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《长春光学精密机械学院学报》 1995年03期
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半导体激光器腔面高反射涂层的研究

杨晓妍  杨莲  王玉霞  
【摘要】:通过对GaAs-GaAlAs激光器谐振腔后腔面蒸镀ZrO2,MgF2工艺过程,从|理论和实验上分析涂层特性,反射率由无膜时的32%,镀膜后提高到92.5%。保护了器件端面,降低问值电流,提高了激光输出功率和工作寿命。

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