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《传感技术学报》 2000年02期
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半导体氧化物气体传感器测试新原理与方法

张正勇  张耀华  焦正  李民强  张蓉  刘锦淮  
【摘要】:本文基于半导体氧化物的气体敏感机理,提出对其测试的新原理和方法,通过试验发现,这种动态测试方法不仅能提高半导体氧化物的选择性和稳定性,而且能从混合气体中分辨出特定的气体成分,判断出大致的逍度.用这种方法,同一种气体传感器通过不同的测试手段可以检测不同的气体.

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【引证文献】
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1 李晓丽;孙以材;何平;钟晓泉;李晓琳;;基于牛顿插值法的智能气体体积分数测量装置[J];半导体技术;2008年03期
2 何平;赵红东;潘国峰;;一种便携式TiO_2薄膜乙醇气敏传感器的研制[J];传感技术学报;2007年07期
3 刘伟;宋玉哲;喇培清;刘国汉;席彩红;高晓平;刘东妮;韩根亮;;SnO_2纳米粉体的水热制备及其气敏性能研究[J];传感技术学报;2009年02期
4 李健,李海兰,田野,宋淑芳;掺杂和热处理对纳米ZnO薄膜气敏特性影响[J];传感器技术;2002年03期
5 高燕,李健,吉雅图,韩菲;稀土Nd掺杂纳米SnO_2薄膜气敏特性[J];传感器技术;2005年06期
6 赵海燕;王岭;陈嘉庚;吴印林;赵燕琴;;汽车尾气用NO_x传感器[J];传感器与微系统;2007年01期
7 赵全明,王广健,李玲玲,蒋栋;二氧化锡膜气敏传感器最新研究成果[J];传感器世界;2002年07期
8 李晓丽;潘国峰;孙以材;;一种新型智能气敏传感器及其无线数据传输系统的实现[J];传感器世界;2007年07期
9 李朝林;磁控反应溅射SnO_2薄膜的气敏特性研究[J];电子元件与材料;2005年01期
10 来五星;王聪;李晓平;史铁林;;乙醇气敏传感器及敏感度测试[J];仪器仪表用户;2006年03期
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1 魏广芬;基于微热板式气体传感器的混合气体检测及分析[D];大连理工大学;2006年
2 白静怡;稀土化合物纳米材料的制备及表征[D];浙江大学;2006年
3 赵鹤云;SnO_2一维纳米材料的制备、表征以及特性研究[D];昆明理工大学;2006年
4 王其军;瓦斯监测系统故障智能诊断技术研究[D];山东科技大学;2007年
5 谢英男;聚苯胺基复合材料的制备及其气敏性能研究[D];郑州大学;2008年
6 张岩;基于金属氧化物气体传感器的矿井气体检测技术研究[D];中国矿业大学(北京);2012年
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1 郝龙;射频反应溅射法制备SnO_2薄膜及其工艺研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
2 王志敏;多孔SnO_2、ZnO纳米材料及PPy/F-MWCNTs复合纳米材料的制备及其气敏性能研究[D];中南大学;2011年
3 沙春哲;气体传感器长期稳定性监测系统[D];哈尔滨理工大学;2011年
4 刘年丰;气体传感器测试系统[D];哈尔滨理工大学;2003年
5 陈冰峰;气敏元件测试系统的研究与设计[D];吉林大学;2004年
6 敖伟琴;机械化学合成氧化物纳米晶及其复合掺杂的研究[D];中南大学;2003年
7 张毅;直流磁控反应溅射制备TiO_2薄膜及氧敏特性研究[D];河北工业大学;2005年
8 宋明歆;SnO_2气敏性能与微观结构[D];哈尔滨理工大学;2005年
9 吉雅图;纳米二氧化锡薄膜的稀土钕掺杂效应[D];内蒙古大学;2005年
10 孙兰侠;室内污染气体传感器的制备及特性研究[D];浙江大学;2005年
【同被引文献】
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1 李晓奇,高首山,王开明,温传庚,周英彦;纳米ZnO粉体的制备[J];鞍山钢铁学院学报;2001年02期
2 张锦文,武光明,宋世庚,陶明德;SnO_2薄膜的湿敏效应[J];半导体技术;1999年06期
3 苏润,陈峰,刘锦淮;气敏传感器信号采集的研究[J];半导体技术;2003年11期
4 杨华明,杜春芳,欧阳静,张向超,苏晓辉;掺杂纳米SnO_2气敏传感器的研究进展[J];微纳电子技术;2005年04期
