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《传感器与微系统》 2006年07期
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单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法

王世清  姜彤  侯占民  
【摘要】:介绍了单晶硅压力传感器温度漂移的机理,阐述了采取串并联电阻网络和有源电路分段等综合补偿方法的补偿原理。实验结果表明:在-45~85℃温区内,补偿后,热零点漂移和热灵敏度漂移从±0.5%FS/℃提高到±0.014%FS/℃。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 王志刚;唐飞;王晓浩;熊继军;;基于MS5534B的气压高度计系统的设计[J];微纳电子技术;2008年06期
2 赵瑜;高国伟;王超;张军;潘雪;;自动调零CANbus倾角传感器的设计[J];北京机械工业学院学报;2007年04期
3 胡正群;张丽荣;;基于MS5534C的差分气压测高在室内定位中的应用[J];传感器与微系统;2011年12期
4 胡正群;张丽荣;;差分气压测高在室内定位系统中应用的性能分析[J];传感技术学报;2012年10期
5 潘立苗;杨伟华;杨遂军;傅琳;叶树亮;;农药克南试验过程中的温度补偿研究[J];安徽农业科学;2012年35期
6 吴红兰;黄圣国;;嵌入式高精度气压高度表的误差补偿研究[J];哈尔滨商业大学学报(自然科学版);2010年04期
7 郝振海;黄圣国;;高精度气压高度表的研制[J];南京航空航天大学学报;2009年01期
8 刘成;周兆英;付旭;;提高微型高度计分辨率的一种设计方法[J];清华大学学报(自然科学版);2007年08期
9 刘鹏;杨学友;杨凌辉;李雁斌;;基于MAX1452硅压力传感器温度补偿系统的设计[J];仪表技术与传感器;2010年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 赵阳;梅劲松;;基于MS5607-B的手持式气压高度计设计[A];2011年通信与信息技术新进展——第八届中国通信学会学术年会论文集[C];2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 胡园园;基于微机械电子系统硅压力传感器智能化温度补偿设计[D];淮北师范大学;2010年
2 赵艳平;压力传感器弹性元件的力学性能分析与研究[D];江苏大学;2007年
3 曹万丹;基于AVR的智能数字气压计的优化设计[D];武汉科技大学;2009年
4 任国晶;深度传感器的研制与实验[D];哈尔滨工程大学;2012年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 郭志勇;陈小永;;基于μPSD3234的智能水位监测仪设计与实现[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年04期
2 程融;刘进;;基于光电管的智能车路径识别研究[J];兵工自动化;2009年12期
3 林文城;董亮;;基于单片机的船用海水淡化装置故障诊断系统的硬件设计[J];船电技术;2009年02期
4 林文城;;基于PLC的水盐度信号测量与处理系统的设计[J];船电技术;2009年09期
5 余成波;张莲;陈学军;翟峰;;基于螺管形差动变压器的非接触式扭矩传感器的研究[J];传感技术学报;2006年03期
6 刘文辉;李平;文玉梅;;一种无源无线SAW压力传感器结构设计[J];传感技术学报;2007年04期
7 张艳;程春梅;;激光液位传感器在炸药装药中的检测应用[J];测试技术学报;2008年02期
8 张丹;基于传感器数字I/O模块在网络分层设计上的应用[J];辽东学院学报;2004年S1期
9 张丹;模数转换器在嵌入式微处理器中的应用[J];丹东纺专学报;2004年04期
10 梁源;朱武;王宏亮;曹倩倩;赵丽娜;;基于超声波测距的盲人导航器设计[J];上海电力学院学报;2010年06期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 梁永恒;刘子泉;;比值分析仪在武钢焦化回收生产中的应用[A];节能环保 和谐发展——2007中国科协年会论文集(一)[C];2007年
2 徐培君;朱昌亚;;加速度计横向灵敏度调试与校准研究[A];四川省电子学会传感技术第九届学术年会论文集[C];2005年
3 李萍;李亚荣;;基于C8051F020单片机的油井作业监测系统[A];2009中国仪器仪表与测控技术大会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 崔云先;瞬态切削用NiCr/NiSi薄膜热电偶测温刀具研究[D];大连理工大学;2011年
2 李昆;激光非接触位移传感器的研制及其应用[D];中国地震局工程力学研究所;2004年
3 高长银;压电石英晶片扭转效应研究及新型扭矩传感器的研制[D];大连理工大学;2004年
4 韩丽丽;三向压电钻削测力仪的设计及扭矩加载器的研制[D];大连理工大学;2006年
5 胡晓明;用于增强现实的姿态测量系统及其校正技术研究[D];北京理工大学;2006年
6 赵晓燕;基于压电陶瓷的结构健康监测与损伤诊断[D];大连理工大学;2008年
7 彭亮;基于氧化锌纳米材料的光电气敏性质研究[D];吉林大学;2009年
8 闫洪余;立辊式玉米收获机关键部件工作机理及试验研究[D];吉林大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 牛生辉;浮子式光纤Bragg光栅密度传感器[D];昆明理工大学;2010年
