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《北京印刷学院学报》 2003年04期
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射频等离子体自偏压及其对聚合成膜的影响

庞华  葛袁静  张跃飞  张广秋  
【摘要】:通过实验分析了射频等离子体自偏压的产生及与电子密度、电子温度的关系和对聚合成膜质量的影响并探讨了其机制,指出产生自偏压可明显改善等离子体聚合成膜质量,这是由于自偏压提高了等离子体中电子温度和电子密度的结果。在直接利用等离子体进行聚合反应制备薄膜时,应根据装置条件选择合适的自偏压值。

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