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《北京航空航天大学学报》 2006年11期
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MOEMS陀螺的谐振腔设计

冯丽爽  刘惠兰  贺斌  王广龙  
【摘要】:微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLAB软件对其重要参数进行了仿真计算及分析.为提高谐振腔清晰度及系统测量精度,优化了谐振腔输入输出镜的技术指标,并在此基础上完成了谐振腔的微加工工艺设计.结果表明:所设计的谐振腔清晰度可以达到346,陀螺极限灵敏度为0.25(°)/h,同时可以有效克服克尔效应、背向散射、偏振等光路噪声的影响.

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘惠兰;张春熹;宋彦泓;林恒;冯丽爽;;一种新型MOEMS陀螺的提出及理论分析[J];中国惯性技术学报;2006年01期
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 白立芬,李庆祥,薛实福,于水;微型光机电系统及其制作[J];电子工业专用设备;2000年03期
2 陈非凡,殷玲,李云龙;微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望[J];微细加工技术;2002年03期
3 刘惠兰;张春熹;宋彦泓;林恒;冯丽爽;;一种新型MOEMS陀螺的提出及理论分析[J];中国惯性技术学报;2006年01期
4 章燕申;;微光学陀螺仪系统结构的研究[J];中国惯性技术学报;2006年05期
5 金世龙;龙兴武;李晓红;袁杰;赵洪常;;激光陀螺新型光路程长控制镜的研制[J];光学学报;2006年04期
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7 刘放,张士邈,陈明;压电陶瓷驱动电源及其在激光陀螺扫模中的应用[J];航空计测技术;2001年02期
8 林恒,刘惠兰,杨德伟,张春熹;微光机电(MOEMS)陀螺的技术及发展[J];中国惯性技术学报;2005年02期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 林恒,刘惠兰,杨德伟,张春熹;微光机电(MOEMS)陀螺的技术及发展[J];中国惯性技术学报;2005年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 陈非凡,殷玲;微型可编程相位光栅结构设计及有限元分析[J];仪器仪表学报;2001年S1期
2 陈非凡,李云龙,殷玲,乔力争;基于MOEMS的微型可编程相位光栅原理性实验研究[J];仪器仪表学报;2001年S1期
3 陈非凡,李云龙,殷玲;微型可编程相位光栅的理论特性研究[J];仪器仪表学报;2002年01期
4 肖文;李瑞;刘德文;伊小素;;光纤读出的微光机电振动传感器[J];北京航空航天大学学报;2006年11期
5 冯丽爽;刘惠兰;贺斌;王广龙;;MOEMS陀螺的谐振腔设计[J];北京航空航天大学学报;2006年11期
6 周易;纪引虎;;微光机电系统制造工艺综述[J];航空精密制造技术;2008年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 张亚萍;范志刚;;基于MOEMS的光学校正[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
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