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《北京工业大学学报》 2001年02期
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柔性铰链放大器的设计与加工技术

刘德忠  许意华  费仁元  宇惠平  王波  
【摘要】:为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷,设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器,以满足大行程纳米定位的需要.详细讨论了柔性铰链放大器的工作原理、设计方法和加工技术关键.

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 费仁元,管长乐,李剑锋,刘德忠,潘新文,杨小勇,吴光中;3-PUU并联微操作机器人系统[J];北京工业大学学报;2005年01期
2 梁淑卿;宫百香;荆丹;;柔性压电式微位移机构在精密机床定位中的应用研究[J];长春理工大学学报;2006年02期
3 孙宝玉,刘巨,岳晓峰,王登月,任建岳;一种超精密压电式微位移机构研究[J];哈尔滨工业大学学报;2004年04期
4 万德安,刘春节,汲长志;压电驱动微位移放大机构的分析与实验[J];机床与液压;2005年02期
5 邹翔;李国平;沈杰;韩同鹏;;基于APDL的柔性铰链位移放大机构[J];机电工程;2009年02期
6 孙宝玉,岳晓峰,王登月;压电式微位移补偿机构[J];长春工业大学学报(自然科学版);2004年01期
7 万德安,刘春节,汲长志;压电驱动微型振动平台的仿真分析[J];计算机仿真;2004年10期
8 孙宝玉,林洁琼,王登月,任建岳;压电驱动超精密定位工作台的研究[J];机械设计与研究;2003年02期
9 杨启志,郭宗和,马履中,尹小琴,谢俊;全柔性机构在并联微动机器人中的应用[J];机械设计与研究;2005年05期
10 周志平;王隆太;马志新;;两级对称式柔性铰链位移放大机构的设计与分析[J];机械设计与研究;2006年05期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 柳华;一种新型红外傅里叶光谱仪全柔性动镜系统的仿真设计与分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
2 刘德忠;双指微动操作器开发与研究[D];北京工业大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何彬;微拉伸实验装置的研制及微构件力学特性评价[D];哈尔滨工业大学;2011年
2 潘鹏胜;基于超磁致伸缩的小型超精密尺蠖直线电机的设计及实现研究[D];上海交通大学;2012年
3 袁淑娟;智能材料驱动的护理机器人控制系统的研究[D];南京航空航天大学;2006年
4 丁胜华;超磁致伸缩致动器参数设计及其特性研究[D];山东科技大学;2006年
5 李德选;面向微细作业的微操作器的关键技术研究[D];东南大学;2006年
6 周志平;基于Terfenol材料的大位移微驱动器研究与开发[D];扬州大学;2007年
7 于永坤;高精度小型铣床(关键技术)的研究与开发[D];东华大学;2008年
8 任军;全柔性机构及其在仿蚯蚓移动机器人中的应用研究[D];北方工业大学;2009年
9 宋博;基于机械放大式机构的PZT(微)纳米驱动位移的传感检测与感知研究[D];中国科学技术大学;2009年
10 杨东;双变幅杆V形直线超声电机研究[D];南京航空航天大学;2009年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李蓓;;保偏熔接机结构特点分析研究[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2008年01期
2 曹胜玉,辛洪兵;压电谐波电机单级杠杆式位移放大机构的有限元分析[J];北京工商大学学报(自然科学版);2005年03期
3 魏乐林,戴书华,杨大弘;大型机械平面度激光检测仪及精度分析[J];长春光学精密机械学院学报;1999年02期
4 姚军;软管灌装自动对位系统的研究[J];日用化学工业;2000年03期
5 屈胜利,朱欣志,李明辉;HP5510自动补偿器分辨率分析及提高近一个量级的方法[J];电子工业专用设备;1996年02期
6 蔡军;李玉翔;;激光微熔覆中实时自动对焦控制系统设计[J];仪器仪表用户;2009年06期
7 徐先庆;闫继送;;光开关中光路耦合的设计和调试技术[J];电子质量;2008年05期
8 程卫东 ,董永贵,冯冠平;石英谐振力传感器加载机构理论及实验[J];辽宁工程技术大学学报(自然科学版);2000年02期
9 童凯,任锐,李志全;三维形貌测量中自动调焦系统的设计[J];光电工程;2004年03期