5 张维新,柳连俊;二氧化锡材料气敏机理的研究[J];半导体学报;1989年02期
6 姚红军,汪荣昌,戎瑞芬,徐飞,金海岩;TiO_2薄膜氧敏特性研究[J];半导体学报;1997年10期
7 范志新;透明导电薄膜最佳掺杂含量的理论计算[J];半导体学报;2002年06期
8 宋登元,王永青,孙荣霞,宗晓萍,郭宝增;Ar气压对射频磁控溅射铝掺杂ZnO薄膜特性的影响[J];半导体学报;2002年10期
9 王静,孙以材,刘新福;利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演[J];半导体学报;2003年08期
10 马德伟,叶志镇,黄靖云,赵炳辉;直流反应磁控溅射Zn_(1-x)Cd)_xO薄膜的研究[J];半导体学报;2003年10期
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1 丁晖;刘君华;申忠如;;在线小波变换技术在气体传感器漂移故障检测中的应用[A];第三次全国会员代表大会暨学术会议论文集[C];2002年
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1 刘伟;综放工作面煤矸界面识别理论与方法研究[D];中国矿业大学(北京);2011年
2 姚建曦;CdS/有机物纳米复合材料的制备及其发光性能的研究[D];浙江大学;2003年
3 马德伟;带隙可调的Zn_(1-x)Cd_xO合金半导体薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
4 翟永杰;基于支持向量机的故障智能诊断方法研究[D];华北电力大学(河北);2004年
5 魏广芬;基于微热板式气体传感器的混合气体检测及分析[D];大连理工大学;2006年
6 何月华;NASICON材料的气敏及发光特性研究[D];吉林大学;2007年
7 王其军;瓦斯监测系统故障智能诊断技术研究[D];山东科技大学;2007年
8 太惠玲;导电聚合物纳米复合薄膜的制备及其氨敏特性研究[D];电子科技大学;2008年
9 吕卅;基于金属基底纳/微米电极材料的制备及性能研究[D];吉林大学;2010年
10 张丽;基于支持向量机的矿用红外瓦斯检测系统研究[D];中国矿业大学(北京);2010年
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1 权义宁;任意波形发生器系统与软件设计[D];西安电子科技大学;2001年
2 冯祖勇;α-Fe_2O_3基气敏纳米材料的制备及其结构、性能的研究[D];福州大学;2002年
3 高望;直接数字频率合成技术及其杂散分析[D];南京理工大学;2002年
4 付琼;智能故障诊断技术的研究与应用[D];大连理工大学;2002年
5 常虹;传感器故障诊断方法研究[D];华北电力大学(河北);2003年
6 黄治军;基于小波分析的传感器故障诊断研究[D];西北工业大学;2004年
7 陈冰峰;气敏元件测试系统的研究与设计[D];吉林大学;2004年
8 李晶;ITO透明导电薄膜的溶胶凝胶法制备及工艺研究[D];中南大学;2004年
9 易小文;VAV系统传感器的故障诊断研究[D];湖南大学;2004年
10 焦培胜;煤矿气体检测仪表的研究与开发[D];大连理工大学;2005年
【二级引证文献】
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1 杜鹏;邱美艳;孙以材;潘国锋;;磁控溅射法制备SnO_2-CuO薄膜及其气敏特性研究[J];半导体技术;2007年09期
2 冯海玉,黄元庆,冯勇建;二氧化锡溅射工艺研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 李振昊;乐园;郭奋;陈建峰;;纳米二氧化锡粉体的超重力-水热法制备与表征[J];北京化工大学学报(自然科学版);2007年04期
4 满丽莹;齐恩磊;徐红燕;王介强;;二氧化锡纳米粉体的制备及表征[J];山东陶瓷;2011年03期
5 张正勇;徐定钧;于震;;金属氧化物气体传感器检测混合气体组分浓度的线性方法与原理[J];传感技术学报;2009年02期
6 林伟;黄世震;陈文哲;;射频反应磁控溅射SnO_2/MWCNTs薄膜材料的气敏性能研究[J];传感技术学报;2009年06期
7 谭秋林;许姣;薛晨阳;曲运强;;基于C8051F040酒精浓度测试仪的研究[J];传感技术学报;2009年10期
8 宁玲玲;贾建峰;赵明岗;王新昌;李新建;;Ag掺杂SnO_2纳米纤维的制备及其气敏特性研究[J];传感技术学报;2011年05期
