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6英寸晶闸管的研究开发与特性控制

刘国友  黄建伟  舒丽辉  李世平  邹冰艳  王大江  
【摘要】:基于5英寸晶闸管设计与工艺制造技术,通过优化芯片参数,包括扩散杂质分布、光刻版设计、台面终端电场强度的控制及芯片封装结构的改进,设计并制造了用于特高压直流输电的,额定电流电压等级为4000A/8000V的6英寸晶闸管。采用电子辐照技术,实现了静态参数与动态特性的有效折衷。成功研制的这种器件具有短路电流高、动态特性好等特点,并在6英寸换流阀晶闸管测试试验平台上进行了各种试验和检验。

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