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《传感技术学报》 2012年10期
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小孔内径测量的传感器精度分析

马玉真  于永新  孙选  郑义忠  
【摘要】:针对小孔的结构特点,介绍了电容传感器探针测量小孔孔径的原理;分析了测量时电容传感器由于参数的线性化、电容探针与小孔的中心线偏心带来的测量误差;并针对以上因素影响,采取了自动对中机构实现测量过程中的最小化偏心,通过标定得到了孔径值与测量值之间的对应关系。实验结果表明,系统的重复性精度可达到0.186μm,稳定性能达到6 h内漂移不超过0.375μm,该指标完全可以满足实际测量要求。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前6条
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3 彭燕;谢惠琴;;注塑机机筒内径磨损量的检测[J];装备制造技术;2012年06期
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中国博士学位论文全文数据库 前4条
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中国硕士学位论文全文数据库 前9条
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2 邢本凤;高精度微弱电容检测技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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8 郑民伟;非平行板电容器电容和电场的一种计算[J];大学物理;2001年02期
9 游荣义;椭圆柱形电容器的电容[J];大学物理;2001年12期
10 田晓岑;二静电体系相互作用力的特点[J];大学物理;1995年06期
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