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《传感器技术》 2002年06期
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国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用

亢春梅  曹金名  刘光辉  
【摘要】:概括介绍了国外MEMS技术的主要工艺、特点、市场及预测、研究发展方向 ,重点介绍了国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 余丹铭,梁利华,许杨剑;微电子机械技术的研究和发展趋势[J];电子机械工程;2005年01期
2 文炜;;基于MEMS技术的惯性测量器件及系统的发展现状和应用[J];飞航导弹;2006年09期
3 王志越;先进制造技术之——IC&MEMS制造技术及其发展趋势(续前)[J];电子工业专用设备;2003年01期
4 段成丽,齐文杰;军用传感器的发展趋势与对策[J];传感器技术;2003年11期
5 陈特超;禹庆荣;龚杰洪;张冬艳;伍波;李键志;;用于MEMS器件制造的深反应离子刻蚀设备[J];传感技术学报;2006年05期
6 余丹铭,梁利华,许杨剑;微电子机械技术的研究和发展趋势[J];机械工程师;2004年07期
7 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰;微机电系统的发展及其应用[J];纳米技术与精密工程;2004年02期
8 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰;微机电系统的研究与展望[J];微电子学;2005年01期
9 谷庆红;微机械陀螺仪的研制现状[J];中国惯性技术学报;2003年05期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 贾翠萍;硅基8×8MEMS光开关阵列关键技术的研究[D];吉林大学;2007年
2 颜丙勇;碳纳米管电离式气体传感器的基础研究[D];上海交通大学;2006年
3 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
4 孙东明;扭臂结构的MEMS静电微驱动器的特性研究[D];吉林大学;2006年
5 李锦明;高信噪比电容式微机械陀螺的研究[D];中北大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李兆泽;MEMS固体微推进器的设计与制作[D];国防科学技术大学;2006年
2 玄伟;硅基MEMS光强型光纤加速度计的设计与制作[D];吉林大学;2007年
3 林忠华;宽量程微加速度传感器的研制[D];厦门大学;2005年
4 邓晓蓓;微小型电磁驱动器若干技术问题的研究[D];天津大学;2006年
5 安建宏;微硅陀螺检子系统集成电路的研究与实现[D];西安电子科技大学;2007年
6 吴琦;MEMS用硅基永磁薄膜阵列设计与制备研究[D];电子科技大学;2003年
7 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
8 邓进军;基于MEMS的微致动器阵列用于三角翼气动控制技术研究[D];西北工业大学;2003年
9 陈爽;面向灵巧蒙皮的微型压力传感器的设计与分析[D];西北工业大学;2004年
10 刘奎;面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器设计与仿真[D];西北工业大学;2004年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王健琪,杨国胜,董秀珍;“军事医学电子工程”的若干研究方向与发展[J];第四军医大学学报;1999年03期
【共引文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王洪福;高致病性传染病移动人群实时预警系统的研究[D];中国海洋大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王磊;;光纤通信技术现状及发展趋势[J];机械管理开发;2006年06期
2 胡兴军;全光网络技术及市场[J];有线电视技术;2005年02期
3 冯明琴;自动控制的发展与现状[J];攀枝花大学学报;2000年01期
4 刘冉,王晓浩,周兆英;MEMS微针阵列及其在生物医学上的应用[J];生物医学工程学杂志;2004年03期
5 陆建祖,魏红振,李玉鉴,张永刚,林世鸣,余金中,刘忠立;反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究[J];功能材料与器件学报;2000年04期
6 谢国章;微机械的制造、应用和发展[J];中国机械工程;1994年03期
7 李伟剑,苑伟政,马炳和,乔大勇;硅微陀螺的静电-结构耦合分析与模拟[J];西北工业大学学报;2003年06期
8 杨波;周百令;;一种改进的高精度硅微陀螺仪闭环驱动方案研究[J];宇航学报;2006年03期
9 丁大为,王年,韦穗;菲涅耳全息图的计算机生成及数字重现[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年03期
