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掺杂对SnO_2薄膜性能影响研究

马黎君  魏京花  
【摘要】:SnO2薄膜具有良好的光学特性,优良的气敏特性越来越受到人们的普遍重视。本文就各种掺杂对SnO2薄膜性能的影响进行了综合评述,并探讨了掺杂作用机理。

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