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《江西师范大学学报(自然科学版)》 2005年01期
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脉冲激光沉积(PLD)机理分析及其应用

江辉明  叶志清  曾明生  
【摘要】:脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广,最有希望的制膜技术.该文阐述了脉冲激光沉积技术的机理、特点,薄膜生长主要包括三个过程:1)激光与物质相互作用产生等离子体;2)等离子体向基片扩散;3)等离子体中粒子在基片上生长薄膜.文章还分析了脉冲沉积过程中各主要沉积参数,如激光能量密度、沉积气压和衬底情况等对薄膜质量的影响,并介绍了其在制备半导体、高温超导、类金刚石、生物陶瓷薄膜等方面的应用.

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【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 吴淼;非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究[D];天津大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 艾万勇;导电氧化物SrRuO_3薄膜的生长及铁电集成性研究[D];电子科技大学;2007年
2 杨建锋;脉冲激光沉积法制备Pd(Pt)负载催化剂用于氯代硝基苯的加氢性能研究[D];浙江工业大学;2007年
3 顾金宝;ZnO薄膜的制备与性能研究[D];合肥工业大学;2007年
4 唐亚陆;氟化镁增透膜的制备与多层膜LITV信号的研究[D];昆明理工大学;2007年
5 胡春香;脉冲激光制备ZnO薄膜机理的研究[D];江西师范大学;2007年
6 樊丽权;垂直靶向脉冲激光沉积纳米薄膜[D];黑龙江大学;2007年
7 张熹;千赫兹飞秒脉冲激光制备类金刚石薄膜研究[D];华中科技大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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3 陈传忠,姚书山,包全合,张亮,雷廷权;脉冲激光沉积羟基磷灰石薄膜的研究现状[J];激光技术;2004年01期
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李琳;季振国;张亚红;韩伟智;;氧化锌薄膜紫外光电导机理研究[J];半导体光电;2006年01期
2 余旭浒,马瑾,计峰,王玉恒,王翠英,马洪磊;射频磁控溅射制备ZnO∶Ga透明导电膜及特性[J];半导体学报;2005年02期
3 朋兴平,王印月,方泽波,杨映虎;In掺杂对ZnO薄膜结构及光学特性的影响[J];半导体学报;2005年04期
4 黄丽,李喜峰,张群,缪维娜,张莉,章壮健,华中一;渠道火花烧蚀法制备In_2O_3∶Mo透明导电薄膜[J];半导体学报;2005年11期
5 周新翠;叶志镇;陈福刚;徐伟中;缪燕;黄靖云;吕建国;朱丽萍;赵炳辉;;MOCVD法制备磷掺杂p型ZnO薄膜[J];半导体学报;2006年01期
6 高国棉;陈长乐;陈钊;李谭;王永仓;金克新;赵省贵;;脉冲激光沉积(PLD)的研究动态与新发展[J];材料导报;2005年02期
7 张丽伟,卢景霄,段启亮,王海燕,李瑞,靳锐敏,王红娟,张宇翔;磁控溅射法制备AZO薄膜的工艺研究[J];电子元件与材料;2005年08期
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9 陈欣,方斌,官文杰,吴天书,郭明森,方国家,赵兴中;沉积温度和退火处理对脉冲激光沉积的ZnO∶Al膜性能的影响[J];功能材料;2005年10期
10 刘维红;胡晓云;张锦;张德恺;;脉冲激光沉积法制备无机发光薄膜的研究现状[J];激光与光电子学进展;2006年12期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 谭娜;Er/Yb共掺氧化物薄膜的光致荧光特性、结构特征及相关优化理论分析[D];大连理工大学;2006年
2 包全合;脉冲激光沉积羟基磷灰石薄膜微观组织及性能表征[D];山东大学;2006年
3 杨晓东;L-MBE法生长ZnO薄膜的p型掺杂及分析表征[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2006年
4 刘志锋;ZnO有序多孔薄膜的模板组装及电极性能[D];天津大学;2006年
5 赵亚凡;钛合金表面脉冲激光沉积生物玻璃薄膜的研究[D];山东大学;2007年
6 赵艳;激光制备氧化锌纳米材料及其激光辐照效应研究[D];北京工业大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 金克新;PLD、SRMS系统的研制及巨磁电阻合金的研究[D];西北工业大学;2003年
2 乔保卫;磁控反应溅射AIN薄膜的制备工艺与性能研究[D];西北工业大学;2003年
3 夏志林;电子束蒸发制备AZO薄膜的光电性能研究[D];武汉理工大学;2004年
4 葛春桥;溶胶—凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究[D];武汉理工大学;2005年
5 邓海东;PLD多层SPR生物传感器的制备与实验研究[D];江西师范大学;2005年
