收藏本站
《传感技术学报》 2002年04期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

六轴加速度计的结构原理与阻尼振动设计

唐富荣  薛大同  
【摘要】:静电悬浮加速度计为当前国际上精度最高的一类加速度计 ,本文的设计目标为 :量程 12 .5 μgn,灵敏度 1ngn,带宽 0 .1Hz。从静电悬浮加速度计的敏感结构设计出发 ,详细地论述了该类加速度计的电容位移检测原理和微弱加速度检测原理。通过适当的电极配置设计 ,并对六路差分电容输出进行适当的线性组合 ,探讨了该加速度计的六轴检测功能 (三个线加速度和三个角加速度 )。随后对该加速度计的静电悬浮支承系统进行了振动学分析 ,采用 1atm的空气阻尼 ,得出系统的阻尼振动频率为 0 .82 5 Hz,输出采样间隔为 4 s。本文的设计对研制高精度多轴加速度计具有重要参考价值。

手机知网App
【引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 钱朋安;葛运建;吴仲城;;六维加速度的测量研究[J];电子测量与仪器学报;2005年02期
2 吴黎明;董景新;韩丰田;;静电悬浮加速度计检测线路设计及实验研究[J];仪器仪表学报;2006年12期
3 袁刚;王代华;;一种压电式六维加速度传感器的快速原型及其特性[J];仪器仪表学报;2011年02期
4 张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[J];振动与冲击;2008年09期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文集[C];2007年
2 钱朋安;;一体化多维加速度计研究的若干问题分析[A];中国仪器仪表学会第九届青年学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 袁刚;六维加速度传感器的原理、系统及特性研究[D];重庆大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张峥;惯性步态测量系统的研究[D];武汉理工大学;2006年
2 侯向红;压电式六轴加速度传感器信号处理的研究[D];重庆大学;2007年
3 梁萌;平面线圈式石英挠性加速度计的前期研究[D];浙江大学;2007年
4 翁雷;静电悬浮加速度计敏感结构加工与检测技术研究[D];国防科学技术大学;2007年
5 吴勇;基于立体视觉的机器人图像动态检测系统[D];东华大学;2009年
6 高大勇;基于DSP的压电式六维加速度传感器的信号采集与处理技术的研究[D];重庆大学;2009年
7 刘景坡;框体零件内表面的形位误差检测与加工技术研究[D];国防科学技术大学;2009年
8 孟德帅;一种微型六维加速度传感器的信号采集与处理系统的研究[D];重庆大学;2011年
9 万镇;六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真[D];上海交通大学;2012年
10 秦愿;六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究[D];上海交通大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 唐富荣,薛大同;静电悬浮式三轴加速度传感器的初步设计[J];传感器技术;2001年07期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 姜卫平,章传银,李建成;重力卫星主要有效载荷指标分析与确定[J];武汉大学学报(信息科学版);2003年S1期
2 吴秋平;韩丰田;;星载静电加速度计的支承技术研究[J];仪器仪表学报;2007年07期
3 张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[J];振动与冲击;2008年09期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 张亮;陆秋海;;静电悬浮式电容差分加速度计测量原理与动特性设计[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文集[C];2007年
2 宋长福;严小军;韩丰田;郭晓芳;马高印;;硅微静电悬浮加速度计关键技术研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张新;应变式三维加速度传感器设计及相关理论研究[D];合肥工业大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 王小燕;三维加速度传感器优化设计及静动态特性研究[D];安徽理工大学;2008年
2 武甜甜;三维压电矢量水听器小型化的研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
3 刘景坡;框体零件内表面的形位误差检测与加工技术研究[D];国防科学技术大学;2009年
4 王正伟;6-SSR六维加速度传感器动态特性研究[D];燕山大学;2011年
5 万镇;六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真[D];上海交通大学;2012年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘忠安;光刻工艺参数的优化方法[J];半导体光电;2001年01期
2 罗铂靓,杜惊雷,唐雄贵,杜春雷,刘世杰,郭永康;用于微器件加工的AZ4620厚胶光刻工艺研究[J];半导体技术;2005年07期
3 刘德明;王静辉;;KrF光刻工艺技术[J];半导体技术;2006年08期
4 王海涌;吴志华;;玻璃基片双面光刻对准工艺流程的研究[J];半导体技术;2006年08期
5 赵环昱;赵红卫;;用于光刻的EUV光源[J];半导体技术;2007年01期