2 宋乐;基于GSM的多参数水质在线监测系统设计[D];太原理工大学;2011年
3 赵军荣;水银微电容式加速度计的特性及测试研究[D];中北大学;2011年
4 代友军;某型燃油部件测试台CAT系统的开发研究[D];电子科技大学;2011年
5 张文龙;厨用燃油燃气节能系统的研究[D];沈阳理工大学;2011年
6 朱玲;汽车驻车制动操纵手柄总成冲击性能试验技术研究[D];长春理工大学;2011年
7 李蕊;基于CAN总线的汽车智能仪表的开发[D];重庆交通大学;2011年
8 陈君伟;民机襟翼滑轨磨损性能试验机测控系统研究[D];南京航空航天大学;2010年
9 陈云云;基于物联网架构的热计量表远程实时监测系统的研究[D];燕山大学;2011年
10 关钰;钯基氢传感器的制备及性能研究[D];南京航空航天大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 聂春红;;农业水污染及电催化氧化水处理技术[J];安徽农业科学;2011年12期
2 刘艳艳,姚素英,张生才,张维新,毛赣如,曲宏伟;高性能高温压力传感器[J];半导体技术;2001年05期
3 朱健;MEMS技术的发展与应用[J];半导体技术;2003年01期
4 樊尚春,彭春荣;硅压阻式传感器的温度特性及其补偿[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 谌贵辉,张万里,彭斌,蒋洪川;MEMS微致动器的研究[J];微纳电子技术;2004年09期
6 赵艳平;丁建宁;杨继昌;王权;薛伟;;硅压力传感器芯片设计分析与优化设计[J];微纳电子技术;2006年09期
7 许东华;林惠旺;张兆华;谭智敏;刘理天;;压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究[J];微纳电子技术;2007年Z1期
8 王志刚;唐飞;王晓浩;熊继军;;基于MS5534B的气压高度计系统的设计[J];微纳电子技术;2008年06期
9 张晓群,吕惠民;压力传感器的发展、现状与未来[J];半导体杂志;2000年01期
10 樊尚春;张秋利;秦杰;;基于样条曲线插值的压力传感器的温度补偿[J];北京航空航天大学学报;2006年06期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 蔺杰;数据融合的神经计算方法[D];浙江大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 冯波;多传感器信息融合技术的研究[D];南京航空航天大学;2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘维亚;牛秀范;邓春健;;基于智能传感器的新型高度与方向测量仪[J];传感技术学报;2010年08期
2 胡辽林;刘晨;盖广洪;;硅压阻传感器的智能温度补偿研究[J];传感技术学报;2012年04期
3 胡正群;张丽荣;;基于MS5534C的差分气压测高在室内定位中的应用[J];传感器与微系统;2011年12期
4 杨泽;王击;刘亮;;基于MS5607B的移动气压高度计的设计[J];传感器世界;2011年10期
5 欧同庚;项大鹏;邓涛;廖成旺;;新型PTH-Ⅵ型气象参数测量仪的研制[J];大地测量与地球动力学;2011年S1期
6 戴中兴;黄文恺;;基于视觉的小型垂直起降UAV降落引导技术[J];广州大学学报(自然科学版);2010年01期
7 赵天成;饶和昌;;一种基于MS5803和气象数据的高度测量方法[J];电子设计工程;2011年14期
8 安都勋;霍建华;王留全;;基于MAX1452的应变测试系统前端模块的设计[J];电子设计工程;2012年02期
9 刘刚;;基于MS5540C的微型气压传感器的设计与研究[J];电子设计工程;2012年07期
10 田海燕;赖春强;贺思桥;;基于MS5534C的数字气压计设计[J];兵工自动化;2012年09期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 张福星;朱荣;刘旭东;刘鹏;熊威;周兆英;;基于MEMS技术的微型飞行器测控系统研究[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅲ)[C];2008年
2 ;Design of Attitude and Heading Reference System Based on MEMS Sensor[A];第24届中国控制与决策会议论文集[C];2012年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 郝振海;组合传感器仪表关键技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 汪家奇;集成皮拉尼真空传感器系统研究[D];大连理工大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 江民俊;弹上遥测系统若干关键智能传感器信息测量及融合研究[D];南昌航空大学;2010年
2 胡园园;基于微机械电子系统硅压力传感器智能化温度补偿设计[D];淮北师范大学;2010年
3 杨成顺;一种通用微型飞行控制器设计[D];南京航空航天大学;2009年
4 苏昂;飞行器景象匹配测高测姿方法研究[D];国防科学技术大学;2011年
5 李云强;立体导航系统中高度数据获取与地图匹配[D];北京交通大学;2009年
6 王伟;GaAs基共振隧穿压力传感器的设计与仿真[D];中北大学;2009年
7 曹万丹;基于AVR的智能数字气压计的优化设计[D];武汉科技大学;2009年
8 郭长旭;压力传感器仿真平台的研究与设计[D];沈阳工业大学;2010年
9 刘贤敏;无人机飞控系统与实时航迹规划研究[D];南昌航空大学;2011年
