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《传感器技术》 2002年03期
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掺杂和热处理对纳米ZnO薄膜气敏特性影响

李健  李海兰  田野  宋淑芳  
【摘要】:用真空蒸发法在玻璃和单晶硅片上制备纯Zn和掺杂Zn薄膜 ,然后在高于 4 5 0℃条件下进行氧化、热处理 (玻璃衬底 )获得良好的纳米ZnO薄膜和掺杂ZnO薄膜。对单晶硅衬底上制备的纯Zn薄膜在高于 80 0℃温度条件下进行液态源掺杂 ,获得掺B和P纳米ZnO薄膜。实验表明 ,掺杂和热处理使纳米ZnO薄膜的结构、导电性能得到改善 ,有效地降低了纳米ZnO薄膜的电阻 ,同时薄膜的气敏特性也得到较大的改善

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李健,白素杰,通拉嘎;稀土Nd掺杂纳米ZnO薄膜气敏特性[J];传感器技术;2004年05期
2 徐红燕,刘秀琳,崔得良,李梅,王琪珑,蒋民华;利用纳米ZnO粉制备厚膜气敏传感器的研究[J];功能材料与器件学报;2005年02期
3 祝柏林,谢长生,曾大文,王爱华,宋武林;ZnO-Bi_2O_3混合氧化物厚膜的结构和气敏性能[J];无机材料学报;2005年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 吴振玉;用热镀锌渣中回收锌制备纳米氧化锌及其应用研究[D];中南大学;2004年
2 常春荣;磁控溅射制备Sb-ZnO薄膜及其性能研究[D];南京航空航天大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 徐毓龙,周晓华,曹全喜;氧化物半导体的表面过程与气敏机理[J];传感器技术;1991年06期
2 张义华,王学勤,王祥生,牛德芳;纳米SnO_2的制备及其气敏特性分析[J];传感器技术;1999年06期
3 胡英,周晓华,魏红军;CuO—ZnO异质结气体传感器的敏感性能[J];传感器技术;2000年06期
4 王巍,戴建明,谢敬波,王春瑞,王声乐,潘孝仁;超微粒氧化锌薄膜的制备及表面STM观测[J];传感器技术;1998年06期
5 裴志亮,谭明晖,杜昊,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时;ZnO:Al薄膜的组织结构与性能[J];材料研究学报;2000年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘向春;赵丽丽;高峰;燕小斌;田长生;;V_2O_5-B_2O_3掺杂钛酸锌陶瓷的相转变及晶粒生长动力学[J];无机材料学报;2006年04期
2 周晓华,徐毓龙,曹全喜;CuO-SnO_2半导体陶瓷气敏机理研究[J];功能材料;1995年01期
3 姜涛,吴一平,陈建国,乔学亮;掺杂对金属半导体氧化物气敏性能影响的研究[J];材料导报;1996年02期
4 施云波,陈耐生;纳米技术在半导体陶瓷气体传感器中的应用[J];传感器技术;2000年06期
5 胡英,周晓华,魏红军;CuO—ZnO异质结气体传感器的敏感性能[J];传感器技术;2000年06期
6 余道建,沈瑞琪;NO_2气体传感器敏感材料[J];传感器技术;2001年04期
7 李健,白素杰,通拉嘎;稀土Nd掺杂纳米ZnO薄膜气敏特性[J];传感器技术;2004年05期
8 刘元隆,吴跃辉,吴小琴,李明俊;Sn-Zn-Cu复合氧化物气敏元件的制备与性能[J];传感器技术;2005年09期
9 赵全明,王广健,李玲玲,蒋栋;二氧化锡膜气敏传感器最新研究成果[J];传感器世界;2002年07期
10 宁文生,杜丕一,翁文剑,韩高荣,沈鸽;气敏材料的研究进展[J];材料导报;2002年08期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 范锦鹏;赵大庆;董民超;;ZAO靶材烧结机理与特征的研究[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘向春;ZnO-TiO_2系介电陶瓷/NiZnCu铁氧体叠层低温共烧兼容特性研究[D];西北工业大学;2007年
