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《传感技术学报》 1992年02期
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金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理

徐毓龙  曹全喜  周晓华  
【摘要】:根据实验所得规律,知金属氧化物表面发生的气—固、气—气反应及其相关的电子过程是气敏作用机理的基础.添加剂、表面处理、温度控制等都能够影响这些反应过程,可用来改善传感器的灵敏度和选择性.

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 贺蕴秋,解庆红;氧化铁系统气敏陶瓷的电阻温度特性以及硫酸盐的影响[J];传感技术学报;1997年02期
2 侯后琴,连红,林国政;SnO_2超微粒薄膜气敏元件的研制与测试[J];传感技术学报;1994年02期
3 徐毓龙;国外气敏传感器的发展动向[J];传感器世界;1996年01期
4 苏润,徐献芝,朱梅,孟凡丽,刘锦淮;传感器自补偿桥路信号采集的研究[J];传感器世界;2004年05期
5 姜涛,吴一平,陈建国,乔学亮;掺杂对金属半导体氧化物气敏性能影响的研究[J];材料导报;1996年02期
6 王克龙,曹全喜,周晓华,徐毓龙;双功能陶瓷和元件[J];功能材料;1998年03期
7 曹晓平,姚文清,叶小燕,曹立礼;氢吸附对掺杂SnO_2薄膜电子结构的影响[J];化学物理学报;1997年03期
8 惠春,徐爱兰;(Sn,Sb)O_(2-x)基纳米结构厚膜材料气敏特性及机理[J];物理化学学报;2001年09期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 焦正;;二氧化锡气敏传感器的研究进展[A];第6届辐射研究与辐射工艺学术年会论文集[C];2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 姚敏琪;SnO_2纳米粉体制备及其气敏特性研究[D];太原理工大学;2002年
2 张麦红;全固态电化学氢传感器的研究[D];北京化工大学;2000年
3 包化成;SnO_2甲醛气体传感器性能改善[D];大连理工大学;2006年
4 赵先锐;偏锡酸锌稀土掺杂及酒敏性能研究[D];重庆大学;2006年
5 利佳;ZnSnO_3气敏材料的制备、掺杂及其气敏性能研究[D];重庆大学;2007年
6 胡盛华;二氧化锡基硫化氢气敏材料的改性研究[D];华东师范大学;2004年
7 张毅;直流磁控反应溅射制备TiO_2薄膜及氧敏特性研究[D];河北工业大学;2005年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 马黎君,魏京花;掺杂对SnO_2薄膜性能影响研究[J];北京建筑工程学院学报;2001年02期
2 徐毓龙,G.Heiland;金属氧化物气敏传感器(Ⅱ)[J];传感技术学报;1996年01期
3 徐毓龙,G.Heiland;金属氧化物气敏传感器(Ⅲ)[J];传感技术学报;1996年02期
4 徐毓龙,周晓华,曹全喜;氧化物半导体的表面过程与气敏机理[J];传感器技术;1991年06期
5 易惠中;气体传感器中的厚薄膜技术[J];传感器技术;1992年01期
6 陈慧兰,张雪琴,刘新庆,狄春华;载气及化学物质对稀土α-Fe_2O_3气敏元件灵敏度的影响[J];传感器技术;1993年03期
7 王存,王弘,沈瑜生;掺杂对CdSnO_3气敏性能的影响[J];传感器技术;1993年S1期
8 王存,王弘,沈瑜生;复合氧化物气敏材料的进展[J];传感器技术;1994年01期
9 张忠孝,孟阿兰,李厚福,张艳臣;测量鱼鲜度的三甲胺[N(CH_3)_3]半导体金属氧化物传感元件的研制[J];传感器技术;1995年03期
10 徐毓龙;国外气敏传感器的发展动向[J];传感器世界;1996年01期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
2 翟永清;纳米无机非金属材料的合成、表征及性质研究[D];河北大学;2003年
3 彭卿;硒碲化合物半导体纳米材料的调控合成、结构与性能研究[D];清华大学;2003年
4 马德伟;带隙可调的Zn_(1-x)Cd_xO合金半导体薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
5 李荐;低价铌氧化物电解电容器阳极的开发及相关机理研究[D];中南大学;2003年
6 侯亚奇;二氧化钛及其复合薄膜光催化降解性能研究[D];清华大学;2004年
7 秦庆伟;铝电解惰性阳极及腐蚀率预测研究[D];中南大学;2004年
8 郑冀;纳米掺杂AgSnO_2电触头材料及其单晶硅类流态结构的研究[D];天津大学;2004年
9 游国强;新型镁熔体气体保护技术基础研究[D];重庆大学;2007年
