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《北京工业大学学报》 2007年07期
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ZnO紫外光电导型探测器的制备与研究

冯士维  李瑛  孙静莹  谢雪松  杨集  张跃宗  卢毅成  
【摘要】:通过在MOCVD方法生长的ZnO薄膜上沉积Al/Au叉指状电极制得ZnO紫外光电导型探测器,对该探测器的欧姆接触特性、光电响应特性以及光谱响应特性进行了测试研究,并根据AES、XPS分析结果对测试结果进行了理论分析.结果表明,即使在未进行合金工艺的情况下,非合金Al/ZnO金属体系与n型ZnO也可以形成良好的欧姆接触,正向偏压下,探测器的暗电流与光电流随外加偏压线性增加;探测器对紫外光潜具有明显的响应,其响应截止波长为368nm.XPS分析表明,在ZnO薄膜表面存在着一定的O空位和Zn间隙,非化学计量的O与Zn之比对器件的响应时间有影响.

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张祥涛;吴起白;张海燕;魏爱香;刘俊;;一维纳米结构氧化锌的水热法制备及紫外光敏特性研究[J];材料导报;2009年22期
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 石彦强;4H-SiC PiN结同位素电池的研究[D];西安电子科技大学;2011年
2 李林;水浴法制备一维ZnO纳米材料及其性能研究[D];西北大学;2009年
3 何俊刚;ZnO光电导纳米材料及其半导体性质研究[D];广州大学;2010年
4 王玉辉;一维ZnO纳米棒分级结构阵列的制备及光电性能[D];华东理工大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 李瑛;冯士维;杨集;张跃宗;谢雪松;吕长志;卢毅成;;ZnO单晶薄膜光电响应特性[J];半导体学报;2006年01期
2 叶志镇,张银珠,陈汉鸿,何乐年,邹璐,黄靖云,吕建国;ZnO光电导紫外探测器的制备和特性研究[J];电子学报;2003年11期
3 杨晓天,刘博阳,马艳,赵佰军,张源涛,杨天鹏,杨洪军,李万程,刘大力,杜国同;ZnO基紫外探测器的制作与研究[J];发光学报;2004年02期
4 刘榴娣,倪国强,钟生东,王毅;紫外线的应用、探测及其新发展[J];光学技术;1998年02期
5 高国龙;固态紫外光电探测器正在寻求合适的市场份额[J];红外;2003年09期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李琳;季振国;张亚红;韩伟智;;氧化锌薄膜紫外光电导机理研究[J];半导体光电;2006年01期
2 谢雪松;吕长志;张小玲;李志国;冯士维;;GaN基p-i-n结构紫外光探测器[J];半导体光电;2007年01期
3 朱丽红;许海军;姚志涛;李新建;;ZnO/Si纳米孔柱阵列的真空蒸镀及其光致发光特性[J];半导体光电;2008年01期
4 孙剑;白亦真;谷建峰;刘明;张庆瑜;;基片温度对金刚石上沉积ZnO薄膜特性的影响[J];半导体光电;2008年06期
5 王怡;江伟;邢光建;武光明;李东临;;TiO_2/ZnO薄膜紫外探测器的光电特性[J];半导体光电;2009年04期
6 谌夏;方亮;吴芳;阮海波;魏文猴;黄秋柳;;透明导电ZnO:Sn薄膜光学和电学性能的研究进展[J];半导体光电;2012年01期
7 唐平;廖雷;蒋坤朋;余卫平;覃爱苗;;基于可见光响应的纳米硒半导体器件[J];微纳电子技术;2012年01期
8 郭俊福;谢家纯;段理;何广宏;林碧霞;傅竹西;;Au/n-ZnO/p-Si结构的紫外增强型光电三极管的研制(英文)[J];半导体学报;2006年01期
9 李瑛;冯士维;杨集;张跃宗;谢雪松;吕长志;卢毅成;;ZnO单晶薄膜光电响应特性[J];半导体学报;2006年01期
10 张源涛;马艳;张宝林;杜国同;;氢化对ZnO发光性质的影响[J];半导体学报;2008年03期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 郝瑞亭;刘焕林;杨宇;;掺杂ZnO薄膜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
2 方庆清;汪金芝;焦永芳;李锐;;Co含量对Zn_(0.6)Co_xFe_(2.4-x)O_4结构与磁性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