2 王其军;瓦斯监测系统故障智能诊断技术研究[D];山东科技大学;2007年
3 王敏锐;ZnO薄膜压电微力传感器/执行器研究[D];大连理工大学;2007年
4 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
5 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
6 李爱武;用溶胶—凝胶和紫外写入技术制备阵列波导光栅器件基础研究[D];吉林大学;2005年
7 魏广芬;基于微热板式气体传感器的混合气体检测及分析[D];大连理工大学;2006年
8 杨立荣;纳米ZnO多孔薄膜的湿化学法制备研究[D];天津大学;2005年
9 白静怡;稀土化合物纳米材料的制备及表征[D];浙江大学;2006年
10 赵鹤云;SnO_2一维纳米材料的制备、表征以及特性研究[D];昆明理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 罗琼;PECVD法制备SnO_2薄膜及其在CdTe薄膜太阳电池中的应用[D];四川大学;2007年
2 洪求三;薄膜型SnO_2气敏材料及器件的制备和性能研究[D];广州大学;2007年
3 郭幸;四针状纳米ZnO的烧结行为及其对气敏、光学性能影响的研究[D];华中科技大学;2006年
4 许聪;水热法制备纳米SnO_2及厚膜气敏元件初探[D];华中科技大学;2006年
5 王保明;溶胶—凝胶法制备Zn_(1-x)Mg_xO薄膜及其性能研究[D];安徽大学;2007年
6 王法秀;基于USB的气敏元件测试系统的设计与开发[D];哈尔滨理工大学;2007年
7 刘兰普;基于ARM的高阻值气敏传感器测量装置的研究与设计[D];河北工业大学;2007年
8 张丽亭;ZnO及V、Al掺杂ZnO薄膜的发光性能研究[D];河南大学;2007年
9 刘星辉;基于SnO_2一维纳米结构气体传感器的制备及表征[D];湖南师范大学;2007年
10 杜鹏;直流磁控溅射法制备SnO_2薄膜及其气敏特性研究[D];河北工业大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 林元华,张中太,袁方利,李晋林;ZnO导电陶瓷的制备及其性能表征[J];半导体学报;1999年10期
2 董立峰,崔作林;电弧等离子体制备纳米ZnO的气敏特性[J];材料研究学报;1998年04期
3 陈德峰,施国顺,马礼敦;热爆法制取纳米氧化锌[J];复旦学报(自然科学版);1997年01期
4 刘建伟,刘有智,张艳辉;超重机的操作参数对纳米氧化锌粒径的影响[J];湖南工程学院学报(自然科学版);2001年02期
5 张昕彤,庄家骐,徐金杰,谢腾峰,王德军,白玉白,李铁津,姚建年;量子尺寸氧化锌颗粒的表面光电压谱研究[J];高等学校化学学报;1999年12期
6 王疆瑛,贾殿赠,陶明德;固相配位化学反应法合成ZnO纳米粉体[J];功能材料;1998年06期
7 王国平,石晓波,汪德先;室温固相反应制备纳米氧化锌[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2002年01期
8 马正先,韩跃新,郑龙熙,刘建彬;纳米氧化锌的应用研究[J];化工进展;2002年01期
9 李彦峰,汪斌华,黄婉霞,涂铭旌,王向东,王丹;纳米无机抗菌材料抗菌性能研究[J];化工新型材料;2002年06期
10 祖庸,雷闫盈,王训,吴金龙,曾庆森;纳米ZnO的奇妙用途[J];化工新型材料;1999年03期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 杨丽萍;刘锋; 韩焕鹏;;氧化锌材料的研究与进展[J];微纳电子技术;2007年02期
2 李玲,白建双,金志琛,刘彭义;掺杂对纳米ZnO粉末紫外-可见光吸收性能的影响[J];华南理工大学学报(自然科学版);2004年06期
3 徐甲强;王晓华;王焕新;沈嘉年;;稀土掺杂氧化铟低功耗汽油敏感材料的研究[J];中国稀土学报;2006年03期