10 马娟;数字式大气数据计算机的软件设计与实现[D];西安电子科技大学;2012年
【相似文献】
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1 徐冬;张宁;董玉荣;卫学峰;;半导体双轴力传感器的设计[J];传感器与微系统;2010年11期
2 刘世泉;;超载莫通行——超载检测系统设计[J];电子制作;2009年05期
3 丁喜波;郭如健;岳乐鹏;王战锋;;催化燃烧式LNG传感器自校准技术的研究[J];传感器与微系统;2009年08期
4 包均纲;;螺杆压缩机测振传感器的选型及安装[J];甘肃科技;2010年17期
5 符运良;袁一方;陈抱雪;;表面等离子体共振(SPR)薄膜传感器的研究[J];激光杂志;2006年03期
6 卢志才;米东;徐章遂;武鸿飞;耿杰恒;;基于改进巨磁阻传感器的地磁定向系统[J];传感技术学报;2011年02期
7 焦阳;杨庆新;沈功田;李光海;;泄漏声发射传感器的标定研究[J];无损检测;2007年03期
8 童敏明;张闯;戴新联;蔡丽;;纳米Al_2O_3对催化传感器稳定性的影响[J];传感技术学报;2007年11期
9 吴海彬;;声磁传感器及其频谱检测技术研究[J];仪器仪表学报;2008年05期
10 赵晓云;顾铮先;;基于长周期光纤光栅的几种传感器模型的比较[J];传感器与微系统;2008年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 曾辉;;岩土中传感器动态测量的有关问题[A];第三届全国岩石动力学学术会议论文选集[C];1992年
2 周胜军;文传花;李玉权;;一种提高光纤脉冲磁场传感器灵敏度的方法[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
3 何平;潘国峰;李琳;夏克文;赵红东;;基于LS-SVR的压力传感器温度补偿[A];第二十九届中国控制会议论文集[C];2010年
4 董慧;王剑;郭精忠;王立娜;于晋龙;;光纤传感信号处理前端电路设计[A];全国第二届信号处理与应用学术会议专刊[C];2008年
5 詹铭坚;姚玉明;;有限元法在称重传感器设计中的应用[A];称重科技——第十届称重技术研讨会论文集[C];2011年
6 贺银方;王雪笠;;关于混合性睡眠呼吸暂停综合征的研讨[A];第三届中国睡眠医学论坛论文汇编[C];2009年
7 李启泰;;大气重力波遥感技术及应用[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
8 骆晓森;薛龙增;刘建刚;马继华;尹政;刘虹;严玉兰;沈建;刘红旗;;用于生理学实验的光纤呼吸信号检测系统研究[A];中国生理学会第七届全国生理学教学研讨会论文摘要汇编[C];2003年
9 王萍;张宝珍;;国外航空发动机健康管理用先进传感器技术[A];2010航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
10 沙永忠;姜宏伟;王建军;;基于柔性压电元件的管路振动测量技术研究[A];2010航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 刘霞;增强拉曼散射传感器灵敏度提高10亿倍[N];科技日报;2011年
2 刘晖;TRV22E摄像机:“小有大聪明”[N];计算机世界;2003年
3 ;汽车防盗器为什么会产生误报?[N];中国质量报;2003年
4 颜亮;美国纳米技术应用研究出现四大热点[N];医药经济报;2003年
5 河南 吴勇;简单实用的摩托车防盗报警电路[N];电子报;2003年
6 ;纳米丝织成计算电路[N];计算机世界;2002年
7 江西 曾海萍;AK-10型血液透析机常见故障排除[N];电子报;2009年
8 徐铮奎;纳米碳管可用于制造多种医疗器械[N];中国医药报;2010年
9 江西 谭明裕;汽车防盗报警器常见故障分析[N];电子报;2010年
10 陈雪梅 俞水清;福建省计量院 首次承担ISO/TC108国际标准制定[N];中国质量报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 高仁璟;微质量传感器及其微带传输天线的结构设计[D];大连理工大学;2011年
2 孙敏;QCM基静电纺纳米纤维传感器检测液体中微量有害物质的研究[D];东华大学;2012年
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4 谷磊;海洋微结构剪切流传感器及其载体设计方法与实验研究[D];天津大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王松涛;氟化镁介质层对长程表面等离子体共振生物传感器灵敏度的影响[D];华东师范大学;2010年
2 赵彦晓;压力传感器的热零点漂移补偿与非线性修正[D];河北工业大学;2003年
3 吴凌慧;高温高压差传感器的设计与特性研究[D];哈尔滨工程大学;2011年
4 蔡霞;氧化锌基光学生物传感器的研究[D];浙江工业大学;2010年
5 王大军;基于微机电系统的硅压力传感器性能改进研究[D];淮北师范大学;2011年
6 卢平;基于LabVIEW的光纤多路音视频监测报警系统[D];重庆大学;2011年
7 刘桢;基于GSM网络的智能压力传感器系统研究[D];西安理工大学;2008年
8 郑雁公;基于表面微机械加工的高灵敏度压力传感器研究[D];沈阳工业大学;2009年
9 孙凯;环形结构涡流传感器的研制[D];合肥工业大学;2010年
10 王勇;基于LUPA300的高帧频APT精跟踪成像技术研究[D];长春理工大学;2011年
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