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《大功率变流技术》 2010年03期
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YAG激光切割单晶硅的工艺研究

朱为为  
【摘要】:通过实验研究了YAG激光切割单晶硅的工艺,分析了激光功率、切割速度、辅助气体以及焦点位置对最终切割质量的影响,并对存在的问题提出了改进的建议及方法,为实际应用中参数设置和工艺改进提供了参考,使激光切割工序取得良好的效果。
【作者单位】株洲南车时代电气股份有限公司;
【分类号】:TN249

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前3条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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8 侯志坚;环形金刚石线锯丝制造技术及锯切实验研究[D];山东大学;2008年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 孟庆轩;气熔比法铝合金薄板激光切割试验及数学模拟[D];大连理工大学;2010年
2 张卓贤;中厚板氧化助熔激光切割辅助气体流场分析[D];上海交通大学;2012年
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6 丁俊勇;基于激光切割的虚拟制造系统的研究[D];江苏大学;2003年
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