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《传感器技术》 2004年09期
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采用MEMS制作新型硅磁敏三极管特性研究

赵晓锋  田凤军  温殿忠  
【摘要】:给出采用MEMS技术在硅片表面制作矩形板状立体结构新型硅磁敏三极管的基本结构及灵敏度特性、电压-电流特性、磁电特性和温度特性,对新型硅磁敏三极管样品基本特性进行研究的结果表明:该新型硅磁敏三极管的集电极电流相对磁灵敏度较高,最大可达227%/T,具有负温度系数且温度系数较小。同时,给出影响新型硅磁敏三极管特性的基本因素。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 宋明歆;宫纯青;贺训军;殷景华;刘晓为;;形状参数对MEMS霍尔器件性能影响研究[J];传感技术学报;2006年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 宫纯青;形状参数对MEMS霍尔器件性能影响研究[D];哈尔滨理工大学;2006年
2 金海;硅磁敏三极管开关集成电路设计[D];黑龙江大学;2008年
3 王钰;基于硅磁敏二极管开关电路的设计[D];黑龙江大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 温殿忠,邱成军,庄玉光;P~+πN~+器件压磁电效应的研究[J];传感技术学报;1996年02期
2 温殿忠,穆长生,赵晓峰;采用MEMS技术制造硅磁敏三极管[J];传感器技术;2001年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张怀武;;偏压对溅射ITO膜载流子浓度和迁移率的影响[J];半导体光电;1993年01期
2 赵晓锋,温殿忠;基于MEMS技术新型硅磁敏三极管负阻-振荡特性[J];半导体学报;2005年06期
3 和文国,田跃,王元玮;一种消除磁阻脉冲传感器温度影响的新方法[J];北京科技大学学报;1997年06期
4 王文生,刘志刚,胡明;高灵敏度InSb磁敏电阻的研究[J];传感技术学报;1988年02期
5 王文生,张之圣,刘志刚;分立型InSb磁敏电阻的研究[J];传感技术学报;1991年01期
6 王铁生;检测电动机FG信号用磁敏电阻器的设计[J];传感技术学报;1996年01期
7 方培生;鉴别纸币真假的数码化InSb传感器的研制[J];传感技术学报;2002年02期
8 赵晓锋;温殿忠;;纳米硅/单晶硅异质结MAGFET不等位电势补偿研究[J];传感技术学报;2010年03期
9 王璐;温殿忠;刘红梅;田丽;莫兵;;利用MEMS技术研制硅脉象传感器[J];传感技术学报;2010年09期
10 王文生;InSb磁阻元件与传感器的进展[J];传感器技术;1994年02期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 潘峰;行程传感液压缸基础技术的研究[D];浙江大学;2002年
2 赵晓锋;纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究[D];黑龙江大学;2008年
3 王璐;基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究[D];黑龙江大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李颖;生物医学电磁逆问题若干方法的研究[D];河北工业大学;2000年
2 张维荣;霍尔原理直流大电流互感器的研究[D];华北电力大学;2000年
3 赵晓锋;采用MEMS技术制作硅磁敏三极管研究[D];黑龙江大学;2003年
4 方志强;叶尖定时传感器及叶片振动信号处理技术的研究[D];天津大学;2004年
5 周郁明;基于磁阻传感器的钢丝绳断丝信号的提取及处理[D];华中科技大学;2004年
6 张国强;有载分接开关机械性能的在线监测系统研究[D];山东大学;2006年
7 孔祥飞;基于压力传感器的轮胎监测系统的研究[D];黑龙江大学;2007年
8 裴满;汽油机转速传感器电磁干扰机理与实验研究[D];南京航空航天大学;2007年
9 徐君;新型敏感元件在脉冲涡流检测中的应用研究[D];南京航空航天大学;2007年
10 陈萍;电子时间引信的计转数弹载测速自修正技术[D];南京理工大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈松岩,谢生,何国荣;Si/Si直接键合界面的FTIR和XPS研究[J];半导体光电;2004年05期
2 张志勇,王太宏;纳米电子器件中的噪声及其应用研究[J];微纳电子技术;2003年06期