4 王焕新;胡平;王晓华;徐甲强;李超;;氧化铈掺杂对氧化铟气敏特性的影响[J];稀土;2007年02期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 徐红燕;氧化物多孔纳米固体气敏传感器的研究[D];山东大学;2006年
2 张覃轶;电子鼻:传感器阵列、系统及应用研究[D];华中科技大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 杨丽萍;水热构筑ZnO低维结构材料[D];电子科技大学;2006年
2 刘晓花;RFMS法制备ZnO薄膜及其性能研究[D];郑州大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 易惠中;;气敏功能材料的开发和应用[J];功能材料;1991年05期
2 赵大春,潘孝仁;ZnO超微粒子膜的形成因素及三束表面改性对其形貌、结构的影响[J];华东理工大学学报;1994年01期
3 王声乐,黄家桢,沈明赓,戴慕仉,文全胜,陆元成,潘孝仁,庞世瑾;ZnO/SnO_2,SnO_2/ZnO UPF复合膜的制备及气敏特性研究[J];真空科学与技术学报;1995年04期
4 林光明,唐振方,刘文浩;Sn及其氧化物超微粉的制备与测试[J];材料科学与工程;1995年03期
5 蔡晔,葛忠华,陈银飞,柴振林;纳米SnO_2及分子筛封装纳米SnO_2簇的湿敏性能研究[J];材料科学与工程;1998年01期
6 陆凡,陈诵英,彭少逸,王小平;SnO_2超细粉体应用于低温气敏材料[J];功能材料;1995年04期
7 陆凡,陈诵英;超临界流体干燥法合成超微二氧化锡[J];应用化学;1994年05期
8 刘杏芹,陶善文,沈瑜生;纳米SnO_2微粉的制备与性能[J];应用化学;1996年01期
9 周晓华,徐毓龙,阎西林,曹全喜,高锦秀;SnO_2气敏元件的阻温特性及其机理讨论[J];传感技术学报;1992年04期
10 徐毓龙,周晓华,曹全喜;氧化物半导体的表面过程与气敏机理[J];传感器技术;1991年06期
【相似文献】
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1 蒋志红,刘湘林,阮元绩,刘剑军;Mn,B掺杂对TbDyFe超磁致伸缩材料性能的影响[J];上海第二工业大学学报;1993年02期
2 彭士元,赵增光,高松;在氧化锡中掺杂锑的厚膜气体传感器[J];传感器技术;1994年03期
3 张国义,刘弘度,王舒民;Ⅲ—Ⅴ氮化物与蓝光LEDs(Ⅱ)[J];应用基础与工程科学学报;1995年04期
4 姜涛,吴一平,陈建国,胡一帆,孙培祯;TiO_2薄膜型气体传感器研究进展[J];材料工程;1996年05期
5 林光明,杨华,周岐发,张进修;掺杂对纳米SnO_2晶化及阻温特性的影响[J];传感技术学报;1996年01期
6 姜涛,吴一平,陈建国,乔学亮;掺杂对金属半导体氧化物气敏性能影响的研究[J];材料导报;1996年02期
7 王培英,胡锓,刘梅冬,饶韫华,曾亦可;溶胶-凝胶法制备SnO_2薄膜气敏特性的实验研究[J];传感技术学报;1997年03期
8 郭玉璞;双端口2.5μm硅栅CMOS静态RAM(L68HC34)的工艺研究[J];微处理机;1997年02期
9 袁方利,黄淑兰,李晋林,季幼章;液相掺杂对ZnO压敏电阻器性能的影响[J];电子元件与材料;1998年03期
10 钟丽云,朱世秋,王翊,杨齐民,杨宇;YBa_2Cu_(3-x)Zn_xO_7薄膜红外探测器的研究[J];激光技术;1998年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张正勇;张耀华;刘锦怀;;SnO_2主体材料气敏振荡特性的进一步研究[A];第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集[C];2000年
2 叶茂;魏进平;翟金玲;夏小勇;阎杰;卞锡奎;;稀土元素对锂离子电池正极材料LiCo_(0.2)Ni_(0.8)O_2性能的影响[A];第十二届中国固态离子学学术会议论文集[C];2004年
3 王志兴;陈健;李新海;张云河;郭华军;彭文杰;;尖晶石LiAl_xMn_(2-x)O_4的合成与性能[A];第五届海峡两岸粉末冶金技术研讨会论文集[C];2004年
