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《传感器世界》 1997年03期
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MEMS—压力传感器的革命性新技术

高国伟  
【摘要】:正 一、MEMS技术的现状与未来发展微电子机械系统(Microelectro-mechanicalSystems,缩写为MEMS)是一项21世纪的革命性的新技术,它的发展面广流长,是关系到一个国家科技发展、经济繁荣和国防安全的至关重要的技术.MEMS技术的产生、发展将带动众多交叉学科与高新技术产业的发展.MEMS研究公认自60年代开始.1987年加州大学柏克利实验室首次做出直径100μm、60μm的微电机,引起国际学术界和产业界的高度重视.1989年MEMS国际会议上一致认为,用微电子技术制造微电子机械系统是一项崭新的技术.目前,微型机械在国际上的提法很多,美国人称MEMS,日本人称Micro Machine、欧洲人称Microsystem,它们是同义词,都是指微电
【作者单位】《传感器世界》杂志社
【分类号】:TP212

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【引证文献】
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2 张芳,林良明;微机械的基本特征、关键技术及应用前景[J];传动技术;2001年01期
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【同被引文献】
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【二级引证文献】
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2 王浩旭;谢立强;吴学忠;李圣怡;;石英湿法腐蚀及侧壁晶棱修平工艺研究[J];传感技术学报;2009年12期
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8 郭源生;郭宏;;汽车轮胎压力传感器芯片与应用[J];电子产品世界;2008年02期
9 段瑞玲,李玉和,李庆祥;国内微型器件装配技术的现状与应用[J];光机电信息;2005年07期
10 程玄玄;聂伟荣;李艳桥;卢西山;;引信MEMS保险机构剪断式后坐卡销[J];弹箭与制导学报;2011年06期
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1 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
2 关荣锋;MEMS器件设计、封装工艺及应用研究[D];华中科技大学;2005年
3 张思杰;基于MEMS的消化道无线内窥镜的研究[D];重庆大学;2005年
4 张永祥;基于陀螺仪的船载电子稳像技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
5 颜丙勇;碳纳米管电离式气体传感器的基础研究[D];上海交通大学;2006年
6 陈明祥;基于感应加热的MEMS封装技术与应用研究[D];华中科技大学;2006年
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9 朱福龙;基于工艺力学的MEMS封装若干基础问题研究[D];华中科技大学;2007年
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4 孔德义;梅涛;;MEMS技术及其在汽车传感器中的应用[A];2004“安徽制造业发展”博士科技论坛论文集[C];2004年
5 陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
6 梁杰;李中华;;MEMS的微管道流动特征数值模拟研究[A];2003空气动力学前沿研究论文集[C];2003年
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8 张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动跟踪研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
9 胡星星;滕云田;;基于MEMS传感器的小型智能化强震仪[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
10 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
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1 易人;MEMS:小角色的大未来[N];计算机世界;2003年
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3 ;欧洲的MEMS工业[N];中国电子报;2002年
4 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
5 中电元协敏感元器件与传感器分会秘书长 齐文杰;MEMS传感器进驻汽车发动机[N];中国电子报;2004年
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7 ;Intel悄然推出手机MEMS模块[N];计算机世界;2004年
8 本报记者 徐勐 通讯员 苏媛;国家高新区MEMS研究院落户淄博[N];淄博日报;2010年
9 ;传感器热衷于MEMS市场将加速整合[N];电子报;2008年
10 中国电子科技集团公司第49研究所信息中心主任 曹金名;微电子机械系统开辟新世界[N];中国电子报;2003年
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1 关荣锋;MEMS器件设计、封装工艺及应用研究[D];华中科技大学;2005年
2 董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
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4 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
5 王春田;MEMS数字检波器采集系统技术研究[D];中国地质大学(北京);2011年
6 朱福龙;基于工艺力学的MEMS封装若干基础问题研究[D];华中科技大学;2007年
7 王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
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9 李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
10 吕良;MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D];北京邮电大学;2011年
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1 颜鹰;MEMS高温压力传感器若干关键技术的研究[D];华中科技大学;2005年
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