收藏本站
《传感器技术》 2002年06期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微加速度计的力学分析

徐鹏  祖静  林祖森  
【摘要】:结合有关微加速度计的国内、外最新研究成果 ,以及科研中所遇到的实际动态测试问题 ,重点分析了微加速度计以下几方面力学性能 :频率、冲击载荷下的破坏以及由于尺寸效应引起的部件间的粘附现象 ,这直接关系到微加速度计的工作可靠性。最后 ,对这方面的研究提出了一些思路。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 陈伟平;韩天;赵振刚;刘晓为;孙立宁;曹伽牧;;一种微机械加速度计的自检测特性研究[J];传感技术学报;2008年03期
2 王伟,郝雁;压阻式加速度计双端固支梁结构的设计与分析[J];传感器技术;2003年10期
3 祁晓瑾;刘俊;石云波;;高gn值微加速度计的设计[J];传感器与微系统;2006年10期
4 张群雁;冯丽爽;周震;姚保寅;;微米光栅加速度计机械性能研究[J];中原工学院学报;2009年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
2 李发明;光学加速度计方案的初步研究[D];国防科学技术大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 褚金奎,郝秀春,王立鼎;拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 马官营;颜国正;于莲芝;施建;;人体消化道内微机电系统线圈耦合系数分析[J];北京生物医学工程;2006年05期
3 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
4 李新,唐祯安,徐军;用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征[J];材料研究学报;2004年06期
5 金翠云;王建林;靳世久;栗大超;胡晓东;;基于相位相关与块匹配的纳米精度微器件平面动态测量[J];光学技术;2007年02期
6 李强,吴宇列,李圣怡;经济型微机电台阶测量仪的研究[J];航空精密制造技术;2005年03期
7 蒋庄德;王海容;;微机械力学性能测试仪[J];河南机电高等专科学校学报;2006年01期
8 黄凯;微泵概念设计的FBS模型[J];机械工程师;2002年06期
9 郝秀春,褚金奎,王立鼎;微夾钳的拓扑优化设计[J];机械科学与技术;2004年11期
10 王海容,赵则祥,蒋庄德;大行程纳米分辨率加载机构的研制[J];机械强度;2001年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王立鼎;;中国MEMS的研究与开发进程(简稿)[A];MICONEX2002仪器仪表与自动化技术发展学术大会会议指南[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张田田;微通道内气体流动换热的理论与实验研究[D];北京交通大学;2011年
2 刘超;激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究[D];浙江大学;2010年
3 周健;铜箔力学性能的尺寸效应及微拉深成形研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 黄赞;基于计算机微视觉的微运动测量关键技术研究[D];华南理工大学;2011年
5 郭春海;电磁力扰动作用下微管道中液体流动与混合的特性研究[D];南京理工大学;2012年
6 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 王沫然;微纳尺度气体流动和换热的Monte Carlo模拟[D];清华大学;2004年
8 曹彬;微通道反应器的传递和反应特性[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2005年
9 白兰;基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
10 佟建华;压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张斌;基于MIMU的捷联惯性导航系统数据采集与处理技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 张成;SU-8柔性微夹钳的拓扑优化设计与制作工艺[D];大连理工大学;2010年
3 王文静;电热微夹钳的性能测试[D];大连理工大学;2010年
4 刘凉;3-RRRU并联机器人运动学控制的研究[D];天津理工大学;2010年
5 梅凡;三自由度并联机器人精度分析与综合[D];天津理工大学;2010年
6 李耀斌;三自由度并联机器人运动学分析[D];天津理工大学;2010年
7 赵洪全;3-DOF并联机器人传动性能研究[D];天津理工大学;2010年
8 南小武;介观压容效应在传感器应用方面的研究[D];中北大学;2011年
9 冀海文;应变对DBRT结构等效电容影响的研究[D];中北大学;2011年
10 祝婕;薄膜材料热性能研究与测试[D];电子科技大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 傅德生,苏伟,彭勃;电容式微机械加速度计部分力学特性的分析[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2003年04期
2 朱健;MEMS技术的发展与应用[J];半导体技术;2003年01期
3 张西慧,吕苗,苗勇;微机械构件的表面去粘着技术[J];微纳电子技术;2003年12期
4 褚金奎,郝秀春,王立鼎;拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 曾昭君,石进杰;一种抗大过载微型加速度计研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
