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《半导体学报》 2006年06期
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电子束和X射线光刻制作高分辨率微波带片

王德强  曹磊峰  谢常青  叶甜春  
【摘要】:在硅为衬底材料的自支撑氮化硅薄膜上,采用阴阳图形互换转移技术,先使用电子束直写方法制作成功了最外环为150nm的阳图形微波带片,然后用同步辐射X射线光刻技术复制成功了最外环为150nm的阴图形微波带片,得到可以应用于ICF诊断技术中的微波带片.

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 马杰;曹磊峰;谢常青;吴璇;李海亮;朱效立;刘明;陈宝钦;叶甜春;;带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作[J];光电工程;2009年10期
2 方靖岳;常胜利;秦石乔;张海良;;基于菲涅耳波带片的光通信天线[J];光学学报;2010年01期
3 李盼云;王杰芳;;软X射线显微成像位相型波带片浅析[J];物理与工程;2012年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 柳龙华;X射线显微成像纳米光学元件制作与应用研究[D];中国科学技术大学;2009年
2 陈洁;高分辨率X射线成像技术与应用研究[D];中国科学技术大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 方磊;纳米尺度X射线衍射光学元器件的研究[D];安徽大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 徐向东,洪义麟,付绍军,张允武;X射线波带片的制作及其应用[J];光学技术;1999年02期
2 江少恩,郑志坚,丁永坤,刘忠礼,缪文勇,李文洪,孙可煦;“神光Ⅱ”基频激光首次穿孔实验[J];激光杂志;2001年05期
3 郑志坚,丁永坤,丁耀南,刘忠礼,刘慎业,孙可煦,成金秀,江少恩,祁兰英,张保汉,杨存榜,杨家敏,苏春晓,陈家斌,李文洪,易荣清,唐道源,黄天晅,曹磊峰,温树槐,彭翰生,蒋小华,缪文勇;激光-惯性约束聚变综合诊断系统[J];强激光与粒子束;2003年11期
4 胡勇,黄广宇,陈宝钦,李友;复杂微光刻图形版图设计系统[J];微细加工技术;2002年02期
5 王德强,康晓辉,谢常青,叶甜春;电子束制作高分辨率波带片图形数据研究[J];微细加工技术;2005年02期
6 洪义麟,田扬超,刘刚,付绍军,胡一贯,霍同林,陶晓明,阚娅;LIGA技术制作Fresnel波带片的研究[J];微细加工技术;1999年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 曹磊峰;非相干光全息成像技术与透射光栅谱学[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2002年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈国太;谢常青;胡昕;潘一鸣;朱效立;刘明;吴秀龙;陈军宁;;多能点X射线透射光栅的制作技术[J];微纳电子技术;2010年01期
2 辛将;谢常青;李志超;朱效立;刘明;徐超;陈军宁;;X射线二极管平响应滤片的制作[J];微纳电子技术;2011年01期
3 马杰;曹磊峰;谢常青;吴璇;李海亮;朱效立;刘明;陈宝钦;叶甜春;;带支撑结构的大高宽比硬X射线波带片制作[J];光电工程;2009年10期
4 杨国洪;韦敏习;侯立飞;易涛;李军;刘慎业;;基于X射线衍射仪的X光晶体本征参量的标定[J];光子学报;2012年09期
5 李盼云;王杰芳;;软X射线显微成像位相型波带片浅析[J];物理与工程;2012年04期
6 王传珂;刘慎业;;527nm激光间接驱动聚变潜在可能的实验研究[J];激光与光电子学进展;2008年11期
7 江少恩;丁永坤;缪文勇;刘慎业;郑志坚;张保汉;张继彦;黄天晅;李三伟;陈家斌;蒋小华;易荣清;杨国洪;杨家敏;胡昕;曹柱荣;黄翼翔;;我国激光惯性约束聚变实验研究进展[J];中国科学(G辑:物理学 力学 天文学);2009年11期
8 王江峰;朱海东;李学春;朱健强;;整形激光脉冲与激光探针同步技术[J];中国激光;2008年01期
9 沈强;王峻峰;史铁林;;一种三自由度混联机构复位精度的研究[J];机械科学与技术;2012年03期
10 陆俊峰;杨存榜;丁永坤;陈鸣;阴泽杰;;大型ICF实验物理诊断系统的集中控制设计[J];强激光与粒子束;2006年11期
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 王凯歌;微束斑X射线源的理论与实验研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2002年
2 靳奉涛;中Z元素等离子体开M壳层辐射不透明度的细致谱线模型研究[D];国防科学技术大学;2005年