3 黄得星;长基区晶体管的磁敏感效应[J];半导体学报;1982年04期
4 赵晓锋,温殿忠;基于MEMS技术新型硅磁敏三极管负阻-振荡特性[J];半导体学报;2005年06期
5 温殿忠;非对称基区梳状温度补偿晶体管设计原理[J];传感技术学报;1990年03期
6 温殿忠,邱成军,庄玉光;P~+πN~+器件压磁电效应的研究[J];传感技术学报;1996年02期
7 赖宗声,蔡彦,景圳,贺德洪,郑筱莉;一种新型两维霍尔角度传感器研究[J];传感技术学报;2001年01期
8 李德胜,张鹏飞,藤田博之;基于MEMS技术的微型磁性开关阵列[J];传感器技术;2000年05期
9 温殿忠,穆长生,赵晓峰;采用MEMS技术制造硅磁敏三极管[J];传感器技术;2001年05期
10 曲伟,温殿忠,刘红梅,李国栋;井下液体流速检测仪的研制[J];传感器技术;2001年08期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 赵晓锋;纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究[D];黑龙江大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 姚韵若;磁敏线阵列CMOS传感器集成电路的研究[D];浙江大学;2005年
2 任华;MOSFETs力/磁传感器集成化研究[D];黑龙江大学;2008年
3 魏娜;悬臂梁MOSFET霍尔磁传感器研究[D];黑龙江大学;2008年
4 金海;硅磁敏三极管开关集成电路设计[D];黑龙江大学;2008年
5 邰艳芳;摩托车用霍尔效应转速传感器的研究与开发[D];天津大学;2008年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 魏娜;悬臂梁MOSFET霍尔磁传感器研究[D];黑龙江大学;2008年
2 王钰;基于硅磁敏二极管开关电路的设计[D];黑龙江大学;2010年
3 曹立军;小型两缸燃气发电机组控制系统设计[D];山东大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 黄得星;长基区晶体管的磁敏感效应[J];半导体学报;1982年04期
2 温殿忠;非对称基区梳状温度补偿晶体管设计原理[J];传感技术学报;1990年03期
3 温殿忠,邱成军,庄玉光;P~+πN~+器件压磁电效应的研究[J];传感技术学报;1996年02期
4 黄得星;双注入长二极管的磁灵敏度理论[J];电子学报;1980年04期
5 黄得星;双注入型磁敏二极管的设计[J];电子科学学刊;1986年02期
6 黄得星,温殿忠;结型磁敏器件──硅磁敏二极管[J];物理;1979年05期
【相似文献】
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1 温殿忠,穆长生,赵晓峰;采用MEMS技术制造硅磁敏三极管[J];传感器技术;2001年05期
2 黄虎坤;3CCM型硅磁敏三极管可靠性的试验研究[J];传感器技术;1988年06期
3 黄得星 ,吴南健;硅磁敏三极管二维差分电路[J];黑龙江大学自然科学学报;1986年03期
4 黄得星;硅磁敏三极管差分电路[J];黑龙江大学自然科学学报;1985年03期
5 赵晓锋,温殿忠;基于MEMS技术新型硅磁敏三极管负阻-振荡特性[J];半导体学报;2005年06期
6 贾刚;3CCM硅磁敏三极管工作机理[J];传感器技术;1987年Z1期
7 黄得星;敏感技术物理及应用专题系列(IV) 磁敏传感器及其应用[J];物理;1990年07期
8 温殿忠;激光刻蚀硅磁敏三极管发射区引线槽的研究[J];中国激光;2003年05期
9 程志奇;;“磁传感器及其应用技术”讲座 第八讲 磁敏晶体管传感器(二)[J];自动化仪表;1989年04期
10 缪昊;走近MEMS技术(上)[J];电子产品世界;2000年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 汤世友;甘景田;;一种基于MEMS技术的可自检、高分辨率电容式加速度传感器设计[A];四届四次空气动力测控技术交流会论文集[C];2003年
2 骆英;沈毅;;基于MEMS数据存储器中的二维驱动器结构数值模型分析[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
3 张宇峰;张鹏飞;李德胜;王东宏;;基于MEMS技术的微型电磁继电器的研究[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)[C];2001年
4 方震;武宇;赵湛;张博军;;基于MEMS技术的集成温湿传感器研制[A];中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集[C];2004年