6 程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,杨恒,戈肖鸿,宋朝晖;带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器[J];半导体学报;2005年03期
7 孟明,葛运建,吴仲城,戈瑜,钱敏;一种新型多维加速度传感器弹性体设计与仿真分析[J];传感技术学报;2003年04期
8 鲍爱达;徐晓辉;张英祥;范波;郭涛;;微加速度计固有频率的推导及验证[J];传感技术学报;2008年06期
9 金磊,高世桥,李文杰;微加速度传感器硅微结构设计[J];传感器技术;2000年02期
10 朱言彬;传感器技术的最新进展和市场机遇[J];传感器技术;2000年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 宋寒冰;两级重复使用运载器的多学科优化设计[D];西北工业大学;2002年
2 刘向;线加速度计在平台稳定系统中应用的理论研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 石云波;马宗敏;刘俊;;单芯片加速度计陀螺仪结构设计与分析[J];半导体技术;2007年10期
2 李仁锋,文贵印,程永生;MEMS高g值加速度计力学分析[J];传感器技术;2005年07期
3 王威;范文慧;常天庆;刘慧慧;;复杂产品的多学科鲁棒协同设计优化方法研究[J];高技术通讯;2008年03期
4 王伟;陈丽洁;贲庆玲;邵宪辉;陈昕;;抗高过载加速度计微结构的设计与分析[J];计量与测试技术;2009年09期
5 隋鸿鹏;张威;;不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能的影响[J];纳米技术与精密工程;2008年03期
6 善盈盈;卢德林;;典型MEMS器件结构优化设计平台[J];轻工机械;2012年03期
7 邹海荣;;压阻式硅加速度计固有频率的解析计算[J];上海电机学院学报;2012年05期
8 张群雁;冯丽爽;周震;姚保寅;;微米光栅加速度计机械性能研究[J];中原工学院学报;2009年04期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 孟兆新;木材干燥的多场耦合建模仿真与优化研究[D];东北林业大学;2011年
2 吕良;MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D];北京邮电大学;2011年
3 刘云涛;电容式SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC芯片研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 肖光宗;基于Y型腔正交偏振双频激光器的激光加速度计初步研究[D];国防科学技术大学;2011年
5 王涛;高g值环境典型微结构动态特性及其测试技术研究[D];大连理工大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨杏敏;大过载压阻式加速度计设计、封装与测试[D];中北大学;2011年
2 徐晓磊;多学科协同设计过程管理技术研究[D];沈阳理工大学;2011年
3 王闯;接口ASIC芯片对闭环加速度计稳定性的影响分析[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 刘宁;适于不同介质的侵彻炸点深度控制技术的应用研究[D];中北大学;2006年
5 李强;引信系统中快速置换命令系统的研究[D];电子科技大学;2007年
6 祁晓瑾;MEMS高g值加速度传感器研究[D];中北大学;2007年
7 隋鸿鹏;不同衬底条件对MEMS压阻传感器性能影响的研究[D];北京大学;2008年
8 黎渊;三轴高g加速度计的测试理论与实验研究[D];国防科学技术大学;2008年
9 陈璟恒;高动态范围闭环微加速度计接口ASIC电路设计[D];哈尔滨工业大学;2009年
10 彭玉凤;液压机活动横梁水平方向偏移在线检测系统研究与开发[D];中南大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 丁衡高;微机电系统的科学研究与技术开发[J];清华大学学报(自然科学版);1997年09期
2 鲍敏杭;微机械加工技术发展概况(二)[J];仪表技术与传感器;1998年06期
3 王立鼎,吴一辉;抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展[J];中国机械工程;1999年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 霍鹏飞,马炳和,苑伟政;基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真[J];航空学报;2003年05期
2 郑英彬,苏伟,何晓平;叉指式微加速度计的静电-机械耦合场分析[J];传感器技术;2002年05期
3 徐佩,刘俊,张文栋;用于硅微加速度计检测的差分频率电路设计[J];航空计算技术;2004年03期
4 郇勇,张泰华,杨业敏,曾昭君;用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力[J];传感技术学报;2003年02期
5 张斌珍;李科杰;张文栋;薛晨阳;王建;;基于共振隧穿压阻薄膜的GaAs基微加速度计研究[J];中北大学学报(自然科学版);2006年05期
6 熊继军;范波;郭虎岗;高建飞;;微加速计固有频率的推导及验证(英文)[J];半导体学报;2008年09期
7 谭晓昀;周贤中;姜一鸣;陈伟平;;微加速度计中Sigma Delta调制与脉冲编码调制的对比分析(英文)[J];光学精密工程;2009年06期