3 陈宇晖;姜建华;黄月霞;朱源泰;韦莉;;溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜及其性能研究[A];上海市化学化工学会2010年度学术年会论文集[C];2010年
4 江保锋;陈晓航;詹华瀚;周颖慧;王惠琼;李书平;康俊勇;;不同单体在ZnO(0001)-Zn极性面上生长的机制[A];第十二届全国MOCVD学术会议论文集[C];2012年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟泽;ZnO和AlN薄膜的MOCVD生长及其性质研究[D];中国科学技术大学;2010年
2 杨承;日盲型紫外探测和直升机着舰光电助降技术的研究[D];电子科技大学;2010年
3 周小芳;一些简单氧化物半导体薄膜的LIV效应及其输运性质研究[D];昆明理工大学;2010年
4 赵旺;MOCVD法制备氧化锌发光器件及薄膜晶体管的研究[D];吉林大学;2011年
5 任树洋;强磁场对真空蒸发薄膜生长的影响研究[D];上海大学;2011年
6 向嵘;氧化锌基紫外光电薄膜及器件的技术研究[D];长春理工大学;2011年
7 李莹滢;一维半导体纳米材料制备、性能及辐射探测器件研究[D];南京航空航天大学;2009年
8 刘洁;氧化锌单晶及激光辐照氧化锌单晶的光谱学研究[D];北京工业大学;2011年
9 尹红伟;非视线偏振紫外大气传输特性研究[D];国防科学技术大学;2011年
10 赵涧泽;MOCVD生长Sb掺杂ZnO薄膜的基本特性及ZnO同质结发光器件研究[D];大连理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王铁柱;基于硅基波导声光移频器理论与技术的研究[D];长春理工大学;2010年
2 张兴来;ZnO薄膜的制备和紫外探测器的研究[D];长春理工大学;2010年
3 单海燕;ZnO薄膜的水溶液法制备及Li~+、柠檬酸钠对ZnO生长的影响[D];大连理工大学;2010年
4 翟纪伟;氧化亚铜粉末、薄膜的制备及其光催化性能研究[D];中国海洋大学;2010年
5 赵兴亮;Mn、Co、Al掺杂SiC薄膜制备及其光敏性质研究[D];天津理工大学;2010年
6 李勇;A1掺杂ZnO薄膜的制备及激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
7 王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
8 云广平;不锈钢基Cu_2O/TiO_2膜的制备及光催化性能研究[D];西安电子科技大学;2011年
9 王勇淮;极化效应对AlGaN/GaN异质结pin光探测器的影响[D];西安电子科技大学;2011年
10 马向丽;ZnO薄膜及其光电器件的室温制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘芳,张玉明,张义门,郭辉;离子注入制备n型SiC欧姆接触的工艺研究[J];半导体技术;2005年04期
2 陈正才;诸葛兰剑;吴雪梅;;过渡金属掺杂ZnO形成稀磁半导体的研究进展[J];微纳电子技术;2007年01期
3 张琳丽,郭常新,陈建刚,胡俊涛;水浴法制备形貌可控的一维ZnO纳米和微米棒[J];半导体学报;2005年11期
4 张琦锋;戎懿;陈贤祥;张耿民;张兆祥;薛增泉;陈长琦;吴锦雷;;ZnO纳米线的气相沉积制备及场发射特性[J];半导体学报;2006年07期
5 董鑫;赵旺;张源涛;张宝林;李香萍;杜国同;;MgZnO/ZnO p-n异质结的制备与特性[J];半导体学报;2008年07期
6 赵懿琨;连洁;张飒飒;王公堂;宫文栎;于元勋;卜刚;;ZnO基紫外探测器的研究进展[J];材料导报;2006年01期
7 李艳霞;范希梅;周祚万;;氧化锌低维结构材料场发射性能研究进展[J];材料导报;2007年03期
8 刘云燕;袁玉珍;李洁;高绪团;;ZnO基紫外光电探测器的研究进展[J];材料导报;2007年10期
9 龚晓丹;吴起白;黄拿灿;任山;;气-固反应法合成准一维纳米结构材料的研究[J];材料导报;2007年S1期
10 张俊;马向丽;王钰萍;吕建国;;ZnMgO基紫外探测器的研究进展及分析[J];材料导报;2010年03期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 段理;ZnO薄膜的光电性质研究[D];中国科学技术大学;2006年
2 张永胜;氧化物半导体纳米结构制备及其电子场发射特性研究[D];华东师范大学;2006年
3 郭辉;SiC器件欧姆接触的理论和实验研究[D];西安电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 熊华波;ZnO场发射性能研究[D];电子科技大学;2005年
