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《传感器技术》 2001年10期
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MEMS的设计方法与系统模拟

孟为民  李伟华  黄庆安  
【摘要】:随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移 ,MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级 ,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模型的建立及系统级模拟的实现。最后介绍了微加速度计系统模拟的一个例子

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 程迎军,朱锐,许薇,罗乐;MEMS器件真空封装模型模拟[J];传感器技术;2004年12期
2 季国顺,张永康;微机械系统建模与仿真技术研究[J];光学精密工程;2002年06期
3 卢凉,杜平安,黄志奇;微机电系统计算机辅助设计的研究[J];微电子学;2003年06期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
2 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
3 李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
4 李建华;基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价研究[D];浙江大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴学石;微电子机械系统降阶建模方法研究[D];浙江大学;2006年
2 闫子健;MEMS CAD器件级宏模型获取技术[D];西北工业大学;2007年
3 陈坚美;微型机电系统端点特性建模技术研究[D];浙江大学;2004年
4 甘霖;微型三角转子发动机性能研究[D];浙江大学;2004年
5 杨长保;微泵动态特性及优化评价规则的分析与研究[D];西安科技大学;2004年
6 卢凉;MEMS器件的计算机辅助设计与模拟方法研究[D];电子科技大学;2004年
7 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
8 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
9 寇剑菊;叉指式微加速度计的系统仿真分析[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
10 全定策;磁力轴承结构设计及其转子结构特性分析[D];武汉理工大学;2004年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇;微电子机械系统计算机辅助设计[J];电子商务;1999年10期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 梅年松,黄庆安;MEMS薄膜断裂强度测试结构[J];微纳电子技术;2002年12期
2 方绪文,唐洁影,黄庆安;MEMS器件在冲击下的可靠性[J];微纳电子技术;2004年07期
3 朱珂,黄庆安;多层弯曲磁微执行器的宏模型[J];固体电子学研究与进展;2002年03期
4 朱珂,黄庆安;多层弯曲磁微执行器的有限元分析[J];固体电子学研究与进展;2003年03期
5 吴鸿宾,苑伟政,常洪龙,谢建兵;MEMS CAD软件开发中参数化版图库的研究及实现[J];机械设计与制造;2005年09期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 朱珂;黄庆安;;多层弯曲磁微执行器宏模型的有限元法网格划分[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
2 杨友文;多层弯曲磁芯结构磁驱动微执行器的研究[D];合肥工业大学;2003年
3 王群伟;磁微致动器的多能量域建模及数值模拟研究[D];浙江大学;2003年
4 方志华;MEMS工艺版图三维重构技术研究[D];西北工业大学;2004年
5 甘霖;微型三角转子发动机性能研究[D];浙江大学;2004年
6 梅年松;MEMS断裂强度在线测试[D];东南大学;2004年
7 周鹏;MEMS器件综合技术的研究[D];东南大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 常洪龙;谢建兵;徐景辉;阎子健;苑伟政;;一种可支持任意流程的MEMS设计工具[J];传感技术学报;2006年05期
2 李疆,高钟毓,董景新;微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究[J];传感器技术;2003年09期
3 才海男,马秀兰,李鹏生,浦昭邦,周兆英;微机械技术发展现状[J];哈尔滨工业大学学报;1997年06期
4 傅德生,苏伟,彭勃;电容式微机械加速度计部分力学特性的分析[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2003年04期
5 杨岳,周兆英,叶雄英;微型热致动泵[J];半导体技术;1999年06期
6 刘小冬,刘睿;一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现[J];半导体技术;2003年11期
7 张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期
8 张西慧,吕苗,苗勇;微机械构件的表面去粘着技术[J];微纳电子技术;2003年12期
9 卢桂章,赵新;基于部件库的MEMS设计方法[J];微纳电子技术;2003年Z1期
10 褚金奎,郝秀春,王立鼎;拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
2 张永宇;V型电热硅微致动器性能及其应用研究[D];上海大学;2006年
3 谢海波;集成微泵式微流控芯片关键技术的研究[D];浙江大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 黄小振;电容式振动微机械陀螺接口电路的设计、模拟与测试[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
2 宋寒冰;两级重复使用运载器的多学科优化设计[D];西北工业大学;2002年
3 霍鹏飞;MEMS的集成设计平台建模及其系统级设计技术[D];西北工业大学;2002年