10 梁翠萍;张涛;高岩;乔彦峰;;一种用于经纬仪的实时检焦系统[J];光电工程;2007年12期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 徐杰;弓永军;张增猛;陈巨源;;压电驱动水压换向阀中放大机构的设计[A];中国机械工程学会流体传动与控制分会第六届全国流体传动与控制学术会议论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟俊;宏观尺度的纳米级定位控制技术研究[D];中国科学技术大学;2011年
2 罗红平;纳秒脉宽脉冲电化学微加工机床关键技术研究[D];湖南大学;2009年
3 魏巍;多流体混合微流控制系统的研究[D];哈尔滨工程大学;2011年
4 贾宏光;基于变比模型的压电驱动微位移工作台控制方法研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
5 姜成山;转基因微细作业系统中超微量注射及双目时分立体成像技术的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
6 刘国嵩;压电步进二维精密驱动器理论及实验研究[D];吉林大学;2006年
7 李鸣鸣;大行程纳米定位系统若干关键技术研究[D];上海大学;2007年
8 秦鹏;基于全柔性串接式振动系统的高精度动不平衡测量研究[D];上海交通大学;2007年
9 凤良杰;NSRL-XAFS光束线改造中弧矢聚焦双晶单色器相关技术研究[D];中国科学技术大学;2008年
10 邓习树;步进扫描光刻机模拟隔振试验平台主动减振系统研究[D];中南大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曹自然;大型板类零件孔形位尺寸检测系统[D];长春理工大学;2010年
2 胡磊磊;超精密加工中的刀具补偿驱动平台及熨压机构的研究[D];吉林大学;2011年
3 丁明全;自动对焦技术在舌像采集系统中的应用研究[D];广东工业大学;2011年
4 黄勇;空间三平移超精密定位平台及控制方法研究[D];江西理工大学;2011年
5 王剑华;基于嵌入式Linux的数字自动对焦系统研究[D];华南理工大学;2011年
6 杜文婷;典型柔性铰链和柔顺机构疲劳性能及损伤识别研究[D];华南理工大学;2011年
7 裴景洋;汽车制动缸内壁疵病检测技术研究[D];长春理工大学;2011年
8 厉成元;疲劳传感器标定装置研制及实桥监测系统应用[D];南京航空航天大学;2010年
9 梅阳寒;基于微小电加工的微进给控制策略研究[D];华东交通大学;2009年
10 朱明;适用于微位移机构的弹性铰链特性分析及试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 沈为民,时善进;紧凑型空间调制傅里叶变换光谱仪[J];半导体光电;2001年06期
2 谢顺坤;当代多芯片组装技术[J];半导体光电;1996年03期
3 荣伟彬,曲东升,孙立宁;基于压电陶瓷驱动的微操作手研究现状[J];微纳电子技术;2003年Z1期
4 高建忠;赵玉龙;蒋庄德;杨静;;负载刚度对电热微执行器输出性能的影响分析[J];半导体学报;2006年01期
5 周文闻;何广平;;平面全柔性并联机构柔性铰链的优化分析[J];北方工业大学学报;2007年01期
6 左爱斌,李文博,彭月祥,张玲;提高傅里叶变换光谱仪分辨率的一种方法[J];北方交通大学学报;2003年03期
7 许意华,刘德忠,费仁元,潘新文;3-PTT并联微操作机器人机构误差分析[J];北京工业大学学报;2002年02期
8 于靖军,毕树生,宗光华,赵玮;面向生物工程的微操作机器人机构型综合研究[J];北京航空航天大学学报;2001年03期
9 于靖军,毕树生,宗光华;空间全柔性机构位置分析的刚度矩阵法[J];北京航空航天大学学报;2002年03期
10 毕树生,宗光华;微动操作手的误差分析[J];北京航空航天大学学报;1998年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 叶云岳;;直线电机技术的研究发展与应用综述[A];电气技术发展综述[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 杨兴;磁场与位移感知型超磁致伸缩微位移执行器及其相关技术研究[D];大连理工大学;2002年
2 纪华伟;压电陶瓷驱动的微位移工作台建模与控制技术研究[D];浙江大学;2006年
3 卢礼华;基于滚珠丝杠的大行程纳米定位系统建模和控制技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
4 李欣欣;宏/微两级驱动的大行程高精度二维定位平台基础技术研究[D];浙江大学;2008年
5 张晓峰;大行程超精密工作台关键技术研究[D];天津大学;2008年
6 杨雪锋;压电式生物细胞微操作台建模及控制策略研究[D];中国矿业大学;2009年
7 张栋;压电工作台微定位系统建模与控制技术[D];山东大学;2009年
8 张兆成;新型压电尺蠖精密驱动器柔性机构分析与实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王金刚;基于Visual C++与ANSYS的道岔群分析系统设计研究[D];中南大学;2010年
2 许文秉;超磁致伸缩直线电机的结构优化设计与控制研究[D];上海交通大学;2011年