9 李健,白素杰,通拉嘎;稀土Nd掺杂纳米ZnO薄膜气敏特性[J];传感器技术;2004年05期
10 李朝林,秋菊;SnO_2-ZnO复合膜特性研究[J];传感器技术;2005年10期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 焦正;;二氧化锡气敏传感器的研究进展[A];第6届辐射研究与辐射工艺学术年会论文集[C];2004年
2 姜婷;吴远大;王玥;安俊明;李建光;李帅;胡雄伟;;溶胶-凝胶法制备的SnO_2薄膜特性分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李淑红;基于声表面波技术的新型气体传感器的研究[D];南开大学;2010年
2 孔令沂;镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究[D];山东大学;2011年
3 宋凯;金属氧化物半导体气体传感器气体检测关键问题研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
4 何则强;SnO_2基锂离子电池负极材料的研究[D];中南大学;2004年
5 江名喜;配合—水热氧化法合成锑掺杂二氧化锡纳米粉末及其吸波性能的研究[D];中南大学;2006年
6 桂阳海;纳米ZnO基气敏元件制备及在易燃、易爆物检测中的应用研究[D];华中科技大学;2006年
7 马琳;微波和水热合成稀土化合物、二硫化钼纳米材料及表征[D];浙江大学;2008年
8 曾冬铭;氧化物发光薄膜材料的制备及表征[D];中南大学;2006年
9 邹强;金属氧化物一维纳米材料制备与性能研究[D];天津大学;2007年
10 崔方明;化学法制备太阳电池用CuInS_2及ZnS薄膜材料[D];浙江大学;2008年
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1 于博;多通道无线气体传感器检测系统的设计与研究[D];大连理工大学;2010年
2 胡雅馨;基于粗糙集与证据理论的瓦斯传感器故障诊断技术的研究[D];辽宁工程技术大学;2009年
3 王丹丹;基于数据挖掘的煤矿瓦斯事故预测方法研究[D];辽宁工程技术大学;2010年
4 宋玲;基于MSP430单片机的气体传感器批量测试系统[D];哈尔滨理工大学;2010年
5 郝龙;射频反应溅射法制备SnO_2薄膜及其工艺研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
6 吴硕;玻璃基(SnO_2:Sb)-(CeO_2-TiO_2)防静电与紫外线截止双功能薄膜的制备及表征[D];武汉理工大学;2010年
7 骞少阳;高吸收低反射太阳能陶瓷材料的研究[D];武汉理工大学;2011年
8 李世玺;交流电功率智能传感器粗信号的处理[D];西华大学;2011年
9 郑建旭;聚苯胺/高分子复合气敏材料的研究[D];郑州大学;2011年
10 陈红彦;氧化锡/硅纳米孔柱阵列传感性能研究[D];郑州大学;2011年
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1 ;固态气体传感器[J];现代计量测试;1997年04期
2 唐一科;刁显珍;侯长军;范瑛;;氢传感器的研究进展[J];传感器与微系统;2006年11期
3 卢革宇;全宝富;张彤;;气体传感器的最新进展[J];仪表技术与传感器;2009年S1期
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5 刘丽;冯莹靓;于连香;王连元;张彤;;花状ZnO纳米棒的合成及丙酮敏感特性的研究[J];半导体学报;2008年12期
6 傅敏恭;刘传忠;;碱土金属掺杂SnO_2气体传感器[J];化学传感器;1991年04期
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9 何芸,梅涛,张华安;气敏元件特性自动测量系统[J];传感器技术;1994年03期
10 马英仁,孟娟,徐晓峰,张振辉;Ga_2O_3薄膜气体传感器工作机理的研究[J];哈尔滨理工大学学报;1997年03期
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1 许淑霞;吕弋;;纳米硒化银催化发光气体传感器[A];第十届中国化学会分析化学年会暨第十届全国原子光谱学术会议论文摘要集[C];2009年
2 梅基强;;烟气二氧化硫气体传感器研究进展[A];中国环境保护产业发展战略论坛论文集[C];2000年
