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《传感器世界》 1998年07期
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微小型钢球表面粗糙度测量仪的研究与设计

姚灵  
【摘要】:本文介绍了一种新研制成功的用于测量微小型超精成品钢球(G3-G60)表面粗糙度的测量仪器.仪器的设计采用M制轮廓针描法.由于设计中采用了特殊结构的高灵敏度触针式压电传感器和极低自振量的旋转式电动驱动机构,使仪器的“虚假信号”降至0.002~0.003μm(Ra),仪器示值度动量达到了0.001~0.002μm(Ra)水平.
【分类号】:TG84

【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 马芸艳;基于CCD的钢球外观检测技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨淑连,曾兆香;光栅传感器的研究[J];山东工程学院学报;1998年02期
2 胡超,方刚,王耀;增量式位移传感器信号的计算机检测[J];计量学报;1997年04期
3 彭东林,刘成康,谭为民;位移测量中的时空坐标转换理论[J];机械工程学报;2000年05期
4 杨金玉,陆仁夏;CCD光栅数显量具[J];半导体光电;1994年03期
5 潘宗预;差动变压器式传感器在包装机械中的应用[J];包装工程;1998年06期
6 杨世雄,顾庆祥,高潮,陈骥;高精度长光栅动态检测技术[J];传感技术学报;1993年01期
7 纪刚;光栅角度传感器的误差分析[J];传感器技术;1995年06期
8 王彦刚;彭东林;徐君;李岩;;冗余技术在增量式时栅位移传感器信号处理电路中应用[J];电力自动化设备;2006年03期
9 喻洪麟,何安国,史飞,王远干,刘旭飞,雷冬梅;光扭矩传感器信号转换误差分析[J];光电工程;2003年04期
10 郑绍春;用单片机提高光电编码器分辨率的一种实现方法[J];交通与计算机;1998年01期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 金衡模;微处理机控制精密播种系统研究[D];中国农业大学;2002年
2 喻洪麟;计量圆光栅的原理、制造及检测技术研究[D];重庆大学;2003年
3 谭为民;差线栅位移传感器原理与参数设计准则及其实验研究[D];重庆大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 刘会耕;分位式传动误差测试系统下位机关键技术研究[D];重庆大学;2003年
2 陈姗;数控磨床外径在线检测系统研究[D];合肥工业大学;2004年
3 张文;压阻式压力传感器的温度误差补偿技术及虚拟仪器的组建[D];合肥工业大学;2004年
4 朱高峰;基于计算机并口的传动误差测量系统的升级与实验[D];重庆大学;2005年
5 吴崇咸;基于计算机USB口的FMT系统的升级与实验[D];重庆大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 单连新,张中元,范琦,朱超;CU9505钢球表面粗糙度激光测量仪[J];轴承;1999年05期
2 陈锦江,任成祖,徐强,金卫东,靳新民,徐燕申;陶瓷轴承零件表面特性检测技术[J];轴承;2003年06期
3 蒋沂萍;钢球的超声波探伤法[J];轴承;2003年10期
4 赵铭,付丽霞;表面粗糙度对深沟球轴承振动值的影响[J];轴承;2004年05期
5 尤齐恒,陆弘道;轴承洁净度对寿命及振动的影响[J];轴承;1994年10期
6 杜颖,张国雄,李真,杨颖;金属表面对光学非接触测头的影响[J];光电工程;2000年05期
7 曲兴华,何滢,韩峰,赵旭辉,叶声华;强反射复杂表面随机缺陷自动检测系统[J];光电工程;2003年02期
8 邓善熙,赵前程;高精度球面的气动测量[J];工具技术;1998年07期
9 张雅兰;图像的二值化处理[J];广西工学院学报;2002年01期
10 王宇,龙兴武;基于小波的不均匀光照的校正[J];光学技术;2005年05期
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