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《传感器与微系统》 2006年07期
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一种基于四象限光电探测器的对准新方法

王秀青  徐德  谭民  刘云  
【摘要】:在分析四象限光电探测器工作原理的基础上,提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法。激光器与四象限探测器位置固定,掩模板处于激光器与四象限探测器之间。透过掩模板上的2个透光米字形标记,激光光束照射到四象限探测器的光敏面。根据2个四象限探测器的输出,计算出掩模板的位置和姿态偏差,通过运动平台调整掩模板的位置和姿态,实现对准。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 王岱,杨世洪;采用四象限探测器的双轴跟踪控制技术[J];光电工程;2003年05期
2 张洪建,方斌,李伟仁;机载武器四象限测角制导新算法[J];激光与红外;2002年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 徐代升,何志平,舒嵘,王建宇;激光制导目标方位探测系统的光学设计[J];光学与光电技术;2004年05期
2 匡萃方,冯其波,冯俊艳,刘斌;四象限探测器用作激光准直的特性分析[J];光学技术;2004年04期
3 陈杜,徐秀芳,刘银年,王建宇;空间目标红外辐射谱测量技术研究[J];红外;2005年07期
4 安凯,汪红熳,任戈,叶步霞,傅承毓,马佳光;四象限探测仪测角新算法[J];激光与红外;2001年06期
5 张洪建,方斌,李伟仁;机载武器四象限测角制导新算法[J];激光与红外;2002年06期
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中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 张锦;激光干涉光刻技术[D];四川大学;2003年
2 范国滨;光束稳定与振动控制的光机电一体化系统研究[D];西安电子科技大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
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2 赵景;光学系统的三维振动失调分析[D];西安电子科技大学;2005年
3 高波;大视场投影光刻物镜的研究[D];浙江大学;2006年
4 周鹏飞;极紫外光刻掩模热变形及其对光刻性能的影响[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2006年
5 任承志;高精度地面太阳/大气紫外光谱测量及比对[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
6 韩旭东;无线激光通信系统的改进[D];东南大学;2006年
7 党敏;一种共路补偿激光漂移方法及实验研究[D];北京交通大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 薛开;王平;王文斌;徐建安;祝海涛;;基于多轴运动控制器的二轴转台控制系统[J];哈尔滨工程大学学报;2006年04期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 安凯,汪红熳,任戈,叶步霞,傅承毓,马佳光;四象限探测仪测角新算法[J];激光与红外;2001年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 毛祟昌;;用于投影曝光微细线条的自动调焦调平系统[J];光电工程;1985年04期
2 匡萃方,冯其波,陈士谦,刘欣,冯俊艳;基于激光准直直线度测量方法的研究[J];光学技术;2003年06期
3 ;光探测与器件[J];中国光学与应用光学文摘;2004年06期
4 马玲;沈小丰;叶巍;;一种新型光电定向系统的设计与实现[J];电子工程师;2006年05期
5 陈士谦;张志峰;匡萃方;;轨距传感器中激光光斑大小的影响[J];激光与红外;2006年05期
6 王秀青;徐德;谭民;刘云;;一种基于四象限光电探测器的对准新方法[J];传感器与微系统;2006年07期
7 钱建强;;一种新型的转子旋转速度大小及方向的测量装置[J];测控技术;2006年07期
8 钱建强;徐平;;四象限光电探测器用于转速测量的研究[J];光电工程;2006年09期
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中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 张家如;万敏;聂文杰;周克恩;于真;张蓉;;四象限快速剪切反射镜跟踪系统[A];中国工程物理研究院科技年报(1998)[C];1998年
2 杨金涛;徐文东;;原子力显微镜系统中的光点跟踪设计[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 李海飞;半主动激光制导导引头检测与控制电路的研制[D];国防科学技术大学;2005年
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