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《兵工学报》 2010年01期
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电化学加工法制备微细工具电极试验研究

王明环  彭伟  
【摘要】:微细工具电极的获得及工艺过程控制是微细加工的关键。采用电化学方法制备微细探针和微圆柱体工具电极,在分析其成形机理的基础上,对影响微探针和微圆柱体电极的工艺参数,如通电方式、电解液浓度、电源性质、电极运动方式等进行分析。实验与分析的结果表明:采用液面下通电方式、适当浓度的电解液可以制得性能较好的探针;脉冲电源加工能够改善成形后微细电极的表面精度;电极的运动和脉冲电源由于破坏了腐蚀过程中的平衡,制备出的电极呈锥形。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 谢岩甫;刘壮;陈伟;;电化学腐蚀法制备倒锥状微细电极的试验研究[J];电加工与模具;2011年01期
2 汪涛;彭伟;王明环;;微细电解加工微电极成形工艺研究[J];电加工与模具;2012年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 谢岩甫;刘壮;陈伟;;倒锥微细电极的制备及应用研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 谢岩甫;复杂形状微孔的电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 黄燕华,董申,袁光辉,张昭瑞,罗青;微细电极精密车削技术[J];电加工与模具;2003年04期
2 王明环;朱荻;张朝阳;;电化学腐蚀法加工微圆柱体[J];机械工程学报;2006年06期
3 张朝阳;朱荻;王明环;;纳秒脉冲微细电化学加工的理论及试验[J];机械工程学报;2007年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张朝阳;毛卫平;陈飞;;纳米、亚微米的超窄脉宽微细电化学加工[J];微纳电子技术;2009年11期
2 贾宝贤,王振龙,赵万生;用块电极轴向进给法电火花磨削微细轴[J];电加工与模具;2004年03期
3 张昭瑞;黄燕华;张林;袁光辉;朱磊;;实验用多微孔板的电火花加工[J];电加工与模具;2007年S1期
4 谢岩甫;刘壮;陈伟;;微细电解加工技术的概况与展望[J];电加工与模具;2010年06期
5 谢岩甫;刘壮;陈伟;;电化学腐蚀法制备倒锥状微细电极的试验研究[J];电加工与模具;2011年01期
6 林伟;张春林;;新型超窄脉宽脉冲电源的设计与实现[J];电加工与模具;2011年S1期
7 汪涛;彭伟;王明环;;微细电解加工微电极成形工艺研究[J];电加工与模具;2012年01期
8 刘勇;曾永彬;朱荻;黄绍服;王少华;;三维微细电解铣削加工的实时控制与检测[J];光学精密工程;2010年06期
9 刘勇;朱荻;曾永彬;王少华;黄绍服;;微细电解铣削加工模型及实验研究[J];航空学报;2010年09期
10 刘勇;朱荻;曾永彬;黄绍服;余宏兵;;复杂结构的微细电解加工实验研究(英文)[J];Chinese Journal of Aeronautics;2010年05期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 谢岩甫;刘壮;陈伟;;倒锥微细电极的制备及应用研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
2 王明环;朱荻;张朝阳;;利用电解法制备针尖的研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
3 王明环;朱荻;张朝阳;;利用电解法制备针尖的研究[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
4 刘勇;朱荻;曲宁松;曾永彬;黄绍服;余宏兵;;镍基高温合金的微细电解加工工艺研究[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
2 张华;喷射液束电解—激光复合加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2009年
3 胡洋洋;UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 李冬林;模板电解加工群孔基础研究及应用[D];南京航空航天大学;2010年
5 王少华;微细电解线切割加工技术的试验研究与应用[D];南京航空航天大学;2010年
6 刘勇;微细电解铣削加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
7 张朝阳;纳秒脉冲电流微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2006年
8 张霖;数控微细铣削机床系统构建及性能研究[D];南京航空航天大学;2007年
9 王昆;微细电解线切割加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何晓凌;微沟槽车削的刀具尖端磨损及工艺参数研究[D];华南理工大学;2011年
