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《表面技术》 1997年01期
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多种材料上金刚石膜的成核和生长研究

邱东江  石成儒  曾耀武  郝天亮  庞国锋  
【摘要】:采用改进的热丝化学气相沉积(AHFCVD)装置,在四类六种不同性质衬底材料(W、Mo、Cu、Si、SiO_2、Al_2O_3)上研究了金刚石膜成核与生长特性。研究了基片材料特性(如材料的结晶特性、晶格常数、热膨胀系数、化学性质等)、沉积条件及基片预处理对金刚石膜成核与生长特性的影响。实验结果表明,在六种不同性质的材料上都能生长多晶金刚石膜,与是否形成碳化物中间层无关。反应气压、衬底温度和CH_4/H_2比例对其形貌、质量、成核密度的影响趋势是一致的,但也有它们各自的特点。对提高金刚石膜的质量及膜与基片的结合强度提出了一些改进措施。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王必本,王万录,廖克俊,肖金龙;衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究进展[J];材料导报;2000年04期
2 王天旭,蒙继龙,文命清;化学气相沉积金刚石薄膜衬底的研究进展[J];金属热处理;2002年09期
3 王爱琴,王必本,党纯;衬底表面预处理增强金刚石薄膜成核的研究进展[J];平原大学学报;2001年02期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 高巧君,林增栋;在强碳化物形成元素衬底上生长金刚石薄膜的物理机制探索[J];物理学报;1992年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 何贤昶,张志明,沈荷生,李戈扬;钨和钽丝碳化后的结构变化及其对金刚石成膜质量的影响[J];上海交通大学学报;1995年05期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 林增栋;印红羽;彭晓芙;;钎焊单层金刚石工具的工艺机理[A];第五届海峡两岸粉末冶金技术研讨会论文集[C];2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 程宇航,吴一平,陈建国,乔学亮;类金刚石(DLC)膜的制备技术概况[J];材料导报;1996年02期
2 苏革,闻立时,成会明;金钢石薄膜与基材之间过渡层技术的研究[J];材料科学与工艺;1998年04期
3 唐壁玉,靳九成,陈宗璋;CVD金刚石成核的最新研究[J];材料开发与应用;1998年06期
4 匡同春,周克崧,代明江,王德政,刘正义;金刚石膜-硬质合金基体横截面组织的金相研究[J];功能材料;1998年06期
5 杨国伟;低压气相生长金刚石薄膜系统中衬底表面凹缺陷成核机制研究[J];高压物理学报;1994年03期
6 姜杰;高性能的类金刚石红外光学薄膜[J];红外技术;1996年04期
7 黄树涛,姚英学,袁哲俊;不同基体材料金刚石薄膜涂层刀具附着强度的研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2000年02期
8 王胜文,曾效舒,徐才录,梁吉,魏秉庆,吴德海;在以Cu/Re镀膜为过渡层的铁衬底上沉积金刚石膜[J];人工晶体学报;1999年03期
9 王万录,廖克俊,方亮,王必本,冯斌;负衬底偏压热灯丝CVD金刚石膜成核的研究[J];人工晶体学报;1999年01期
10 王丽军,王小平,李广庭;金刚石薄膜衬底表面不同预处理对薄膜表面形貌的影响[J];微细加工技术;1998年02期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 熊礼威;汪建华;满卫东;;MPECVD法在抛光石英玻璃上沉积金刚石薄膜[J];辽宁石油化工大学学报;2006年04期
2 方莉俐;CVD金刚石薄膜基体材料的选择[J];金刚石与磨料磨具工程;2004年03期
3 王传新,汪建华,马志斌,满卫东,王升高,康志成;钢基渗铝过渡层上沉积金刚石薄膜的研究[J];金属热处理;2003年09期
4 方莉俐;CVD金刚石薄膜涂层衬底预处理方法[J];人工晶体学报;2004年06期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 肖金龙;CVD法生长碳纳米薄膜的研究[D];重庆大学;2002年
2 程春晓;柔性衬底上金刚石薄膜的制备及其附着性能研究[D];郑州大学;2005年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 高巧君;;原子探针场离子显微镜技术[J];物理实验;1989年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 廖克俊,王万录;直流等离子体CVD法合成的金刚石膜的断裂强度研究[J];物理学报;1994年09期
2 刘敬明,唐伟忠,吕反修;高质量CVD金刚石膜的氧化损伤[J];人工晶体学报;2001年02期
3 梁继然,常明,潘鹏;热丝CVD法制备金刚石膜[J];天津理工学院学报;2005年01期
4 于三,金曾孙,吕宪义,邹广田;金刚石膜的生长特性及界面结构研究[J];科学通报;1991年03期
