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《传感器技术》 1988年03期
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半导体薄膜型NO_x气敏元件及应用装置

金庚墀  
【摘要】:本文讨论了半导体薄膜型气敏元件的导电机理,介绍了为探测NOx(NO_2、NO)有害气体而研制的SnO_2薄膜型气敏元件的结构、气敏特性及应用气敏元件制成的报警、测量两用仪的原理和结构。
【作者单位】杭州电子工业学院

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 牛蒙年,丁辛芳,童勤义;气体传感器的集成化研究状况[J];传感器技术;1994年03期
2 余道建,沈瑞琪;NO_2气体传感器敏感材料[J];传感器技术;2001年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张锦文,武光明,宋世庚,陶明德;SnO_2薄膜的湿敏效应[J];半导体技术;1999年06期
2 李昕欣,郎海宁,庞世信;采用快速微分输出的氯气传感器[J];半导体技术;1997年03期
3 谭辉,陶明德,韩英,张寒;射频溅射CoMnNi氧化物薄膜结构研究[J];半导体学报;1989年07期
4 林元华,张中太,袁方利,李晋林;ZnO导电陶瓷的制备及其性能表征[J];半导体学报;1999年10期
5 陈新奇,叶勐,何宇,陈寿田;PTC热敏电阻材料低阻化研究[J];北京工业大学学报;1994年03期
6 武明堂,邓长霖,李平,孙鸿涛;(Ni_(1-y)~(2+)Co_y~(2+))(Co_(2-x)~(3+)Fe_x~(3+))O_4系NTC热敏半导瓷新材料的研究[J];传感技术学报;1988年02期
7 王存,王弘,沈瑜生;CdSnO_3的合成、结构与气敏性质[J];传感技术学报;1993年03期
8 方湘怡,肖华,武明堂,姚熹;Mn(NO_3)_2溶液热扩散的TiO_2压敏电阻-电容性能[J];传感技术学报;1995年01期
9 冯景星;高居里点PTC陶瓷热敏电阻器[J];传感技术学报;1995年01期
10 张彤,徐宝琨,徐娓,阮圣平,董玮,全宝富,孙良彦;用直、交流方法分析高分子电阻型湿敏元件的敏感机理[J];传感技术学报;2001年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 杨阳;妥万禄;常爱民;赵青;张慧敏;;Co-Ni-Sr-O系低温热敏陶瓷材料研究[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 曲建岭;人工嗅觉系统中的信息处理技术[D];西北工业大学;2000年
2 严群;稀土氧化物及纳米氧化锌掺杂压敏材料的制备及机理研究[D];四川大学;2003年
3 禹争光;氧化锌压敏电阻电输运特性及大通流器件设计研究[D];电子科技大学;2005年
4 杨留方;铁酸盐复合氧化物(MFe_2O_4)系列气敏材料的制备及新型气体传感器的研究[D];昆明理工大学;2005年
5 赵鹤云;SnO_2一维纳米材料的制备、表征以及特性研究[D];昆明理工大学;2006年
6 罗国强;SnO_2-MnO_2-CuO-Sb_2O_3电极陶瓷材料的制备及其性能研究[D];武汉理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 洪吉;常温半导体氧传感器[D];浙江大学;2001年
2 李小换;ZnO和AlN薄膜结构及其性能的研究[D];北京工业大学;2003年
3 唐俊;稀土氧化物对氧化锌压敏阀片的作用效应及其微观组织结构研究[D];四川大学;2003年
4 吴通涛;高性能非Bi系叠层片式氧化锌压敏电阻器研究[D];电子科技大学;2003年
5 王利伟;平面旁热式甲烷气敏元件的研制[D];沈阳工业大学;2002年
6 张彬;电导型复合金属氧化物CO_2气敏薄膜材料的研究[D];天津大学;2004年
7 余俊;溅射法制备ZAO透明导电薄膜及其光电性能的研究[D];武汉理工大学;2004年
8 陈健;超声雾化热解法制备ZnO薄膜结构及其性能研究[D];北京工业大学;2004年
9 李翠霞;SrTiO_3基双功能陶瓷及纳米掺杂改性的研究[D];兰州理工大学;2003年
10 张小文;二氧化钛基压敏陶瓷制备及性能研究[D];昆明理工大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 张正勇,张耀华;ITO薄膜的气敏特性[J];传感技术学报;1999年01期
2 牛蒙年;半导体场效应型气体传感器的研究现状与未来[J];传感器技术;1993年03期
3 张义华,王学勤,王祥生,牛德芳;纳米SnO_2的制备及其气敏特性分析[J];传感器技术;1999年06期
4 谢丹,蒋亚东,吴志明,李言荣;酞菁铜LB膜的制备及特性[J];传感器技术;1999年06期
5 李岚,许琳,华玉林,张飒飒;铜硅取代的酞青材料LB膜气敏传感器的研究[J];功能材料;1998年02期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 魏少红,牛新书,蒋凯;WO_3纳米材料的NO_2气敏特性[J];传感器技术;2002年11期
2 陈长庆,胡明,吴霞宛;气敏传感器的发展[J];材料导报;2003年01期