10 霍震,唐诗才;位置敏感光电探测器[J];半导体光电;1998年01期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈德勇;微机械谐振梁压力传感器研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2002年
2 熊斌;栅结构微机械振动式陀螺[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2001年
3 袁宁一;氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
4 董林玺;微机械电容式传感器及其相关特性研究[D];浙江大学;2004年
5 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
6 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
7 赵强;基于MEMS技术的微型泵的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2004年
8 董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
9 田文超;MEMS及纳米接触研究[D];西安电子科技大学;2004年
10 钟丽云;数字全息的基本问题分析及实现方法研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄小振;电容式振动微机械陀螺接口电路的设计、模拟与测试[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
2 刘东栋;一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究[D];浙江大学;2002年
3 易维勇;惯性导航及组合导航研究及仿真[D];中国人民解放军信息工程大学;2002年
4 王旭平;动圈式水磁直线振动电机的研究[D];太原理工大学;2003年
5 周俭波;数字全息术及其应用研究[D];西北工业大学;2003年
6 王玮;基于气体传感器阵列的混合气体检测系统[D];西北工业大学;2002年
7 李子鑫;基于微机控制的直线电机驱动系统研究[D];浙江大学;2004年
8 蒋庆华;音叉电容式微机械陀螺接口电路设计研究[D];西北工业大学;2004年
9 向强;光纤数字全息术及其应用研究[D];西北工业大学;2004年
10 徐莹;数字全息术用于三维物场重建方法的研究[D];西北工业大学;2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李仁锋,文贵印,程永生;MEMS高g值加速度计力学分析[J];传感器技术;2005年07期
2 蒋庆仙;;关于MEMS惯性传感器的发展及在组合导航中的应用前景[J];测绘通报;2006年09期
3 马洁美;滕云田;王喜珍;王晓美;周鹤鸣;;基于微机电的速度型地震传感器技术仿真[J];地震地磁观测与研究;2006年02期
4 文炜;;基于MEMS技术的惯性测量器件及系统的发展现状和应用[J];飞航导弹;2006年09期
5 陈希明;周平;;光开关主流技术[J];光通信技术;2006年03期
6 胡雪梅;吕俊霞;;微机电系统的发展现状和应用[J];机电设备;2005年06期
7 解振华,黄蕊慰;芯片的制造过程[J];机电工程技术;2004年11期
8 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰;微机电系统的发展及其应用[J];纳米技术与精密工程;2004年02期
9 张昱,潘武;MEMS封装技术[J];纳米技术与精密工程;2005年03期
10 喻言,欧进萍;无线加速度传感器的MEMS芯片ADXL202应用设计与集成[J];仪表技术与传感器;2005年08期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 解振华;黄蕊慰;;芯片的制造过程[A];首届泛珠三角先进制造技术论坛暨第八届粤港机电工程技术与应用研讨会论文专辑[C];2004年
2 张天孝;;当前传统惯性器件企业应对市场挑战的对策分析[A];惯性技术发展动能发展方向研讨会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张思杰;基于MEMS的消化道无线内窥镜的研究[D];重庆大学;2005年
2 李锦明;高信噪比电容式微机械陀螺的研究[D];中北大学;2005年
3 李东明;捷联式惯导系统初始对准方法研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
4 喻言;结构健康监测的无线传感器及其网络系统[D];哈尔滨工业大学;2006年
5 韩丽丽;三向压电钻削测力仪的设计及扭矩加载器的研制[D];大连理工大学;2006年
6 张永祥;基于陀螺仪的船载电子稳像技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
7 施芹;提高硅微陀螺仪性能若干关键技术研究[D];东南大学;2006年
8 贾翠萍;硅基8×8MEMS光开关阵列关键技术的研究[D];吉林大学;2007年
9 张先锋;微尺度流动及强化混合技术的研究[D];中国科学技术大学;2007年
10 王卫东;面向MEMS设计的微流体流动特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何迎辉;薄膜压力传感器性能研究及软件补偿[D];中南大学;2004年