3 王兢;刘丽;纪敏;;La_(0.8)Sr_(0.2)FeO_3甲醛气体传感器研究[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集(2)[C];2008年
4 曹小安;张润坤;王伟锋;陶颖;;一种检测二甲醚气体的新型传感器[A];第五届全国环境化学大会摘要集[C];2009年
5 周琴;吕弋;;稀土发光材料YVO_4:Eu~(3+)化发光乙醇传感[A];四川省第十一次环境监测学术交流会论文集[C];2010年
6 于博;戚金清;王兢;;基于MSP430的无线气体传感器采集系统[A];第八届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2010年
7 丁晖;刘君华;申忠如;;在线小波变换技术在气体传感器漂移故障检测中的应用[A];第三次全国会员代表大会暨学术会议论文集[C];2002年
8 孟丽娜;邱成军;左霞;;硅基微结构酞菁锌薄膜气体传感器[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
9 罗兰;吕弋;;测定挥发性有机污染物的化学发光气体传感器研究[A];四川省第十一次环境监测学术交流会论文集[C];2010年
10 王金凤;;关于CO气体检测仪器的分析[A];农业机械化与全面建设小康社会——中国农业机械学会成立40周年庆典暨2003年学术年会论文集[C];2003年
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1 于柏林张兆军;气体传感器技术研究获突破[N];科技日报;2007年
2 本报记者 诸玲珍;物联天下 传感先行[N];中国电子报;2010年
3 山西 王东升;低价位氧气传感器[N];电子报;2007年
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5 本报记者 洪生;汉威电子:深耕气体传感器市场 尚需改变贴牌生产模式[N];中国电子报;2009年
6 柏林;我掌握电化学气体传感器核心技术[N];中国化工报;2007年
7 李正孝 秘桂荣;唾手可得[N];计算机世界;2001年
8 陈希荣;纳米粉体材料与包装“一拍即合”[N];中国包装报;2007年
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1 孙鉴波;紫外光激发型半导体氧化物气体传感器的研究[D];吉林大学;2012年
2 艾仕云;纳米半导体氧化物的制备及其在化学需氧量检测中应用的研究[D];华东师范大学;2004年
3 张岩;基于金属氧化物气体传感器的矿井气体检测技术研究[D];中国矿业大学(北京);2012年
4 钟铁钢;系列毒害气体传感器的研制及其特性研究[D];吉林大学;2010年
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6 李淑红;基于声表面波技术的新型气体传感器的研究[D];南开大学;2010年
7 刘丽;硅基微结构气体传感器的研制[D];吉林大学;2008年
8 宋凯;金属氧化物半导体气体传感器气体检测关键问题研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
9 林华辉;协议互操作性测试理论与方法研究[D];中国科学技术大学;2007年
10 孙萍;质量敏感型有毒有害气体传感器及阵列研究[D];电子科技大学;2010年
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1 杨明;全固态电化学一氧化碳传感技术研究[D];北京化工大学;2002年
2 邵晶;半固态和全固态控制电位电解型SO_2气体传感器的研究[D];甘肃工业大学;2001年
3 刘博;硅基微结构SnO_2气体传感器结构改进研究[D];大连理工大学;2010年
4 王玮;基于气体传感器阵列的混合气体检测系统[D];西北工业大学;2002年
5 李艳;基于离子液体/碳粉电导型气体传感器[D];上海师范大学;2010年
6 贾建;气体传感器智能测试系统和便携式酒精检测仪的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
7 吕坚;基于虚拟仪器的气体传感器自动测试系统研究[D];电子科技大学;2004年
8 谭明伟;γ-Fe_2O_3气体传感器敏感机理与应用研究[D];吉林大学;2005年
9 周超群;聚合物碳黑薄膜的制备及气敏特性研究[D];电子科技大学;2010年
10 陈金霞;纳米碳管气体传感器及钯和铜的掺杂研究[D];浙江大学;2005年
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