6 王代华;袁刚;赵艳;侯向红;;一种六维加速度传感器原理的研究[J];微纳电子技术;2007年Z1期
7 鲍敏杭,孙远程,杨恒,王跃林;微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文)[J];半导体学报;2002年12期
8 蒋玉齐,程迎军,张鲲,李昕欣,罗乐;灌封胶封装对高量程MEMS加速度计动态性能的影响[J];半导体学报;2005年06期
9 迟晓珠,王劲松,金鸿章,王达明;加速度计的动态特性对无陀螺微惯性测量组合性能影响的研究[J];兵工学报;2004年03期
10 汪小娜;王树宗;朱华兵;;无陀螺捷联惯导系统模型研究[J];兵工学报;2006年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 周泽兵;高尚伟;罗俊;;静电悬浮加速度计及其在空间重力场探测中的应用[A];《大地测量与地球动力学进展》论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 袁刚;六维加速度传感器的原理、系统及特性研究[D];重庆大学;2010年
2 张艳珍;微机视觉系统相关理论及技术研究[D];大连理工大学;2001年
3 周林;光学镜面离子束修形理论与工艺研究[D];国防科学技术大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 庞辉;基于DSP和CPLD的智能监测系统设计与开发[D];武汉大学;2004年
2 于春战;基于并联机构的六维加速度传感器[D];燕山大学;2005年
3 赵迎辉;基于DSP的数据采集与处理系统的设计与实现[D];西南交通大学;2006年
4 侯文静;基于Stewart平台的六维加速度传感器弹性体设计[D];燕山大学;2007年
5 吕翔宇;并联结构六维加速度传感器研究[D];燕山大学;2007年
6 王应莉;基于ARM+DSP架构的视频处理系统[D];电子科技大学;2007年
7 翁雷;静电悬浮加速度计敏感结构加工与检测技术研究[D];国防科学技术大学;2007年
8 孙元敏;基于DSP的数据采集处理系统的设计与实现[D];山东大学;2008年
9 严灿;基于DSP的多媒体解码器的设计与实现[D];华中科技大学;2007年
10 高大勇;基于DSP的压电式六维加速度传感器的信号采集与处理技术的研究[D];重庆大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李怡凡;吴黎明;张力锴;;一种车身姿态的捷联测量[J];传感技术学报;2010年08期
2 王劲松;王令军;王婷;张立勋;;不同步速下人体步态规律的测量与研究[J];传感器与微系统;2008年09期
3 陈喆;韩丰田;;转子悬浮式微静电电机的检测电路设计[J];电子测量与仪器学报;2009年07期
4 唐立军;滕召胜;陈良柱;刘海仓;;电子秤倾角自动检测与称量误差补偿方法研究[J];电子测量与仪器学报;2011年01期
5 张东;姜岩峰;生晓坤;;RFID中天线的优化设计[J];电子测量与仪器学报;2011年07期
6 袁有臣;于祥洲;田洪贞;;差动电容传感器信号调理中的非线性校正[J];青岛科技大学学报(自然科学版);2012年03期
7 吴黎明;董景新;韩丰田;刘云峰;;静电悬浮微陀螺系统模型的研究[J];仪器仪表学报;2008年09期
8 袁刚;王代华;;一种压电式六维加速度传感器的快速原型及其特性[J];仪器仪表学报;2011年02期
9 顾睿风;苏岩;朱欣华;;微型惯性测量组合数据采集系统[J];自动化仪表;2011年02期
10 袁刚;王代华;;一种压电式六维加速度传感器的校准方法研究[J];仪器仪表学报;2011年08期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 钱朋安;;一体化多维加速度计研究的若干问题分析[A];中国仪器仪表学会第九届青年学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 袁刚;六维加速度传感器的原理、系统及特性研究[D];重庆大学;2010年
2 刘晓旻;高精度光杠杆式微加速度计的研究[D];浙江大学;2007年
3 李兆泽;磨料水射流抛光技术研究[D];国防科学技术大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 高宇;捷联系统中加速度计信息处理技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 侯向红;压电式六轴加速度传感器信号处理的研究[D];重庆大学;2007年
3 王永刚;聚酰亚胺挠性加速度传感器的研究[D];浙江大学;2009年
4 高大勇;基于DSP的压电式六维加速度传感器的信号采集与处理技术的研究[D];重庆大学;2009年
5 付真斌;硅微静电电机的悬浮系统研究[D];清华大学;2010年
6 李安;石英挠性加速度计关键技术研究[D];杭州电子科技大学;2011年
7 张力锴;主动悬架复合控制系统及其SOPC实现[D];广东工业大学;2011年
8 孟德帅;一种微型六维加速度传感器的信号采集与处理系统的研究[D];重庆大学;2011年
9 王玉爽;无拖曳卫星控制方法研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
10 万镇;六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真[D];上海交通大学;2012年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 韩霜;;ADI公司推出iMEMS双轴加速度计ADXL206[J];世界电子元器件;2011年07期
2 徐俊毅;;ADI iMEMS加速度计助力能源开采行业[J];电子与电脑;2011年07期
3 ;产品咨询与行业新闻[J];电子测试;2011年07期
4 杨光;黄俊斌;顾宏灿;李硕;孙金卫;;光纤Bragg光栅加速度传感器研究进展[J];舰船电子工程;2011年07期
