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《传感技术学报》 1996年01期
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高Tc超导红外探测器与焦平面列阵(Ⅲ)

刘心田  石保安  吴增烈  汤定元  
【摘要】:正由于实际应用,多元列阵和焦平面列阵的研制更吸引入,可以说,应用微结构工艺是很容易制成高Tc超导多元探测器的,如Honeywell公司的1×12元线阵已进行了空间环境试验.它们用掩膜方法制备了1 ×64元

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