6 苏凤莲;PLD和MOCVD方法生长的ZnO薄膜结构及发光性能[D];安徽大学;2005年
7 熊飞;拟薄水铝石/二氧化锡纳米微米复合材料的胶态加工技术[D];昆明理工大学;2005年
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9 段启亮;ZAO(掺铝氧化锌)导电膜的制备及特性研究[D];郑州大学;2005年
10 纠智先;ZnS荧光薄膜的脉冲激光沉积及其特性研究[D];郑州大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 康晋锋,刘晓彦,王玮,俞挺,韩汝琦,连贵君,张朝晖,熊光成;CeO_2高K栅介质薄膜的制备工艺及其电学性质[J];半导体学报;2001年07期
2 黄大定,秦复光,姚振钰,刘志凯,任治璋,林兰英,高维滨,任庆余;用低能离子束淀积技术在硅(111)衬底上生长氧化铈外延薄膜[J];半导体学报;1995年02期
3 宋晓岚,杨振华,邱冠周,曲选辉;纳米氧化铈在高新技术领域中的应用及其制备研究进展[J];材料导报;2003年12期
4 杜新华,刘振祥,谢侃,王燕斌,褚武扬;溅射二氧化铈氧敏薄膜的XPS研究[J];功能材料;1998年06期
5 王艳荣;纳米二氧化铈的资源及应用[J];广州化工;2005年05期
6 李秀珍,潘湛昌,肖楚民,张环华;纳米二氧化铈的制备方法研究[J];化工装备技术;2002年06期
7 连传昕,李向阳,刘骥;GaN折射率的椭圆偏振光谱研究[J];红外与毫米波学报;2004年04期
8 徐宏,刘剑洪,蔡弘华,田德余;纳米氧化铈的制备及其催化性能研究[J];深圳大学学报(理工版);2002年02期
9 杨春生,陈建华;氧化铈和氧化镧在汽车尾气净化催化剂中的应用[J];中国稀土学报;2003年02期
10 刘艳美,赵宗彦,李爱侠,杨坤堂,韩家骅,孙兆奇;关于MgF_2氧化问题的Rietveld全谱拟合研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2002年04期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 秦福文;RHEED原位监测的PEMOCVD方法及GaN基薄膜低温生长[D];大连理工大学;2004年
2 付兴华;掺杂钛酸锶钡薄膜的制备与电性能的研究[D];武汉理工大学;2005年
3 魏贤华;氧化物铁电薄膜生长与界面控制方法研究[D];电子科技大学;2005年
4 顾少轩;GeS_2-Ga_2S_3-CdS体系非线性光学玻璃的制备、结构与性能研究[D];武汉理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 叶平;不同形貌氧化铈和铈—硅复合材料的合成及其性质的研究[D];上海师范大学;2007年
2 张国勇;LCMO及YBCO薄膜的时变激光感生电压[D];昆明理工大学;2002年
3 徐振华;溶胶—凝胶法制备光功能材料研究[D];长春理工大学;2002年
4 李小换;ZnO和AlN薄膜结构及其性能的研究[D];北京工业大学;2003年
5 胡海平;GeS_2-Ga_2S_3-CdS体系玻璃二阶非线性光学性能的研究[D];武汉理工大学;2007年
6 马志军;PLD法制备GeS_2-Ga_2S_3-CdS非晶薄膜及其性能研究[D];武汉理工大学;2008年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 马志军;PLD法制备GeS_2-Ga_2S_3-CdS非晶薄膜及其性能研究[D];武汉理工大学;2008年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 李剑光,叶志镇,汪雷,赵炳辉,袁骏,阙端麟;用于制备GaN的硅基ZnO过渡层的高温热处理研究[J];半导体学报;1999年10期
2 修向前,野崎真次,岛袋淳一,池上隆兴,王大志,汤洪高;利用高频Plasma CVD在蓝宝石衬底上生长立方GaN缓冲层及其光学性质[J];半导体学报;2001年02期
3 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
4 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
【相似文献】
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1 班玮;;德研制出等离子体消毒“手电”[J];共产党员;2011年16期
2 华兴恒;刘雨;;物质的第四态——等离子态[J];青苹果;2009年01期
3 陆培祥;;一本值得推荐的专著——《脉冲激光沉积动力学原理》[J];物理;2011年09期
4 陈明生;孔勐;时晶晶;吴先良;沙威;;等离子体目标宽频电磁散射特性的快速分析[J];电波科学学报;2011年02期
5 李廷先;张铭;王光明;郭宏瑞;李扩社;严辉;;La_(2/3)Sr_(1/3)MnO_3/BaTiO_3复合薄膜的制备及其电致磁电效应研究[J];物理学报;2011年08期
6 赵晓云;段萍;屈奎;;多成分电负性碰撞等离子体的鞘层玻姆判据[J];核聚变与等离子体物理;2011年02期
7 ;中外科学家烹制宇宙大爆炸“夸克汤” 初次确定从普通物质到夸克物质的相变温度[J];科技传播;2011年13期
8 李丽丽;梁齐;史成武;孔明光;李兵;;脉冲激光沉积制备SnS薄膜及其光学特性的研究[J];真空科学与技术学报;2011年04期
9 李洪涛;蒋百灵;杨波;曹政;郭维华;焦栋茂;;溅射沉积氢化非晶硅中辉光放电等离子体的Langmuir探针诊断[J];真空科学与技术学报;2011年04期