3 王军超;运动解耦六自由度并联微动机器人关键技术研究[D];燕山大学;2002年
4 翁玲;磁致伸缩致动器控制系统的研制[D];河北工业大学;2003年
5 傅龙珠;稀土超磁致伸缩致动器的设计及实验研究[D];浙江大学;2003年
6 张凯军;超磁致伸缩电—机械转换器研究及应用[D];浙江大学;2003年
7 朱振华;面向精密加工的压电驱动微进给工作台设计与研究[D];东华大学;2005年
8 谭淑英;超精密切削微进给系统的研制[D];天津大学;2005年
9 李世峻;柔性铰链静动力学、疲劳寿命及可靠性分析研究[D];西安电子科技大学;2006年
10 程常运;一种摩擦轮驱动微位移工作平台的研究[D];东华大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 赵群;;失调对迈克尔逊干涉仪非定域干涉条纹的影响[J];合肥师范学院学报;2010年03期
2 周文闻;何广平;;平面全柔性并联机构柔性铰链的优化分析[J];北方工业大学学报;2007年01期
3 范贤会;任军;何广平;;基于柔顺机构的扑翼飞行机器人研究[J];北方工业大学学报;2008年01期
4 邱丽芳;吴国昌;李疆;翁海珊;;全柔性微位移放大机构性能与参数关系[J];北京科技大学学报;2010年03期
5 宾洋;杨东超;陈娜娜;陈恳;;新型压电驱动机电耦合动力学系统分析与建模[J];电机与控制学报;2008年02期
6 张庆新;张红梅;席剑辉;刘洋;;MSMA直线驱动器的数学模型及控制系统[J];辽宁工程技术大学学报;2007年05期
7 施洋,章海军;新型大扫描范围原子力显微镜的研究[J];光电工程;2004年06期
8 戴一帆;段纬然;王贵林;杨帆;;音圈电机驱动的快刀伺服系统建模与性能分析[J];国防科技大学学报;2008年01期
9 魏强;张玉林;于欣蕾;郝慧娟;卢文娟;;扫描隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究[J];光学精密工程;2006年03期
10 宾洋;陈恳;;动态非线性压电驱动机电耦合动力学系统建模及其宽带高精度位移控制系统[J];光学精密工程;2008年05期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 张杰;姚志远;;直线超声电机摩擦磨损测试装置和实验研究[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年
2 徐杰;弓永军;张增猛;陈巨源;;压电驱动水压换向阀中放大机构的设计[A];中国机械工程学会流体传动与控制分会第六届全国流体传动与控制学术会议论文集[C];2010年
3 肖成榕;张建寰;;微位移机构及其控制技术研究现状和发展[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王希花;基于压电陶瓷迟滞非线性建模及控制系统的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 杜娟;高精度电子组装设备中智能材料驱动器的建模与控制研究[D];华南理工大学;2010年
3 陈洁;新型磁致驱动材料的制备和执行器研制[D];上海大学;2011年
4 柳华;一种新型红外傅里叶光谱仪全柔性动镜系统的仿真设计与分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
5 梁宜勇;可变线宽的无掩膜光刻理论与技术研究[D];浙江大学;2005年
6 张庆新;磁控形状记忆合金特性及其执行器应用基础研究[D];沈阳工业大学;2006年
7 刘春节;动力调谐陀螺仪一体式挠性支承[D];同济大学;2006年
8 魏强;纳米定位微位移工作台的控制技术研究[D];山东大学;2006年
9 李鸣鸣;大行程纳米定位系统若干关键技术研究[D];上海大学;2007年
10 刘平安;柔性关节及3-DOF微动平面并联机器人设计与分析[D];北京交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张斌;压电双晶片型微位移放大机构研究[D];河南理工大学;2010年
2 包丽雅;MEMS引信的微装配技术研究[D];沈阳理工大学;2010年
3 杨洪岩;磁控形状记忆合金自传感执行器的信号处理技术研究[D];沈阳工业大学;2011年
4 崔红微;柔性铰链式扭矩加载器的设计与研究[D];大连理工大学;2011年
5 刘祥;微振平台中激振器的设计建模与仿真研究[D];东北林业大学;2011年
6 黄勇;空间三平移超精密定位平台及控制方法研究[D];江西理工大学;2011年
7 肖亚涵;基于压电陶瓷的可调标准光隙装置设计[D];华南理工大学;2011年
8 张薇;多光束激光干涉图案的相移控制方法研究[D];长春理工大学;2011年
9 贺清云;基于ARM的护理服务机器人远程监护控制系统[D];南昌大学;2011年
10 李磊;微动摩擦磨损的试验机研制及试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王纪武,陈恳,李嘉,刘峰;典型柔性铰链精度性能的研究[J];清华大学学报(自然科学版);2001年11期
