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《传感技术学报》 1999年01期
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ITO薄膜的气敏特性

张正勇  张耀华  
【摘要】:本文研究了用胶体法制备的ITO薄膜的气敏特性;并同时研究了各种掺杂杂质对ITO薄膜的气敏特性的影响.通过实验发现ITO薄膜对乙醇气体具有最高的灵敏度,对二氧化氮等也有较好的敏感特性,一般催化剂型掺杂物如资金属等掺杂对提高ITO薄膜的灵敏度没有多大帮助.ITO薄膜与 SnO_2薄膜相比具有更高的稳定性.ITO薄膜的气敏特性既具有表面控制型的特征,又具有体效应气敏材料的敏感特性.

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 余道建,沈瑞琪;NO_2气体传感器敏感材料[J];传感器技术;2001年04期
2 董玉峰,廖克俊,王万录,王蜀霞;CdIn_2O_4薄膜气敏特性的研究[J];广西师范大学学报(自然科学版);2000年S2期
3 袭著有,许启明,赵鹏,田晓珍;ITO薄膜特性及发展方向[J];西安建筑科技大学学报(自然科学版);2004年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 巩小敏;纳米复合氧化物催化剂的制备及其催化性质的研究[D];北京化工大学;2005年
2 吴娜;甲醛气敏元件研制及灵敏度特性研究[D];大连理工大学;2006年
3 职利;ITO薄膜的水热法制备与性能研究[D];桂林电子科技大学;2006年
4 曾胜男;ITO掺杂浆料及薄膜的制备工艺和性能研究[D];北京化工大学;2007年
5 冯同春;化学共沉淀法制备纳米ITO粉体的研究[D];昆明理工大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 祁志美,张耀华,李民强,唐红霖;浸渍涂布法制备ITO气敏薄膜[J];传感器技术;1994年04期
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 冯拉俊,刘毅辉,雷阿利;纳米颗粒团聚的控制[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 林元华,张中太,袁方利,李晋林;ZnO导电陶瓷的制备及其性能表征[J];半导体学报;1999年10期
3 范志新,孙以材,陈玖琳;氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算[J];半导体学报;2001年11期
4 范志新;透明导电薄膜最佳掺杂含量的理论计算[J];半导体学报;2002年06期
5 赵俊卿,马瑾,李淑英,马洪磊;有机薄膜衬底ITO透明导电膜的结构和光电特性[J];半导体学报;1998年10期
6 陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
7 徐美君;ITO透明导电膜玻璃生产及应用[J];玻璃与搪瓷;2001年02期
8 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
9 徐毓龙,G.Heiland;金属氧化物气敏传感器(Ⅵ)[J];传感技术学报;1997年01期
10 金庚墀;半导体薄膜型NO_x气敏元件及应用装置[J];传感器技术;1988年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘凤敏;SnO_2及其复合氧化物气体传感器的修饰改性研究[D];吉林大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 任术波;气体传感器的自动测试系统[D];大连理工大学;2002年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 魏少红,牛新书,蒋凯;WO_3纳米材料的NO_2气敏特性[J];传感器技术;2002年11期
2 陈长庆,胡明,吴霞宛;气敏传感器的发展[J];材料导报;2003年01期
3 徐伟玲;李延升;;液相共沉淀法制备氧化铟锡超细粉体材料的研究进展[J];应用化工;2005年07期
4 杨觉明,余萍,陈平,张海礁,许岗;热处理对ITO薄膜的显微结构及光电特性的影响[J];西安工业学院学报;2005年01期
5 林伟,黄世震,陈伟,颜志波,耿涛;磁控溅射WO_3薄膜特性研究[J];郑州轻工业学院学报(自然科学版);2002年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 何志远;张治国;;ITO薄膜电导率与温度关系的测量[A];福建省第五届实验物理教学研讨会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 杨留方;铁酸盐复合氧化物(MFe_2O_4)系列气敏材料的制备及新型气体传感器的研究[D];昆明理工大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 索武生;NO_2气体薄膜传感器阵列制备及特性研究[D];电子科技大学;2005年
2 蒲源;纳米La_(0.8)Sr_(0.2)FeO_3薄膜材料制备及其光电子特性研究[D];燕山大学;2006年
3 王勉;氧化氮及氨气有机敏感薄膜的制备及特性研究[D];电子科技大学;2006年
4 张周珺;复合金属氧化物对CH_4和NO_2的气敏和催化性能研究[D];北京化工大学;2006年
5 江锡顺;ITO透明导电薄膜的组分、微结构及其光电特性研究[D];安徽大学;2006年
6 李月;酞菁有机半导体气体传感器的研究[D];哈尔滨理工大学;2006年
7 包化成;SnO_2甲醛气体传感器性能改善[D];大连理工大学;2006年
8 张苗;网络化电子鼻技术研究及实现[D];西北工业大学;2007年
9 魏红莉;Sol-gel法氧化镍薄膜的制备和性能的研究[D];武汉理工大学;2007年
10 朱安民;天然气燃烧催化剂的逆微乳液合成及性能研究[D];北京化工大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 沈瑜生,张云昌;薄膜型SnO_2气敏元件初探[J];半导体学报;1984年03期
【相似文献】
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1 段玉娇;李文婷;申前进;晋卫军;;ZnS掺Mn磷光量子点对金属离子传感机理的探讨[J];化学传感器;2011年02期
2 罗启枚;王辉宪;徐新宇;李彦涛;黄俊;刘登友;;基于纳米金/壳聚糖掺杂碳纳米管修饰金电极非标记免疫传感器的研究[J];分析测试学报;2011年07期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 陈大竞;纳米聚合物单纤维传感器研究[D];浙江大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 杨锦秀;复合固体电解质膜SO_2传感器的研究[D];华中科技大学;2006年
2 白振华;可燃性气体传感器的制备及气敏特性研究[D];河北工业大学;2007年
3 邱美艳;薄膜型气体传感器的研究与制备[D];河北工业大学;2007年
4 包化成;SnO_2甲醛气体传感器性能改善[D];大连理工大学;2006年
5 陈慧卿;多孔硅气敏传感器NO_2气敏性能改进研究[D];天津大学;2012年
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