2 李昞晖;电解射流—激光复合加工技术基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
3 衡冲;利用阴极跳跃排液提高微细电解加工精度的试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 丁维育;纯钛微细电解加工基础试验研究[D];南京航空航天大学;2010年
5 谢岩甫;复杂形状微孔的电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
6 陈伟;阴极跳跃冲液的数值模拟与微细电解加工试验[D];南京航空航天大学;2011年
7 赵衍青;微细电火花加工微能脉冲电源模块的研究[D];华东交通大学;2011年
8 戴一通;航空难加工材料精细电解加工机理及应用研究[D];沈阳航空航天大学;2012年
9 曲德峰;微细电解钻孔工艺研究[D];南京航空航天大学;2007年
10 王磊;微细群孔电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 汤儆,毛秉伟,田中群;电化学扫描探针显微镜在表面微/纳米加工的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 张占文,李波,王朝阳,余斌,林波;气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜[J];材料导报;2003年06期
3 田昭武,林华水,孙建军,周勇亮,祖延斌,田中群,罗瑾,林仲华,谢兆雄,胡维玲,胡涌刚,苏文煅;微系统科技的发展及电化学的新应用[J];电化学;2001年01期
4 王建业;电解加工技术的新发展——高频窄脉冲电流电解加工[J];电加工;1998年02期
5 施文轩,张明歧,殷旻,吴志刚;电射流加工工艺研究和发展[J];电加工与模具;2001年01期
6 黄燕华,董申,袁光辉,张昭瑞,罗青;微细电极精密车削技术[J];电加工与模具;2003年04期
7 李嘉珩,马保吉,范植坚;光刻胶掩膜微细电化学加工参数的试验研究[J];电加工与模具;2004年06期
8 王光强;朱荻;曲宁松;;蜂窝状微坑结构的电化学加工研究[J];电加工与模具;2007年02期
9 马晓宇;李勇;吕善进;胡满红;;加工间隙内电解产物对微细电解加工的影响分析[J];电加工与模具;2008年06期
10 刘红普;刘家平;张成光;;脉冲电解加工研究现状及进展[J];装备制造技术;2007年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 陈远龙;张超;王天霁;;电化学加工技术的概况与展望[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 黄海苟;约束刻蚀剂层技术用于砷化镓三维规整细微图形的复制加工[D];厦门大学;2001年
2 陈明;微细螺旋冷却孔电解加工技术研究[D];浙江工业大学;2009年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 赵万生,韦红雨,刘维东,狄士春;应用线电极磨削法的电火花微孔加工[J];电加工;1997年03期
2 李勇,严晓敏,郭,王显军,邹丽芸;微细电火花加工工艺研究[J];电加工;1998年04期
3 黄燕华,董申,袁光辉,张昭瑞,罗青;微细电极精密车削技术[J];电加工与模具;2003年04期
4 雷卫宁,朱荻;微细孔电加工技术[J];航空精密制造技术;2001年03期
5 ;超硬刀具材料的研究进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2001年04期
6 曹国辉,王振龙,迟关心,郭永丰,赵万生;基于单脉冲放电的钨微细电极快速成形方法及其应用研究[J];机械工程学报;2003年07期
7 李小海;王振龙;赵万生;;高频窄脉冲电流微细电解加工[J];机械工程学报;2006年01期
8 张朝阳,朱荻,王明环,曲宁松;超短脉冲电流微细电解加工技术研究[J];中国机械工程;2005年14期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 付伟;张之敬;温楠;;微细工件的高频群脉冲ECLM试验研究[J];微细加工技术;2007年05期
2 张辽远,刘尧;电化学加工微电极的工艺研究[J];兵工学报;2005年01期
3 林伟;张春林;;新型超窄脉宽脉冲电源的设计与实现[J];电加工与模具;2011年S1期
4 陆祖鼎;;苏联出版二本电化学加工专著[J];电加工与模具;1980年03期
5 崔晶;李勇;熊英;;一种高深宽比微细槽的电火花加工工艺[J];北京工业大学学报;2010年03期
6 刘彩琴 ,唐俊英;基于Ansys的电化学加工辅助阴极设计[J];电加工与模具;2002年06期
7 鲍怀谦;徐家文;;基于超纯水电化学加工的扫描直写技术[J];纳米技术与精密工程;2008年04期
8 陈伦军;李刚;赵万生;;微细特种加工的最新研究进展[J];电加工与模具;2006年03期
9 陈淑芬;电化学加工钨钴硬质合金电解液的研究[J];电加工与模具;1995年05期