10 刘有军;金琨;白晓明;;低真空中脉冲激光烧蚀铜纳米铜等离子体电子温度的测量[J];现代教育科学;2010年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 茅卫红;张慧云;陈宏;;低压直流辉光等离子体的放电特性[A];第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下册)[C];2010年
2 丁大宇;孙剑;许宁;应质峰;吴嘉达;;ECR等离子体和PLA等离子体相互作用的研究[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
3 李向东;;高温、高密等离子体中的基态电离势[A];2004年全国强场激光物理会议论文集(二)[C];2004年
4 张泽渤;罗霄;Schaefer J;Uhlenbushch J;;微波激励N_2等离子体的激光干涉测量[A];第三届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];1997年
5 罗辰;李弘;陈志鹏;王慧慧;白小燕;欧阳亮;李斌;耿松;刘秋艳;冯雷;刘万东;;中等气压下凹腔型感应耦合放电机理的实验研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
6 夏维东;白冰;陈佺;黎林村;查俊;;大面积分散电弧等离子体源(LADAPS)[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
7 姚福保;张连珠;赵海涛;杨巍;;高频容性氢等离子体的特征[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
8 周东方;马燕云;田成林;陈湛;邵福球;;质子束在等离子体中传输的PIC模拟[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
9 符斯列;陈俊芳;;微波ECR等离子体化学气相沉积GaN薄膜的特性研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
10 陈金忠;史金超;郭庆林;怀素芳;魏艳红;;高气压Ar气对激光诱导Cu等离子体电子温度的影响[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 顾琅 中国科学院力学研究所研究人员;等离子体与人类何干?[N];大众科技报;2011年
2 记者 操秀英;“人造太阳”进展顺利 等离子体研究将有较大进展[N];科技日报;2010年
3 周有恒;等离子体[N];中国化工报;2001年
4 周 犁;粉末状等离子体太空“现身”[N];大众科技报;2003年
5 记者 常珊珊、通讯员 李丹;我国有了等离子体温室气体化学实验室[N];科技日报;2000年
6 程艳 陈敬农;做到世界最好不再是梦![N];科技日报;2002年
7 通讯员 萧林 记者 李陈续;“东方超环”实现科学目标进程[N];光明日报;2010年
8 记者 吴仲国;中日签署两项科技合作协议[N];科技日报;2000年
9 东边;科学家创造出第六种物质形态[N];广东科技报;2004年
10 ;HT—7超导托卡马克装置国际合作[N];科技日报;2000年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 吕改敏;正负电子等离子体静电波的精解研究[D];大连理工大学;2010年
2 李毅人;弱碰撞等离子体中金属栅网附近稳态鞘和预鞘的实验诊断与数值模拟[D];中国科学技术大学;2011年
3 邹秀;低温等离子体磁鞘特性的研究[D];大连理工大学;2005年
4 李志超;大尺度激光等离子体相互作用的实验研究[D];中国科学技术大学;2011年
5 袁承勋;等离子体中太赫兹波传输特性理论研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
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7 王艳辉;均匀大气压介质阻挡放电特性及模式研究[D];大连理工大学;2006年
8 陈兆权;微波放电激发大面积矩形表面波等离子体的研究[D];华中科技大学;2010年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吕珂;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及其结构和发光特性分析[D];江西师范大学;2006年
2 杨诚;脉冲激光沉积GaN薄膜及ZnO缓冲层的影响[D];山东师范大学;2007年
3 张灿云;常温下脉冲激光沉积立方氮化硼薄膜和金刚石的纳米成核热力学研究[D];湘潭大学;2003年
4 刘玫;脉冲激光沉积(PLD)半导体材料结构特性的研究[D];山东师范大学;2006年
5 张红艳;同轴电极介质阻挡大气压辉光放电数值模拟[D];大连理工大学;2006年
6 陆建萍;电磁波在等离子体中的吸收衰减[D];北京理工大学;2004年
7 奚衍斌;Alfvén波的电子回旋动力学理论研究[D];大连理工大学;2004年
8 朱希睿;等离子体状态方程的Hartree-Fock-Slater自洽场计算[D];中国工程物理研究院;2005年
9 许士才;β-FeSi_2半导体薄膜的制备及性能的研究[D];山东师范大学;2011年
10 张磊;等离子体中几类声孤波特性的研究[D];西北师范大学;2005年
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