2 吴鹰飞,周兆英;柔性铰链的设计计算[J];工程力学;2002年06期
3 孙桂静,张鸿海,陈日曜;精密二维扫描工作台的研制[J];中国机械工程;1992年04期
4 高翔,张国雄,李真;一体化三坐标测头的研究[J];天津大学学报(自然科学与工程技术版);2000年04期
5 刘伟;单轴柔性铰链转角刚度的计算机辅助计算[J];光学精密工程;2000年02期
6 王宝峰,李琳;带柔性铰链的Stewart平台特征值的求解[J];振动与冲击;2004年01期
7 王喆垚,朱惠忠,程卫东,董永贵,冯冠平;采用柔性铰链罗伯威尔结构的石英谐振式力传感器[J];清华大学学报(自然科学版);1999年08期
8 郭百巍,汪家道,及开元,陈大融;基于柔性铰链的微操作执行器的设计和分析[J];机械设计与研究;2003年04期
9 吴鹰飞,周兆英;柔性铰链的计算和分析[J];机械设计与研究;2002年03期
10 马记,吴月华,许旻,杜华生,杨杰;基于压电陶瓷驱动的腹腔手术微型机器人关节驱动部件研究[J];机器人;2003年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈贵敏;贾建援;刘小院;勾燕洁;;柔性铰链精度特性研究[A];中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集[C];2004年
2 陈贵敏;贾建援;勾燕洁;;混合型柔性铰链研究[A];中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集[C];2004年
3 余晓芬;魏玉凤;;用有限元分析实现六自由度微动工作台结构的优化设计[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
4 沙巍;陈长征;;基于OptiStruct的次镜组件柔性铰链[A];结构及多学科优化工程应用与理论研讨会’2009(CSMO-2009)论文集[C];2009年
5 于靖军;毕树生;宗光华;;全柔性机构在微操作机器人系统中的应用[A];第十二届全国机构学学术研讨会论文集[C];2000年
6 胡小唐;禹国强;刘安伟;杨勇;;三维一体化超微定位系统的研制[A];第五届全国STM学术会议论文集[C];1998年
7 谭湘强;钟映春;杨宜民;;液体中运动微机器人的设计与实验[A];第二十一届中国控制会议论文集[C];2002年
8 黄则兵;葛文杰;马利娥;;柔性机构的研究现状及其在仿生领域的应用前景[A];第十四届全国机构学学术研讨会暨第二届海峡两岸机构学学术交流会论文集[C];2004年
9 李国平;林君焕;潘晓彬;郑堤;;车削振动的免疫PID控制系统研究[A];第九届全国振动理论及应用学术会议论文摘要集[C];2007年
10 徐杰;弓永军;张增猛;陈巨源;;压电驱动水压换向阀中放大机构的设计[A];中国机械工程学会流体传动与控制分会第六届全国流体传动与控制学术会议论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘建芳;压电步进精密驱动器理论及实验研究[D];吉林大学;2005年
2 王雯静;柔顺机构动力学分析与综合[D];北京工业大学;2009年
3 曹佃生;高精度大行程柔性位移平台技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
4 刘德忠;双指微动操作器开发与研究[D];北京工业大学;2002年
5 黎永前;纳米精度测量与校准系统关键技术研究[D];西北工业大学;2003年
6 张江涛;面向仿人机器人的人工肌肉与关节研究[D];中国科学技术大学;2008年
7 赵宏伟;尺蠖型压电驱动器基础理论与试验研究[D];吉林大学;2006年
8 高彦锟;光电子器件耦合平台仿真与优化软件研究[D];华中科技大学;2009年
9 赵延治;大量程柔性铰并联六维力传感器基础理论与系统研制[D];燕山大学;2009年
10 傅翾;同步辐射Sagittal聚焦双晶单色技术研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张亚超;结合柔性铰链的压电微角度驱动器及其闭环控制研究[D];天津大学;2012年
2 罗维;二自由度柔性铰链连杆机构的设计方法与综合特性研究[D];中北大学;2012年
3 陶惠峰;超精密微位移系统研究[D];浙江大学;2003年
4 刘青;柔性铰链四杆机构变形分析及仿真[D];兰州理工大学;2011年
5 陈沛;基于超磁致伸缩致动器的流量控制阀的设计与研究[D];武汉理工大学;2011年
6 吕召全;多自由度压电式微位移机电系统的研究[D];合肥工业大学;2002年
7 熊本炎;高精度微定位器结构与控制研究[D];西北工业大学;2005年
8 程常运;一种摩擦轮驱动微位移工作平台的研究[D];东华大学;2006年
9 刘登云;基于微位移放大机构的压电叠堆泵的试验研究[D];吉林大学;2007年
10 郑群;基于并联机构的平面3自由度微动工作台的研究[D];合肥工业大学;2007年
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