5 陶玉贵;;基于GPS的车载组合测速系统研究[J];数字技术与应用;2011年06期
6 王淑华;;MEMS传感器现状及应用[J];微纳电子技术;2011年08期
7 张耀文;江佳峻;王兆兵;贾琦;李星星;陈凯;;加速度计测倾角的原理分析及系统设计实现[J];科技资讯;2011年18期
8 苏虎平;沈三民;安震;刘文怡;刘龙飞;任伟;;基于加速度计的陀螺三轴角速率提取算法研究[J];传感器与微系统;2011年07期
9 于雅莉;孙枫;王元昔;;基于多传感器的四旋翼飞行器硬件电路设计[J];传感器与微系统;2011年08期
10 李蕾;刘卫东;;智能遥控器中的MEMS惯性传感器数据处理[J];电脑知识与技术;2011年19期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈光明;符养;徐寄遥;陈凤贵;;基于CHAMP卫星加速度计观测的高层大气密度研究[A];国家安全地球物理丛书(六)——空间地球物理环境与国家安全[C];2010年
2 宋长福;严小军;韩丰田;郭晓芳;马高印;;硅微静电悬浮加速度计关键技术研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
3 何胜;王巍;邢朝洋;;石英振梁式加速度计研究[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
4 钱朋安;;加速度计自动校准技术研究的现状分析[A];第十七届全国测控计量仪器仪表学术年会(MCMI'2007)论文集(下册)[C];2007年
5 白彦峥;周泽兵;;高精度静电悬浮加速度计的地面测试方法研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
6 朱红生;何胜;赵采凡;;硅微加速度计在动态测斜中的应用[A];2001年飞行器惯性器件学术交流会论文集[C];2001年
7 齐建宇;李华滨;;一种利用加速度计输出标定惯性平台陀螺漂移的方法[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
8 武强;宁德尧;;基于FFT的压电加速度计背靠背替代法校准技术[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
9 马铁华;朱红;;基于水银的电容式加速度计研究[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年
10 薛大同;张剑威;王佐磊;刘保湘;;静电悬浮加速度计真空装置的研制[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 王小龙;美拟建造中子静电悬浮实验室[N];科技日报;2010年
2 包秋红;加速度计测试的加速者[N];中国航空报;2004年
3 时萱;感官敏锐 听看八方[N];中国航天报;2005年
4 北京弗欧弗奥信息咨询有限公司 谭薇;MEMS传感器大规模应用指日可待[N];中国电子报;2006年
5 李洵颖 DigiTimes;Wii旋风催动MEMS应用[N];电子资讯时报;2007年
6 记者  罗翠钦;三轴加速度计有望成消费应用标配[N];中国电子报;2005年
7 记者 安勇龙;MEMS:封装是难点 期待标准工艺[N];中国电子报;2007年
8 万永波;消费性电子开启传感器应用新契机[N];电子资讯时报;2008年
9 李洵颖;Wii、iPhone刮旋风 微机电应用窜红[N];电子资讯时报;2007年
10 段华明;防灾智慧的三重境界[N];南方日报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨杰;无陀螺捷联惯导系统加速度计构型研究与误差分析[D];哈尔滨工程大学;2011年
2 刘志平;无陀螺捷联惯导系统若干关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 刘力;惯性传感器扭摆测试中地面振动和放电金丝的影响研究[D];华中科技大学;2012年
4 肖光宗;基于Y型腔正交偏振双频激光器的激光加速度计初步研究[D];国防科学技术大学;2011年
5 蒋玉齐;高量程MEMS加速度计封装研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
6 迟晓珠;六自由度运动多参数综合测试技术的研究[D];哈尔滨工程大学;2004年
7 吴波;硅微光机械加速度地震检波器理论与实验研究[D];天津大学;2005年
8 张燕君;光电集成加速度地震检波器的理论与实验研究[D];天津大学;2006年
9 李博;基于共振隧穿结构介观压阻效应的纳机电加速度计研究[D];中北大学;2008年
10 董林玺;微机械电容式传感器及其相关特性研究[D];浙江大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 段光武;星载硅微静电加速度计的设计与噪声分析[D];清华大学;2010年
2 王强;高精度加速度计空间引力标定方案研究[D];华中科技大学;2006年
3 姜华;VBA()关键技术研究[D];西安电子科技大学;2001年
4 周益明;二维同振柱形矢量水听器的研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
5 刘佳钰;加速度计横向输出特性研究及其对惯性组合的影响[D];中北大学;2008年
6 朱大非;基于折叠壳式加速度计柱形矢量水听器研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
7 陈宇晓;电容式微机械静电伺服加速度计系统分析[D];电子科技大学;2003年
8 赵正杰;无陀螺飞行体姿态测试与仿真[D];中北大学;2006年
9 黄平;加速度计数据采集与数据库管理系统开发技术[D];四川大学;2005年
10 郑晓东;基于DSP的加速度计温度模型辨识与补偿方法研究[D];西安电子科技大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026