2 吴鸣晔;传感器监控平台程序设计及控制系统研制[D];南京理工大学;2005年
3 吴雷;MEMS面型微加热器的结构设计和制作[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2005年
4 刘宁;适于不同介质的侵彻炸点深度控制技术的应用研究[D];中北大学;2006年
5 曹焱;微机械中静电梳齿结构的静动力学研究[D];西安电子科技大学;2006年
6 姚占朝;面向主动流动控制的微致动器阵列与仿真分析[D];西北工业大学;2006年
7 王军;实用化数字全息图记录与再现系统的实验研究[D];西北工业大学;2006年
8 余亮琴;石英音叉微机械陀螺的微弱信号数字检测技术的仿真与系统误差研究[D];国防科学技术大学;2005年
9 马洁美;基于斜对称轴结构的差容式力平衡地震计的研制[D];中国地震局地球物理研究所;2006年
10 张熹焱;基于特种加工的微型压气机的设计与加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 胡文蕾,王平,王明时;传感器信息融合技术及其在生物医学检测中的应用[J];国外医学.生物医学工程分册;1998年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 凌科峰;胡珊珊;舒孝文;钱森;黄海;;浅谈电子商务环境下现代医院网络医疗的现状及前景[J];医学信息(上旬刊);2011年09期
2 庞卫仕;;电气自动化技术在火力发电中的创新与应用[J];广西轻工业;2011年07期
3 蒋方方;沈小军;;简述SCADA系统在天然气运营中的应用[J];中国石油和化工标准与质量;2011年07期
4 王胜权;张劲;刘小旭;;气体传感器的分类和应用[J];科技致富向导;2011年20期
5 孙许静;印才凤;;光纤传感器在岩土测量中的应用[J];科技致富向导;2011年21期
6 李爱芝;;机电一体化在煤矿中的应用前景分析[J];企业导报;2011年08期
7 李强;董超;;煤矿井下胶带输送机远程集中控制系统的应用[J];科技资讯;2011年16期
8 张文力;;浅谈数字化变电站的应用[J];中小企业管理与科技(上旬刊);2011年07期
9 梁金芝;;CAN总线协议在嵌入式系统中的应用[J];电脑知识与技术;2011年20期
10 赵国清;;网络信息资源在煤矿机电管理中的应用[J];机电技术;2011年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 罗凡;季静;;神经网络技术在结构工程中的应用[A];第九届全国现代结构工程学术研讨会论文集[C];2009年
2 马以武;常慧敏;宋箭;;厚膜力学量传感器的发展及现状[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
3 陈志强;李建平;;基于磁性纳米粒子的生物传感器研究[A];中国化学会第十五届全国有机分析及生物分析学术研讨会论文集[C];2009年
4 王意冈;王浣尘;;多级控制协调模型及其应用[A];1995中国控制与决策学术年会论文集[C];1995年
5 郭经州;;PDB断带保护器在带式输送机上的应用[A];中国煤炭新型工业化之路——安全、高效的集约化生产技术与装备研讨会论文集[C];2005年
6 魏家斌;张运平;;邯钢ZKLK系列主令控制器在推焦车上的应用[A];河北冶金学会炼铁技术暨学术年会论文集[C];2006年
7 任尚明;芦明辉;;KJ15A矿井机车运输调度监控系统的应用[A];第十六届全国煤炭自动化学术年会、中国煤炭学会自动化专业委员会学术会议论文集[C];2006年
8 吴卫民;范律;王江;王霆;;采集器在湖南电网TMR系统中的应用[A];第十九届电工理论学术年会论文集[C];2007年
9 吴卫民;王江;;采集器在湖南电网TMR系统中的应用[A];第二十届电工理论学术年会论文集[C];2008年
10 赵鹏;;浅谈新时代下数字化测绘在测绘工作中的应用及前景[A];中国测绘学会第九次全国会员代表大会暨学会成立50周年纪念大会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 高洪;6-3-3并联机器人机构学理论与应用研究[D];合肥工业大学;2007年
2 李晓斌;阳极焙烧系统的检测、建模与控制[D];西安理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邹国强;电网集控中心建设与开发应用的研究[D];合肥工业大学;2007年
2 孙国学;面向大客户的用电检查管理系统应用研究[D];华北电力大学(河北);2008年
3 于立涛;青岛午山数字化变电站建设模式及经济性评价研究[D];华北电力大学(河北);2009年
4 金敬东;基于工业以太网的燃气轮机发电机组实时监控系统的研究与应用[D];浙江大学;2007年
5 滕士波;数控机床的改造及应用[D];哈尔滨工程大学;2006年
6 刘雷;无线传感器网络技术在新疆地区反恐怖作战中的应用[D];国防科学技术大学;2007年
7 崔明宇;备用电源自动投入装置CSB21A在工程应用中的问题及改进方法[D];山东大学;2006年
8 苏寒;配电网自动化系统在肥西供电公司的应用[D];合肥工业大学;2008年
9 欧阳亚迪;主动式电子病历系统的设计与应用评估[D];中国人民解放军军医进修学院;2009年
10 朱华;基于遥感和GIS的水环境非点源污染研究[D];湖南大学;2005年
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