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《传感器与微系统》 2012年02期
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非等齿耦合位移传感器的研究

朱革  郭增强  王先全  罗静  袁亚辉  
【摘要】:为了提高位移传感器的测量精度,在最大开槽数一定时获得更多的极对数。对原有时栅位移传感器进行改进,提出了一种新的位移传感器结构,介绍了传感器的工作原理和结构。该传感器在最大开槽数一定的情况下,可以得到较多的极对数和测头数,从而利于提高测量精度。通过实验得出以高精度光栅为基准时传感器的角位移测量误差为±6.5″。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
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