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《半导体学报》 2007年04期
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基于La_(0.7)Sr_(0.3)FeO_3的微结构乙醇气体传感器的研制

刘丽  张彤  漆奇  陈维友  徐宝琨  
【摘要】:以La0.7Sr0.3FeO3为敏感材料,设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器.基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计.实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵敏度为8.0,功耗为261mW,是同种敏感材料烧结型传感器功耗的2/3,响应时间约为1.5s,恢复时间约为2.5s,是一种功耗低、灵敏度高、稳定性好的微结构乙醇气体传感器.

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