8 冯宇翔,董景新,赵长德,吴天准;利用单片机实现微加速度计性能自动测试[J];微纳电子技术;2005年07期
9 谭晓昀;周贤中;刘晓为;;Sigma-Delta微加速度计改进型梳状滤波器的设计[J];哈尔滨工业大学学报;2009年11期
10 古玉锋;田梦君;常洪龙;;基于Σ-Δ调制技术的微加速度计系统研究[J];新技术新工艺;2006年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李圣怡;刘宗林;吴学忠;;微加速度计的发展[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
2 万蔡辛;李丹东;张承亮;冯强;郑旭东;;电容式微加速度计的整流误差与减震浅析[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
3 胡莉;李茜;;微加速度计[A];中国自动化学会、中国仪器仪表学会2004年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会论文集[C];2004年
4 杨慧;郭航;;压电式微加速度计的研究[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
5 何晓平;张德;文贵印;;“叉指”结构微加速度计的系统设计[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
6 何晓平;;“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
7 刘云峰;董景新;;微机械梳齿式加速度计结构设计的系统考虑[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
8 邱波;姜利军;;MEMS传感技术在飞机系统测试中的应用研究[A];2011航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
9 何晓平;;抗7400g冲击的静电伺服微加速度计[A];中国工程物理研究院科技年报(2000)[C];2000年
10 黄书琴;郝永平;王世军;;电容微加速度计结构参数优化设计[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 王新城;纸张粘附橡皮布的原因与排除[N];中国包装报;2004年
2 孙寿桥;暴雨后蔬菜咋补救[N];瓜果蔬菜报.农业信息周刊;2006年
3 ;夏季蔬菜遭暴雨袭击及时救治[N];湖北科技报;2006年
4 青县盘古镇孙楼村 孙寿桥;暴雨后蔬菜及时补救[N];河北科技报;2006年
5 任春生;暴雨后蔬菜补救办法[N];瓜果蔬菜报.农业信息周刊;2008年
6 狄佳春;棉苗立枯病的防治[N];农民日报;2005年
7 康启来;洗瓶机出现异物粘附瓶壁故障的分析[N];中国包装报;2007年
8 陈茂春;夏季蔬菜遭暴雨袭击咋救治[N];农民日报;2006年
9 武增光;夏季蔬菜遭暴雨袭击如何救治[N];山西科技报;2007年
10 满仓;夏季蔬菜遭暴雨袭击咋救治[N];陕西科技报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘恒;静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究[D];重庆大学;2011年
2 周吴;微加速度计的机电耦合特性及关键技术研究[D];西南交通大学;2010年
3 戴强;基于SOI的电容式微加速度计器件物理模型与实验研究[D];电子科技大学;2010年
4 刘云涛;电容式SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC芯片研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 胡宇群;微型飞行器中的若干动力学问题研究[D];南京航空航天大学;2002年
6 刘晓旻;高精度光杠杆式微加速度计的研究[D];浙江大学;2007年
7 刘宗林;电容式微惯性器件设计理论与方法研究[D];国防科学技术大学;2004年
8 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
9 李燕斌;静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计[D];华中科技大学;2008年
10 代刚;MEMS-IMU误差分析补偿与实验研究[D];清华大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王兴华;单片三轴微加速度计关键技术研究[D];国防科学技术大学;2011年
2 朱铭哲;二阶全差分ΣΔ微加速度计接口电路的设计[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 牛正一;单片集成三轴微加速度计关键技术研究[D];国防科学技术大学;2010年
4 李文燕;复合量程微加速度计温度补偿的研究[D];中北大学;2012年
5 张运奎;多梁支撑圆盘电容式微加速度计测控系统的研究[D];上海交通大学;2012年
6 万镇;六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真[D];上海交通大学;2012年
7 秦愿;六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究[D];上海交通大学;2011年
8 何江波;支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究[D];西南交通大学;2011年
9 赵文静;基于SOI技术的MEMS惯性加速度计的设计与优化[D];电子科技大学;2010年
10 谭振新;HEMT嵌入式微加速度计的优化设计与测试[D];中北大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026