[D];清华大学;2002年
2 关荣锋;MEMS器件设计、封装工艺及应用研究[D];华中科技大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 罗振兵;合成射流流动机理及应用技术研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
2 任好;汽车发动机相关传感器动态特性的研究[D];合肥工业大学;2005年
3 张金迎;基于虚拟现实的汽车行驶动力学研究[D];浙江大学;2006年
4 杨香斌;基于SOPC技术的汽车轮胎压力监测系统的研究[D];天津科技大学;2006年
5 罗斯建;电容式微机械加速度计检测电路研究[D];浙江大学;2007年
【二级引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 贾翠萍;硅基8×8MEMS光开关阵列关键技术的研究[D];吉林大学;2007年
2 张歆东;基于聚合物液晶材料的可变光衰减器的研究[D];吉林大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 赵莉娜;MOEMS光开关封装的设计与制作[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
2 李凯;汽车轮胎压力监测系统(TPMS)的设计[D];武汉理工大学;2007年
3 曹晞;非线性系统中多参量优化方法的应用[D];南昌大学;2007年
4 范勇;单向通信汽车轮胎压力监测系统设计及实现技术研究[D];重庆大学;2007年
5 雷磊;NAND型FLASH海量存储系统的设计与实现[D];北京理工大学;2008年
【相似文献】
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3 许高斌;朱华铭;陈兴;;不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器[J];电子测量与仪器学报;2011年08期
4 郭涛;林大为;向婷;;MEMS低量程微加速度计的设计[J];微电子学;2011年03期
5 方玉明;李普;;考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull-in模型[J];传感技术学报;2011年06期
6 李琳;陈力恒;沈消寒;王国发;臧家伟;;基于声振法的西瓜无损检测器[J];工业控制计算机;2011年06期
7 韩磊;;一种开路短截线结构的耦合式微波功率传感器[J];微波学报;2011年03期
8 李蕾;刘卫东;;智能遥控器中的MEMS惯性传感器数据处理[J];电脑知识与技术;2011年19期
9 杨玉华;石云波;张斌珍;;MEMS高量程加速度传感器封装技术仿真研究[J];中北大学学报(自然科学版);2011年03期
10 刘晓丽;;微机电系统(MEMS)的加工工艺[J];黑龙江科技信息;2011年20期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
2 张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动跟踪研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
3 陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集(下册)[C];2010年
4 林日乐;满欣;周倩;李文蕴;谢佳维;张巧云;;石英MEMS陀螺[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
5 高宗余;李德胜;王跃宗;;神经网络在MEMS磁罗盘误差校正中的研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(下册)[C];2009年
6 王磊;赵新;卢桂章;;参数化的MEMS器件可视化建模方法-虚拟组装[A];第二十七届中国控制会议论文集[C];2008年
7 孙泉;齐敏;汤亮;王洛;乔东海;;差分电容MEMS加速度传感器仿真模型[A];2011'中国西部声学学术交流会论文集[C];2011年
8 邱波;姜利军;;MEMS传感技术在飞机系统测试中的应用研究[A];2011航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
9 芮岳峰;杨春生;王亚军;刘景全;;基于Parylene的球形凸起微电极阵列的研究[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
10 何小元;杨福俊;乔玲;;超高频数字图像相关测量技术与微结构动态测试[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 冯健;磁传感器:与MEMS结合拓展导航市场[N];中国电子报;2010年
2 信息产业部电子科学技术情报研究所研究中心 邱惠君;MEMS应用 无“微”不至[N];中国电子报;2001年
3 本报记者 赵艳秋;MEMS:软件算法是关键[N];中国电子报;2008年
4 马涛;智能手机推动MEMS传感器技术发展[N];人民邮电;2009年
5 刘文锗;6个自由度的ST运动感测MEMS模块[N];电子报;2011年
6 本报记者 许泳;MEMS:越感知越火热[N];计算机世界;2010年
7 中国电子科技集团公司第四十九研究所 徐泽善;新型传感器“尖兵”列阵[N];中国电子报;2002年
8 本报记者 马文方;MEMS:物联网核心技术所在(上)[N];中国计算机报;2010年
9 ;新型传感器研发的重点领域[N];中国电子报;2002年
10 ;提供双轴向传感器[N];电子资讯时报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
2 肖功利;MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究[D];复旦大学;2009年
3 李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
4 杜广涛;新型MEMS磁敏传感器的研究[D];西南交通大学;2011年
5 吕良;MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D];北京邮电大学;2011年
6 陈建军;基于MEMS技术的细胞破碎微流控芯片系统研究[D];华中科技大学;2010年
7 葛悦涛;基于纳米金标记的MEMS压阻悬臂梁生物芯片关键技术研究[D];北京邮电大学;2012年
8 许立宁;基于MEMS技术的压电微喷的研制[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2005年
9 胡凯;MEMS微结构几何特征提取与评定的方法[D];华中科技大学;2011年
10 刘梦伟;基于双压电PZT薄膜单元的悬臂梁式微力传感器研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曾昊骋;MEMS开关与频率可重构天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
2 孟丽娜;基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D];黑龙江大学;2005年
3 赵磊;梳齿式MEMS光开关的分析与改进[D];西安电子科技大学;2010年
4 李世鹏;基于MEMS的抗磁微操纵研究[D];上海交通大学;2011年
5 柴旭朝;用于MEMS传感器的小电容读取技术的研究[D];江南大学;2011年
6 钟福如;硅电容式加速度传感器及其读出电路设计研究[D];电子科技大学;2005年
7 鞠鑫;微流体测控组件研究[D];黑龙江大学;2005年
8 赵晓霞;面向精化的表面微加工MEMS几何和工艺建模研究[D];华东理工大学;2011年
9 黄慧锋;CMOS兼容湿度传感器封装的研究[D];东南大学;2005年
10 宗杨;MEMS中多孔硅的原电池法制备及绝热性能模拟[D];天津大学;2007年
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