5 杨东升;李邦元;王奇;;角速率微陀螺仪ADXRS401的原理与接口电路设计[A];航空装备保障技术及发展——航空装备保障技术专题研讨会论文集[C];2006年
6 刘舒维;陈迪;张保增;陈翔;刘景全;朱军;柴新禹;任秋实;;人造视网膜生物电极阵列研究[A];中国生物医学工程进展——2007中国生物医学工程联合学术年会论文集(上册)[C];2007年
7 张治国;罗抟翼;陈信琦;;硅电容加速度敏感器件的研制[A];全面建设小康社会:中国科技工作者的历史责任——中国科协2003年学术年会论文集(上)[C];2003年
8 郑丹;张熙贵;田娟;夏保佳;;新型阴极结构的自呼吸式μPEMFC[A];上海市化学化工学会2006年度学术年会论文摘要集[C];2006年
9 王巍;何胜;;微固态惯性器件的研究与发展[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
10 傅新;;MEMS技术的发展现状及微流控系统的研究进展[A];中国机械工程学会流体传动与控制分会——第三届全国流体传动及控制学术会议大会交流论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 莲玉;MEMS技术应用日趋广泛[N];中国电子报;2002年
2 顾炳鑫 王祥明;太原将建研发MEMS技术生产基地[N];中国电子报;2001年
3 贺一平;QC成果连续5年获优评[N];中国航天报;2010年
4 信息产业部电子科学技术情报研究所研究中心 邱惠君;MEMS应用 无“微”不至[N];中国电子报;2001年
5 中电元协敏感元器件与传感器分会秘书长 齐文杰;MEMS传感器进驻汽车发动机[N];中国电子报;2004年
6 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
7 李映;发动机管理系统因需而变[N];中国电子报;2004年
8 ;新型传感器研发的重点领域[N];中国电子报;2002年
9 于寅虎;我国传感器未来命系产业化[N];中国电子报;2004年
10 易人;MEMS:小角色的大未来[N];计算机世界;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 赵湛;基于MEMS技术的PCR芯片的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
2 陈丽洁;微型矢量水听器研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
3 单建华;仿壁虎微米粘附阵列制备及柔性触觉关键技术研究[D];中国科学技术大学;2007年
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5 赵强;基于MEMS技术的微型泵的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2004年
6 向民;基于MEMS技术的Fabry-Perot腔可调光学滤波器研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
7 赵晓锋;纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究[D];黑龙江大学;2008年
8 汪之国;异面腔四频差动激光陀螺的零偏特性与电子系统设计[D];国防科学技术大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵晓锋;采用MEMS技术制作硅磁敏三极管研究[D];黑龙江大学;2003年
2 孙淑珍;基于MEMS的矢量水听器的研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
3 王聪;微型薄膜气体传感器研究[D];华中科技大学;2005年
4 何文波;基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究[D];大连理工大学;2003年
5 孔繁华;锆钛酸铅薄膜的制备及性能测试研究[D];中北大学;2008年
6 王迪;采用MEMS技术研制硅脉象传感器[D];黑龙江大学;2009年
7 刘利娜;微型生化分析仪用温度控制系统的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
8 唐祺;采用MEMS技术研制聚酰亚胺湿度传感器[D];黑龙江大学;2007年
9 刘舒维;人造视网膜生物微电极阵列研究[D];上海交通大学;2008年
10 潘靓;基于FPGA温控系统的CF-PCR-CE芯片研究[D];大连理工大学;2009年
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