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《半导体学报》 2008年03期
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HgCdTe液相外延材料组分分布的红外透射光谱评价技术

顾仁杰  张传杰  杨建荣  陈新强  魏彦峰  
【摘要】:对红外透射光谱法测定HgCdTe液相外延材料纵向组分分布技术进行了深入的研究.红外透射光谱的理论计算采用了王庆学提出的组分分布模型,并考虑了光穿越组分梯度区时产生的干涉效应.通过测量同一样品在不同外延层厚度下的一组红外透射光谱,该方法的有效性得到了实验验证.进一步对组分模型中参数(即外延总厚度、组分互扩散区厚度、材料表面组分和HgCdTe层组分梯度)的拟合方法进行了讨论,并确定了各拟合参数的拟合精度.结果显示,该方法可作为测定HgCdTe液相外延材料组分特性的一种有效的测试评价技术.

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