4 李勇;微夹持理论与系统的研究[D];清华大学;2002年
5 卢凉;MEMS器件的计算机辅助设计与模拟方法研究[D];电子科技大学;2004年
6 顾磊;CMOS工艺兼容电容式相对湿度传感器的设计[D];东南大学;2004年
7 闻飞纳;MEMS器件系统级仿真技术研究[D];东南大学;2004年
8 吕湘连;面向器件行为的MEMS宏建模方法研究[D];西北工业大学;2005年
9 张少婧;基于光流技术的MEMS平面微运动特性的测量[D];天津大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 李仁锋,文贵印,程永生;MEMS高g值加速度计力学分析[J];传感器技术;2005年07期
2 李应良,潘武;射频系统中MEMS谐振器和滤波器[J];光学精密工程;2004年01期
3 张昱;潘武;;折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析[J];光学精密工程;2005年S1期
4 徐炎冰,范真 ,丁建宁 ,李长生 ,凌智勇;MEMS模拟仿真研究和发展现状[J];现代制造工程;2004年12期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 黄书琴;郝永平;王世军;;电容微加速度计结构参数优化设计[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 李建华;基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价研究[D];浙江大学;2005年
2 王勇;场路结合并考虑耦合的磁力机械分析与设计方法研究[D];合肥工业大学;2006年
3 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
4 陈明祥;基于感应加热的MEMS封装技术与应用研究[D];华中科技大学;2006年
5 王涛;高g值环境典型微结构动态特性及其测试技术研究[D];大连理工大学;2008年
6 吴宝贵;基于仿真分析的复杂机械产品多学科设计优化方法研究[D];大连理工大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王晨华;微机电系统级建模与仿真研究[D];南京航空航天大学;2005年
2 谢兴军;静电驱动MEMS微波开关设计与仿真[D];重庆大学;2004年
3 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
4 明安杰;8×8 MOEMS光开关的准直、耦合系统设计及实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
5 杨俊波;MEMS真空封装关键技术研究[D];华中科技大学;2005年
6 刘宁;适于不同介质的侵彻炸点深度控制技术的应用研究[D];中北大学;2006年
7 伍艺;基于MEMS光栅光调制器的机电特性及控制系统研究[D];重庆大学;2006年
8 吴学石;微电子机械系统降阶建模方法研究[D];浙江大学;2006年
9 李莉;Cu/Sn等温凝固键合技术在MEMS圆片级气密封装中的应用[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
10 胡雪梅;微机械电容式加速度计的系统分析[D];西安电子科技大学;2006年
【相似文献】
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1 张鹏;陈鸿;武锦辉;;基于FPGA的PCM码收发模块设计[J];计算机与数字工程;2011年07期
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3 李江萍;韩素良;孟广民;安志国;常生强;屈爱艳;;基于PGA的多路模拟信号采集系统的研究[J];电工文摘;2010年04期
4 褚龙现;刘高原;;基于Agent的应急疏散模型研究[J];计算机技术与发展;2011年09期
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6 裴文莲;余小昕;;基于AVR USB接口的温度测量系统设计[J];中国新技术新产品;2011年14期
7 鄢华林;宋林;;恒张力绞车的应用研究[J];液压与气动;2011年07期
8 李之中;卢薇;;起重运输机械制动器试验系统简介[J];实验技术与管理;1993年03期
9 ;便捷高效 BIO-REMOTE2无线遥控攻略[J];电脑迷;2011年17期
10 汪永军;;CAN总线在ARM处理器EP9315中的实现[J];国外电子测量技术;2011年08期
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1 鲁巍;杨修涛;李晓维;;基于混合遗传算法的RTL激励生成方法[A];第三届中国测试学术会议论文集[C];2004年
2 王发成;王义春;詹火明;孙晓霞;王红;;铂电阻传感器动态特性的测试及仿真[A];2010振动与噪声测试峰会论文集[C];2010年
3 刘妤;温志渝;张流强;梁玉前;;MEMS微加速度传感器的系统级仿真[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
4 申广荣;王人潮;;水稻多组分双向反射特性的模拟[A];第十五届全国遥感技术学术交流会论文摘要集[C];2005年
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1 周兴东;徐州市城区景观格局时空变化遥感监测与分析[D];山东科技大学;2010年
2 林谢昭;静电微器件的模型自由度缩减方法研究[D];浙江大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 Rafi Youssef(约瑟夫);[D];中南大学;2004年
2 齐东周;基于降阶宏模型的MEMS系统级仿真平台研究[D];大连理工大学;2008年
3 赵斌;焊点抗冲击性能检测方法与设备[D];华中科技大学;2007年
4 沈立峰;大气污染预测及紧急处置辅助决策系统的研究与实现[D];苏州大学;2007年
5 徐新平;正切运动控制算法研究及其在数控服装裁剪机中的应用[D];太原理工大学;2008年
6 孙振新;力电耦合MEMS器件的VHDL-AMS建模方法[D];东南大学;2004年
7 赵岩;ISFET生物传感器电流模式读出电路的研究[D];湖南大学;2009年
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9 杨友文;多层弯曲磁芯结构磁驱动微执行器的研究[D];合肥工业大学;2003年
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