4 葛秀涛;刘杏芹;李永红;;掺杂SO_4~(2-)对In_2O_3电导和气敏性能的影响[A];第八届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集[C];2004年
5 郭伟;詹自立;钟克创;高胜国;;高灵敏度酒敏元件的研制[A];第八届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集[C];2004年
6 胡鹤;张卫华;;Mn~(2+),Pb~(2+)共掺杂的ZnS纳米发光材料的制备[A];中国化学会2005年中西部十五省(区)、市无机化学化工学术交流会论文集[C];2005年
7 李良超;周享春;郝仕油;吕天喜;;钐掺杂镍铁氧体纳米粉体的制备及表征[A];中国化学会2005年中西部十五省(区)、市无机化学化工学术交流会论文集[C];2005年
8 钟勤;宋慎泰;文洪杰;杨粉荣;;掺杂不同稳定剂的氧化锆材料的性能与应用[A];2005中国钢铁年会论文集(第3卷)[C];2005年
9 李宇展;周震;任俊霞;叶超;高学平;阎杰;;掺铝锂离子二次电池正极材料LiV_(1-x)Al_xPO_4F的制备及其电化学性能[A];2005中国储能电池与动力电池及其关键材料学术研讨会论文集[C];2005年
10 赖春艳;赵家昌;解晶莹;;LiFe_(1-x)VO_xPO_4的结构与电化学性能[A];2005中国储能电池与动力电池及其关键材料学术研讨会论文集[C];2005年
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1 刘长忠;见利忘义 棉包掺杂[N];中国商报;2000年
2 蔡永源;电子世界的保护神[N];中国化工报;2001年
3 ;如何界定掺杂掺假[N];中国质量报;2001年
4 记者 吴兢;高法高检作出司法解释[N];人民日报;2001年
5 记者 原国锋;严禁食品掺“吊白块”[N];人民日报;2001年
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1 李凤华;YBaCuO超导带材制备的基础研究[D];东北大学;2005年
2 方应翠;镶嵌在SiO_2介质中的纳米晶Si的制备及其光致发光特性研究[D];复旦大学;2005年
3 曹江林;TiO_2和过渡金属掺杂TiO_2薄膜电极的制备及光电化学性能研究[D];浙江大学;2005年
4 管宗甫;高阿利特水泥熟料的烧成和掺杂阿利特的研究[D];中国建筑材料科学研究院;2005年
5 曹广胜;基于钨和钛的一维纳米材料的水热合成及性质研究[D];浙江大学;2005年
6 魏慧英;氧化物半导体纳米材料的制备及光学性能研究[D];山东大学;2005年
7 刘晓;SbSn金属间化合物的制备及其脱硫应用[D];南京工业大学;2005年
8 邹启凡;锂离子电池用尖晶石锰酸锂的合成、结构与性能研究[D];中南大学;2005年
9 周武艺;纳米TiO_2的掺杂改性及光催化性能的研究[D];湖南大学;2005年
10 汤会香;ZnO纳米颗粒气敏性能的研究[D];浙江大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 高志华;单双稀土芳香羧酸配合物的合成、晶体结构及发光性能研究[D];河北师范大学;2005年
2 孙红军;改性二氧化钛纳米粒子光催化性能研究[D];北京化工大学;2005年
3 刘春宁;磺酸掺杂煤基聚苯胺及其共混物的制备研究[D];西安科技大学;2005年
4 亓鹏;SnO_2Co_2O_3Nb_2O_5系列压敏电阻电学性质的研究[D];山东大学;2005年
5 修志亮;磷酸盐纳米发光材料的制备与表征[D];山东大学;2005年
6 王永田;Pr,Tb稀土基金属玻璃及相关纳米材料的形成和性质研究[D];重庆大学;2005年
7 李锐;掺杂锶铁氧体的磁学特性研究[D];安徽大学;2005年
8 王青;低热固相反应法合成锰酸锂材料及其电化学性能的测试[D];南京师范大学;2005年
9 孙雪莲;纳米TiO_2光催化剂负载及改性技术研究[D];天津大学;2004年
10 王立锋;大功率高稳定性压电陶瓷材料的研究[D];天津大学;2005年
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