2 杨帆;ZnO一维纳米结构的制备及场发射性能的研究[D];浙江大学;2006年
3 代红丽;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜的工艺优化及其发光性能研究[D];西北大学;2006年
4 王强;GTAF探测器屏蔽体系统的MCNP模拟计算设计[D];兰州大学;2007年
5 李向龙;D-D中子发生器防护的MCNP模拟[D];东北师范大学;2007年
6 徐迪;掺铝氧化锌薄膜及纳米棒阵列的制备与表征[D];中南大学;2008年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 郑爽;李春萍;;一维纳米氧化锌的制备及光学性质的研究进展[J];材料导报;2010年S2期
2 郭岚;徐鹏;钟己未;万益群;傅敏恭;;直接沉淀法制备异形氧化锌微晶及其表征[J];材料导报;2012年08期
3 郭岚;谢冰;鄢爱平;徐鹏;;微波合成网络状纳米氧化锌[J];南昌大学学报(理科版);2011年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 李宏宇;水热法制备形貌可控的氧化锌纳米结构阵列的研究[D];中国地质大学(北京);2011年
2 刘明;水热法制备过渡金属掺杂ZnO及其光学性质研究[D];西北大学;2011年
3 魏晴;3d过渡金属掺杂ZnO纳米线的制备及磁、光性质研究[D];西北大学;2011年
4 李世帅;本征及掺杂氧化锌的制备和光电性质研究[D];济南大学;2011年
5 杨乐娇;微纳米花形ZnO的水浴法制备及其光学性能研究[D];中国海洋大学;2011年
6 程芝;脲醛树脂-Mg,Al,Zn配合物热解制备纳米氧化物研究[D];西北大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
2 徐伟中,叶志镇,周婷,赵炳辉,朱丽萍,黄靖云;MOCVD法以NO气体为掺杂源生长p型ZnO薄膜[J];半导体学报;2005年01期
3 周鹏,王立,方文卿,蒲勇,戴江南,江风益;常压MOCVD生长的ZnO薄膜的电学性能[J];半导体学报;2005年03期
4 朱顺明,叶建东,顾书林,刘松民,郑有炓,张荣,施毅;Ga掺杂ZnO薄膜的MOCVD生长及其特性[J];半导体学报;2005年08期
5 刘榴娣,倪国强,钟生东,王毅;紫外线的应用、探测及其新发展[J];光学技术;1998年02期
6 高国龙;固态紫外光电探测器正在寻求合适的市场份额[J];红外;2003年09期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱顺明,叶建东,顾书林,刘松民,郑有炓,张荣,施毅;Ga掺杂ZnO薄膜的MOCVD生长及其特性[J];半导体学报;2005年08期
2 马晋毅;无铋氧化锌压敏电阻的研究[J];压电与声光;2000年01期
3 李成斌,徐至展,贾天卿,冯东海,孙海轶,李晓溪,徐世珍;氧化锌纳米颗粒缺陷能级发光特性研究[J];液晶与显示;2004年06期
4 王东辉;商世广;杜慧敏;;纳米ZnO的可控生长及光致发光性能[J];西安邮电学院学报;2011年03期
5 杨利萍,肖群;氧化锌造粒设备温控与点火装置国产化[J];电瓷避雷器;1995年02期
6 杨小天;马仙梅;朱慧超;高文涛;金虎;齐晓薇;高博;董秀茹;付国柱;荆海;王超;常遇春;杜国同;曹健林;;氧化锌基薄膜晶体管制备与研究(英文)[J];电子器件;2008年01期
7 ;台湾大学研制出氧化锌白光LED[J];激光与光电子学进展;2009年12期
8 李玉国;卓博士;张月甫;张敬尧;崔传文;杨爱春;;热氧化法制备ZnO纳米棒及其结构表征[J];半导体光电;2010年01期
9 汤海鹏,冯嘉猷,范玉殿,李恒德;ICB方法外延CdTe单晶薄膜[J];真空科学与技术;1991年02期
10 陈湘渝,余承杰,何峰;低电压氧化锌压敏电阻器[J];压电与声光;1997年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张琦锋;孙晖;潘光虎;张俊艳;刘惟敏;薛增泉;吴锦雷;;一维纳米结构氧化锌材料的气相沉积制备及生长特性研究[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
2 凌晨;骞伟中;魏飞;;氧化锌纳米球壳的制备研究[A];第一届全国化学工程与生物化工年会论文摘要集(上)[C];2004年
3 刘斌;马瑞新;邵伟;高贵华;;氧化锌铝溅射靶材及其薄膜的制备[A];冶金研究中心2005年“冶金工程科学论坛”论文集[C];2005年