3 林伟,黄世震,陈伟,颜志波,耿涛;磁控溅射WO_3薄膜特性研究[J];郑州轻工业学院学报(自然科学版);2002年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 谢丹;NO_2气敏LB膜及其微结构传感器研究[D];电子科技大学;2001年
2 杨留方;铁酸盐复合氧化物(MFe_2O_4)系列气敏材料的制备及新型气体传感器的研究[D];昆明理工大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 索武生;NO_2气体薄膜传感器阵列制备及特性研究[D];电子科技大学;2005年
2 杨光;新型多孔硅乙醇气体传感器的研究[D];郑州大学;2005年
3 王勉;氧化氮及氨气有机敏感薄膜的制备及特性研究[D];电子科技大学;2006年
4 张周珺;复合金属氧化物对CH_4和NO_2的气敏和催化性能研究[D];北京化工大学;2006年
5 李月;酞菁有机半导体气体传感器的研究[D];哈尔滨理工大学;2006年
6 张苗;网络化电子鼻技术研究及实现[D];西北工业大学;2007年
7 项金娟;PdPc-PANI杂化有机半导体膜及气敏机理的研究[D];哈尔滨理工大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 曹磊;范新会;于灵敏;严文;;Zn掺杂对SnO_2纳米线的气敏性能的影响[J];西安工业大学学报;2011年03期
2 王巍;王晓磊;代作海;唐政维;李银国;徐洋;白晨旭;;掺Fe~(3+)TiO_2薄膜型氧气传感器研究[J];重庆邮电大学学报(自然科学版);2011年04期
3 王胜权;张劲;刘小旭;;气体传感器的分类和应用[J];科技致富向导;2011年20期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张鹏;王兢;杜鹏;;基于IC工艺申醛气体传感器的研究[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集(1)[C];2008年
2 陈星如;王兢;姚朋军;;球形纳米In_2O_3材料气敏元件制作及对甲醛气敏性能的研究[A];第八届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2010年
3 高胜国;杜为民;尚中锋;钟克创;张小水;;半导体CO_2传感器的研制[A];第八届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集[C];2004年
4 王兢;包化成;姚朋军;吴娜;;掺杂改善SnO_2甲醛气敏元件灵敏度特性的研究[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
5 庄志;;薄膜型柔性曲面间应力传感器工作机理研究[A];四川省电子学会传感技术第九届学术年会论文集[C];2005年
6 宋文龙;郑聚成;陈高峰;何芳远;林志东;;氧化钛锡复合纳米粉的制备及其气敏性[A];第九届全国微型化学实验研讨会暨第七届中学微型实验研讨会论文集[C];2011年
7 孟丽娜;邱成军;左霞;;硅基微结构酞菁锌薄膜气体传感器[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
8 刘鑫;赵全亮;张辉军;邱成军;;TiO_2薄膜氧传感器的制备与性能测试[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
9 廖波;张捷;韦钦;;纳米半导体电容型CO_2气体敏感元件研制[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
10 窦葳;乔卫平;;温度传感器实验加热方式改进[A];第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下册)[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 刘丽;硅基微结构气体传感器的研制[D];吉林大学;2008年
2 柏自奎;金属氧化物气敏元件阵列的制备与性能研究[D];华中科技大学;2008年
3 徐红燕;氧化物多孔纳米固体气敏传感器的研究[D];山东大学;2006年
4 蔡志祥;微笔—激光复合直写厚膜传感器的关键技术研究[D];华中科技大学;2009年
5 甘露;纳米二氧化锡气敏薄膜的研究[D];华中科技大学;2012年
6 范会涛;氧化物半导体纳米纤维的制备及其在气体传感器领域的应用研究[D];吉林大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 唐才荣;催化燃烧式气敏元件测试分选系统硬件设计[D];哈尔滨理工大学;2008年
2 林金阳;基于霍耳效应的气敏传感器的研制[D];福州大学;2006年
3 刘丽;用富集方法提高气敏元件对甲醛的响应[D];大连理工大学;2009年
4 宋毅华;SnO_2甲烷气体传感器的优化设计与试制[D];吉林大学;2008年
5 张洪;纳米晶金属氧化物半导体气体传感器及其检测特性研究[D];重庆大学;2012年
6 王利伟;平面旁热式甲烷气敏元件的研制[D];沈阳工业大学;2002年
7 邱美艳;薄膜型气体传感器的研究与制备[D];河北工业大学;2007年
8 张伟伟;聚吡咯及其复合材料的薄膜制备和氨敏性质研究[D];燕山大学;2012年
9 余华梁;基于塞贝克效应的气敏传感器的研制[D];福州大学;2005年
10 刘年丰;气体传感器测试系统[D];哈尔滨理工大学;2003年
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