10 姚书典;钛基贵金属氧化物涂层阳极的失效机制与表面改性[D];上海大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 洪吉;常温半导体氧传感器[D];浙江大学;2001年
2 籍聪麟;SrTiO_3双功能元件的研究[D];西安电子科技大学;2002年
3 施永明;二氧化钛固溶体的制备及性能研究[D];浙江大学;2002年
4 杨成兴;雾化汽相沉积法制备ZnO薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2003年
5 田立强;磁控溅射TiO_2薄膜与氧传感器的研究[D];河北工业大学;2003年
6 陈玖琳;几种半导体发光材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2003年
7 余红华;纳米TiO2的制备、等离子体改性及其性能研究[D];华南师范大学;2003年
8 冯庆;TiO_2半导体薄膜的光催化和气敏性质研究[D];重庆大学;2003年
9 刘想梅;纳米掺杂AgSnO_2电接触材料的研究[D];天津大学;2004年
10 戴振清;TiO_2薄膜制备及其氧敏特性研究[D];河北工业大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孟宪权,王君,何磊,范湘军;TiO_2薄膜的制备及结构研究[J];半导体学报;1999年05期
2 裴素华,赛道建,孟繁英,吴家琨;Nb_2O_5对TiO_2响应TMA气敏特性的改善[J];传感技术学报;2000年01期
3 姜涛,吴一平,陈建国,乔学亮;掺杂对金属半导体氧化物气敏性能影响的研究[J];材料导报;1996年02期
4 惠春,徐爱兰,徐毓龙;MEMS气敏传感器[J];功能材料;2003年02期
5 潘海波,陈耐生,林德娟,沈水发,黄金陵;TiO_2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展[J];功能材料与器件学报;2001年01期
6 田雨霖;TiO_2陶瓷的复合功能特性[J];硅酸盐通报;1994年06期
7 于力,刘技文,赵杰,戴少侠,金柱京,王慧君;基材温度对离子镀TiN膜性能的影响[J];金属学报;1996年12期
8 周伟,孙成文,杨芝洲;TiO_2氧敏元件的研究和发展概况[J];无机材料学报;1998年03期
9 张西鹏 ,范洪远,李伟;物理气相沉积薄膜附着性的影响因素[J];新技术新工艺;2003年02期
10 颜黄苹,冯勇建,陈曦,卞剑涛;基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计[J];仪表技术与传感器;2003年08期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 张立德;;我国纳米材料技术应用的现状和产业化的机遇[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(上卷)[C];2001年
2 周震涛;赵慧峰;张焰峰;;纳米碳管在锂离子电池中的应用[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 马兴法;有机复合膜与传感器的室温气敏性研究[D];浙江大学;2005年
2 宋群梁;有机小分子太阳能电池的界面研究[D];复旦大学;2006年
3 董群;生物分级结构功能材料的制备及性能研究[D];上海交通大学;2008年
4 盖利刚;介孔分子筛制备、表征及应用[D];山东大学;2006年
5 史志存;电子鼻及其应用研究[D];中国科学院电子学研究所;2000年
6 魏广芬;基于微热板式气体传感器的混合气体检测及分析[D];大连理工大学;2006年
7 汤会香;ZnO纳米颗粒气敏性能的研究[D];浙江大学;2005年
8 徐红燕;氧化物多孔纳米固体气敏传感器的研究[D];山东大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄巧萍;纳米级铜锌合金薄膜的研制及其基础研究[D];中南大学;2004年
2 张胜坤;电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制[D];河北大学;2005年
3 王秋艳;基于FBG光纤光栅薄膜温度传感器的研究[D];湖南大学;2006年
4 赵杰;纳米SnO_2/酞菁铜薄膜材料的构筑与气敏性能研究[D];黑龙江大学;2004年
5 张毅;直流磁控反应溅射制备TiO_2薄膜及氧敏特性研究[D];河北工业大学;2005年
6 赵先锐;偏锡酸锌稀土掺杂及酒敏性能研究[D];重庆大学;2006年
7 李月;酞菁有机半导体气体传感器的研究[D];哈尔滨理工大学;2006年
8 陈德军;TiN/AIN纳米多层膜的制备与性能研究[D];广东工业大学;2007年
9 刘金浩;碱土金属及Mn、Cr掺杂WO_3功能陶瓷的制备条件和电学性质[D];华中科技大学;2006年