4 张凌云;杨玉林;范瑞清;;氮掺杂氧化锌的制备及其染料敏化太阳能电池的性能研究[A];中国化学会第27届学术年会第10分会场摘要集[C];2010年
5 杨合情;李丽;张丽惠;王新悦;马军虎;;不同微结构氧化锌、硫化锌和硒化锌的可控合成及其光催化性能[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
6 张伟民;王文广;周文华;张春秀;蒲嘉陵;;增感染料对氧化锌成像体系的光谱增感研究[A];2000年非银盐信息记录材料学术报告会论文集[C];2000年
7 毋伟 ;蔡意文 ;陈建峰 ;谢京芳;;表面改性方式对纳米氧化锌紫外吸收性能影响研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
8 张承乾;陶绪堂;蒋民华;;氧化锌体单晶的助熔剂法生长研究初探[A];第14届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2006年
9 王荣瑶;吴晓春;武鹏飞;汪力;邹炳锁;徐积仁;;氧化锌复合纳米微粒的发光特性研究[A];第三届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];1997年
10 章定恒;刘金凤;岳爽;何静;王连英;;层状双金属氢氧化物热分解法制备一维ZnO纳米材料[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 晓荪;蓝宝石衬底氧化锌二极管室温电致发光技术通过验收[N];吉林日报;2006年
2 杨晓婵;日公司开发出氧化锌系靶材[N];中国有色金属报;2005年
3 记者 张建平 通讯员 宋玉宁 张现民 李更雷;高邑氧化锌产业“聚变”升级[N];河北经济日报;2010年
4 通讯员 姚旭东唐宏彬;成县利用工业废渣办项目[N];陇南日报;2008年
5 陈均宁;广西冶金研究院 氧化锌收尘技术装置试产成功[N];中国有色金属报;2010年
6 记者  毛黎;钴绿将使电脑即开即用[N];科技日报;2006年
7 姜小毛;做氧化锌行业的领跑者[N];中国化工报;2003年
8 莫胜;江永冶金产业“体内循环”一举两得[N];永州日报;2008年
9 石英;应对原材料大幅涨价 铅铬颜料采取提价对策[N];中国建材报;2006年
10 蔡岩红;青岛又现2000多吨粮食走私案[N];法制日报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 曹强;ZnO基稀磁半导体单晶薄膜的分子束外延生长以及性能研究[D];山东大学;2008年
2 朱东德;低维氧化锌基材料及其在光探测器和太阳能电池中的应用[D];长春理工大学;2010年
3 吴莉莉;纳米氧化锌的制备及其光学性能研究[D];山东大学;2005年
4 董林;ZnO纳米晶的修饰、自组装及光学性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
5 彭亮;基于氧化锌纳米材料的光电气敏性质研究[D];吉林大学;2009年
6 赵艳;激光制备氧化锌纳米材料及其激光辐照效应研究[D];北京工业大学;2008年
7 王春蕾;多金属氧酸盐辅助下水溶液的氧化锌纳米材料的合成、表征及光学性质研究[D];东北师范大学;2008年
8 赵伟;氧化锌、钨酸锌、钨酸铅纳米材料的液相合成、表征和性质研究[D];山东大学;2009年
9 汤会香;ZnO纳米颗粒气敏性能的研究[D];浙江大学;2005年
10 刘英麟;电化学自组装金属氧化物及其复合结构和光电器件的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘景亚;纳米氧化锌均匀沉淀法制备及理论研究[D];中南大学;2004年
2 刘建伟;旋转填料床气液反应技术制备纳米氧化锌工艺研究[D];华北工学院;2002年
3 陶荟春;ZnO薄膜的制备与性质研究[D];东北师范大学;2005年
4 陈兴科;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及发光特性研究[D];郑州大学;2005年
5 丁梦;氧化锌纳米结构的制备、物性及器件研究[D];吉林大学;2009年
6 程春;一维纳米材料的合成和表征[D];华中师范大学;2004年
7 肖康;挂渣保护在锌浸出渣挥发窑中的研究与应用[D];中南大学;2005年
8 徐学武;氧化锌材料制备及荧光特性研究[D];武汉理工大学;2006年
9 王立娜;氧空位对氧化锌光学性质的影响研究[D];燕山大学;2011年
10 王赛;纳米ZnO的制备[D];中南大学;2003年
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