10 李良福;冷镦模工作型腔的制造工艺[J];模具技术;1999年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 迟恩田;;电加工的现状与发展[A];陕西省机械工程学会特种加工分会第八届学术年会论文集[C];2006年
2 王君;周言敏;李建芳;袁勇;梅高国;;激光在微细加工中应用的探索[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
3 傅军英;张明岐;;深细孔与超深小孔电化学加工技术应用分析[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
4 郭帅;古文才;张永俊;郭钟宁;;微细电极电化学机械复合抛光的试验研究[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
5 赵毅;刘立兵;李明辉;;基于逐层激光诱导化学液相沉积的3D微细加工新技术[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
6 陈远龙;张超;王天霁;;电化学加工技术的概况与展望[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
7 赵万生;康小明;郭常宁;奚学程;张亚欧;裴景玉;韦红雨;顾琳;;特种加工技术的研究进展[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
8 谢岩甫;刘壮;陈伟;;倒锥微细电极的制备及应用研究[A];2010年“航空航天先进制造技术”学术交流论文集[C];2010年
9 赵万生;李文卓;王振龙;;高精度微细电火花加工系统的研制[A];第十届全国特种加工学术会议论文集[C];2003年
10 赵万生;顾琳;康小明;蒋毅;李磊;王丹;段君毅;;从ISEM-XV看特种加工技术的最新进展[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 黄春韶;满足微细加工需求 平面磨床发展趋势明显[N];中国工业报;2007年
2 本报记者 何人民;华工激光进军精密微细加工领域[N];中国工业报;2009年
3 叶甜春;90/65/45纳米半导体工艺——IT产业新的起跑线[N];计算机世界;2003年
4 金通证券 陈泳潮;G金果业绩回暖超跌严重[N];证券时报;2006年
5 唐苏亚;纳米技术研究方兴未艾[N];中国电子报;2002年
6 第一创业证券 陈靖;深圳华强 价值洼地 积极关注[N];上海证券报;2007年
7 记者 孙煜东;积极拓宽渠道 多方促进就业[N];武威日报;2009年
8 本报记者 宦建新 通讯员 单泠;一个项目如何占有全国25%的市场份额?[N];科技日报;2005年
9 苏益;“973计划”核心科学家推销“大企业研发主导制”[N];第一财经日报;2006年
10 记者 江卉、通讯员 汪伟、徐晶;“绿激光显微精密修调机”项目通过鉴定[N];湖北日报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王明环;微细电解加工实验研究[D];南京航空航天大学;2007年
2 鲍怀谦;超纯水微细电解加工的基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
3 巫殷忠;飞秒激光在固体材料上制作微结构的研究[D];天津大学;2008年
4 郭锐;飞秒激光微纳加工系统及功能器件工艺研究[D];中国科学技术大学;2008年
5 彭林法;微/介观尺度下薄板成形建模分析与实验研究[D];上海交通大学;2008年
6 王新林;飞秒激光烧蚀金属材料特性与微零件制备研究[D];华中科技大学;2007年
7 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
8 尉伟;微盘光谐振腔的制作研究[D];中国科学技术大学;2007年
9 庞桂兵;脉冲电化学及电化学机械齿轮光整与修形加工技术研究[D];大连理工大学;2005年
10 朱保国;脉冲电化学微细加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
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1 梁群兰;二氧化硅基光导膜的制备及微细加工[D];西安理工大学;2003年
2 王晓娜;基于激光捕捉技术的微细加工[D];浙江大学;2004年
3 杜泽惠;锆钛酸铅镧铁电薄膜的制备及微细加工[D];西安理工大学;2003年
4 谢岩甫;复杂形状微孔的电解加工试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
5 陶建松;微结构超声复合电加工技术[D];扬州大学;2010年
6 金方进;微细电火花铣削加工电极补偿算法及实验研究[D];上海交通大学;2012年
7 韩桂海;三维微细电解加工技术研究[D];广东工业大学;2005年
8 朱效立;准分子激光微细加工工艺和加工机理研究[D];北京工业大学;2005年
9 曾繁章;微细电解加工装备开发与实验研究[D];广东工业大学;2006年
10 李文博;多功能微机床微细车、铣模块设计及实验研究[D];广东工业大学;2012年
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