10 史金涛;溶胶凝胶法Sb掺杂SnO_2薄膜的制备、性能及新型节能镀膜玻璃的研究[D];浙江大学;2002年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐毓龙,G.Heiland;金属氧化物气敏传感器(Ⅵ)[J];传感技术学报;1997年01期
2 徐毓龙;汽车用传感器发展动向[J];传感器世界;1996年05期
3 戴振清,孙以材,潘国峰 ,李国玉 ,陈志永 ,张艳辉 ,赵建立;金属氧化物掺杂对TiO_2气敏特性的影响[J];传感器世界;2003年09期
4 金赟,赵学义,杨晓璞,曹建文,崔玉江,吴淼;高浓度粘稠物料压力传感装置的研制与标定[J];传感器世界;2004年09期
5 张小文,甘国友,严继康,季惠明,陈朝霞;TiO_2压敏电阻的现状与展望[J];材料导报;2003年08期
6 张银洪;贺蕴秋;;气敏材料及其传感器选择性研究进展[J];材料导报;2005年06期
7 梁镇海;张福元;孙彦平;;耐酸非贵金属Ti/MO_2阳极SnO_2+Sb_2O_4中间层研究[J];稀有金属材料与工程;2006年10期
8 李涛,彭同江;锆钛酸铅压电陶瓷的研究进展与发展动态[J];湘南学院学报;2004年02期
9 朱永法,郑斌,姚文清,叶小燕,曹立礼;电子能谱线形分析研究碳物种的化学状态[J];分析化学;1999年01期
10 惠春,徐爱兰,徐毓龙;MEMS气敏传感器[J];功能材料;2003年02期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 曲建岭;人工嗅觉系统中的信息处理技术[D];西北工业大学;2000年
2 李晓雷;La_2NiO_4系类钙钛矿薄膜的溶胶-凝胶法制备及氧敏特性的研究[D];天津大学;2003年
3 杨留方;铁酸盐复合氧化物(MFe_2O_4)系列气敏材料的制备及新型气体传感器的研究[D];昆明理工大学;2005年
4 张红梅;基于气体传感器阵列的几种农产品品质检测研究[D];浙江大学;2007年
5 梁镇海;固溶体中间层钛基氧化物阳极研究[D];太原理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张毅;直流磁控反应溅射制备TiO_2薄膜及氧敏特性研究[D];河北工业大学;2005年
2 籍聪麟;SrTiO_3双功能元件的研究[D];西安电子科技大学;2002年
3 张兼戎;固体电解质ZrO_2氧传感器分析高温有氧体系中CO的研究[D];湖南大学;2002年
4 田立强;磁控溅射TiO_2薄膜与氧传感器的研究[D];河北工业大学;2003年
5 贾建;气体传感器智能测试系统和便携式酒精检测仪的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
6 杨俊三;环形压敏电阻器的研究与制备[D];西北大学;2003年
7 张彬;电导型复合金属氧化物CO_2气敏薄膜材料的研究[D];天津大学;2004年
8 张小文;二氧化钛基压敏陶瓷制备及性能研究[D];昆明理工大学;2004年
9 王小兰;氧化物掺杂ATO纳米粉体的制备及其性能研究[D];中南大学;2003年
10 高桂兰;锑掺杂二氧化锡(ATO)纳米导电涂料的研究及分析测试[D];中南大学;2004年
【相似文献】
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1 周志刚;周春红;胡木林;;纳米ZnO浆料的制备研究[J];传感技术学报;2011年08期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
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1 重庆 潘建;气敏传感器简介[N];电子报;2002年
2 河北 王春明;半导体气敏器件简介[N];电子报;2002年
3 ;数码成像原理[N];电脑报;2001年
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1 冯庆;TiO_2半导体薄膜的制备与气敏传感性质研究[D];重庆大学;2009年
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1 陈慧卿;多孔硅气敏传感器NO_2气敏性能改进研究[D];天津大学;2012年
2 冯有才;磁控溅射制备三氧化钨气敏薄膜[D];天津大学;2007年
3 余见军;MFeO_3基半导体材料制备及气敏性能研究[D];天津大学;2008年
4 曾晶;基于阳极氧化法的多孔氧化钨气敏薄膜的制备与研究[D];天津大学;2012年
5 梅鑫涛;层状多孔ZnO自持膜的制备及其气敏性能研究[D];华中科技大学;2011年
6 宣鑫科;掺铟二氧化锡薄膜(ITO)的制备及其性质研究[D];华东师范大学;2010年
7 李泽斌;等离子体浸没离子注入技术在ZnO薄膜p型改性方面的应用研究[D];复旦大学;2011年
8 陈高峰;SnO_2基纳米材料的合成及其气敏性能研究[D];武汉工程大学;2011年
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