5 庞国锋,石成儒,韩惠雯;低压等离子体结合热解法制备金刚石膜[J];科技通报;1995年01期
6 邱东江,石成儒,曾耀武,郝天亮,庞国锋;多种材料上金刚石膜的成核和生长研究[J];表面技术;1997年01期
7 李哲奎;金刚石膜的拉曼光谱研究[J];延边大学学报(自然科学版);2000年04期
8 孔春阳,王万录,廖克俊,马勇,王蜀霞,方亮;金刚石膜磁阻效应[J];重庆大学学报(自然科学版);2001年04期
9 戚学贵,陈则韶,王冠中,廖源;C-H-O和C-H-N体系生长金刚石膜的气相化学模拟[J];无机材料学报;2004年02期
10 杨胶溪,李成明,陈广超,吕反修,唐伟忠,宋建华,佟玉梅;直流电弧等离子体喷射化学气相沉积高质量金刚石膜残余应力分布的拉曼谱分析(英文)[J];人工晶体学报;2004年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李春燕;金曾孙;吕宪义;;乙醇对金刚石膜生长特性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
2 刘凤艳;刘宇星;刘敏蔷;侯碧辉;;负偏压增强金刚石膜与衬底结合强度的理论研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
3 李明吉;吕宪义;孙宝茹;金曾孙;;氮气流量对金刚石膜生长的影响研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
4 王向东;;微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜的研究[A];中国科学技术协会首届青年学术年会论文集(工科分册·上册)[C];1992年
5 刘敬明;家建华;张恒大;蒋政;唐伟忠;吕反修;;CVD金刚石自支撑膜的高温氧化[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
6 刘存业;李建;陈志谦;王跃;;CVD金刚石膜X-射线衍射分析[A];第八届全国X射线衍射学术会议论文集[C];2003年
7 翁俊;汪建华;熊礼威;满卫东;;新型MPCVD装置制备大面积CVD金刚石膜的研究[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
8 马国欣;向鹏;邱胜宝;邬纪泽;;CVD金刚石膜制备技术及应用进展[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
9 邱万奇;曾艳祥;贺礼贤;刘仲武;曾德长;钟喜春;余红雅;;铜基镶嵌结构界面金刚石涂层及其膜/基结合力的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
10 韩毅松;刘尔凯;玄真武;魏丽娟;;CVD金刚石膜在不同基体上焊接应力的研究[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(上册)[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 陈丹;瑞典科学家合成金刚石膜[N];科技日报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年
2 李春燕;掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究[D];吉林大学;2006年
3 梁兴勃;硅基纳米金刚石膜生长及其发光器件[D];浙江大学;2008年
4 王启亮;CVD曲面金刚石膜和单晶金刚石的制备及性质研究[D];吉林大学;2012年
5 李明吉;大尺寸高质量金刚石厚膜制备及氮掺杂对金刚石膜生长的影响研究[D];吉林大学;2006年
6 徐锋;纳米金刚石薄膜的制备机理及其机械性能研究[D];南京航空航天大学;2007年
7 汪磊;等离子体薄膜表面制造中的偏压效应研究[D];中国科学技术大学;2008年
8 于琦;纳米ZnO/金刚石复合结构的制备与性质的研究[D];吉林大学;2013年
9 陈荣发;光学级金刚石厚膜应用于红外窗口的关键技术研究[D];南京航空航天大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘鹏飞;微波等离子体CVD法工艺参数对金刚石薄膜质量的影响[D];武汉工程大学;2012年
2 胡双;DC-PCVD法硼掺杂金刚石膜的制备及其生长特性研究[D];吉林大学;2012年
3 杜康;MPCVD金刚石膜的制备及其应用的研究[D];广州大学;2010年
4 侯雪;氮气对DC-PCVD法制备金刚石膜的影响及金刚石膜的生长特性研究[D];吉林大学;2012年
5 封全娇;掺硼CVD金刚石膜的制备工艺及性能研究[D];吉林大学;2013年
6 刘军伟;沉积条件对CVD金刚石膜生长及其掺杂影响的研究[D];吉林大学;2011年
7 翟秀华;石英衬底上硼掺杂CVD金刚石膜的生长及特性研究[D];吉林大学;2013年
8 齐海东;直流热阴极PCVD方法制备金刚石膜及其微结构研究[D];吉林大学;2007年
9 李晨;金刚石膜的应力研究[D];长春理工大学;2009年
10 孙宝茹;大面积金刚石厚膜的制备[D];吉林大学;2005年
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