3 程丽红;X光编码孔径成像理论及实验研究[D];大连理工大学;2006年
4 肖凯;软X射线聚焦波带片研究[D];中国科学技术大学;2006年
5 王俊;陶瓷微反应器的制作以及高温气相催化微反应的研究[D];中国科学技术大学;2008年
6 柳龙华;X射线显微成像纳米光学元件制作与应用研究[D];中国科学技术大学;2009年
7 陈洁;高分辨率X射线成像技术与应用研究[D];中国科学技术大学;2010年
8 祁建敏;磁质子反冲谱仪的研制与实验研究[D];清华大学;2011年
9 刘利锋;等离子体X射线球面弯曲晶体成像关键技术研究[D];重庆大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 余波;惯性约束聚变的中子半影成像诊断系统和非线性重建方法研究[D];中国工程物理研究院;2010年
2 辛将;自支撑X射线光学元件的制作工艺及应用[D];安徽大学;2011年
3 范伟;准随机点阵二值化伽博波带片衍射特性的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 魏来;新型波带板用于激光等离子体X光成像的理论研究[D];中国科学技术大学;2011年
5 杨志文;X光分幅相机结构优化及其增益机理研究[D];重庆大学;2011年
6 沈强;基于并联机构的视觉伺服技术[D];华中科技大学;2011年
7 王传珂;谱学光子筛的理论模拟与实验表征[D];四川大学;2006年
8 王向贤;超短超强激光与物质相互作用X射线辐射实验研究[D];四川大学;2006年
9 侯立飞;多层镜软X射线能谱仪的研制[D];重庆大学;2007年
10 王丽伟;X射线扫描相机仿真与实验表征[D];重庆大学;2009年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谢常青,陈梦真;同步辐射X射线光刻技术研究[J];半导体技术;1996年02期
2 谢常青,叶甜春,陈大鹏,李兵,胥兴才;深亚微米同步辐射x射线光刻模拟[J];半导体情报;2001年06期
3 陈宝钦;赵珉;吴璇;牛洁斌;刘键;任黎明;王琴;朱效立;徐秋霞;谢常青;刘明;;电子束光刻在纳米加工及器件制备中的应用[J];微纳电子技术;2008年12期
4 李海亮;马杰;朱效立;吴坚;谢常青;陈宝钦;刘明;;3333l/mmX射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试[J];微纳电子技术;2010年03期
5 张世恩,童志义;高速发展的光学光刻技术[J];电子工业专用设备;1992年04期
6 聂淼;梅洛勤;张辉;陈宇;;高分辨率软X射线显微成像原理及其应用[J];大学物理;2010年05期
7 纪宪明,沐仁旺,韩良恺;可用作分光元件的二元菲涅耳透镜[J];光电工程;2003年06期
8 陈洁;柳龙华;刘刚;田扬超;;X射线成像波带片及制作(英文)[J];光学精密工程;2007年12期
9 柳龙华;刘刚;熊瑛;黄新龙;陈洁;李文杰;田金萍;田扬超;;大高宽比、高线密度X射线透射光栅的制作[J];光学精密工程;2009年01期
10 徐向东,洪义麟,霍同林,朱向冰,周红军,陶晓明,傅绍军;软X射线透射光栅制作技术[J];光学技术;2001年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 曹磊峰;非相干光全息成像技术与透射光栅谱学[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2002年
2 柳龙华;X射线显微成像纳米光学元件制作与应用研究[D];中国科学技术大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 辛将;自支撑X射线光学元件的制作工艺及应用[D];安徽大学;2011年
2 李海亮;自支撑X射线透射光栅的制备及测试[D];北京工业大学;2010年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 崔焕焕;刘刚;周杰;熊瑛;田扬超;;基于辅助结构实时监测大高宽比纳米结构显影过程的方法研究[J];传感技术学报;2012年05期
2 谢常青;朱效立;牛洁斌;李海亮;刘明;陈宝钦;胡媛;史丽娜;;微纳金属光学结构制备技术及应用[J];光学学报;2011年09期
3 罗建东;周彬;吕文峰;雷耀虎;郭金川;牛憨笨;;大面积高深宽比微结构硅片的热氧化实验研究[J];光电工程;2012年08期
4 李旭;何飞;李达;陈波;;方孔微通道板结构缺陷对成像质量的影响[J];光学学报;2012年10期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 李文杰;纳米CT三维图像处理分析方法及其应用的研究[D];中国科学技术大学;2011年
2 陈洁;高分辨率X射线成像技术与应用研究[D];中国科学技术大学;2010年
3 关勇;基于X射线成像技术研究固体氧化物燃料电池电极三维微结构[D];中国科学技术大学;2012年
4 周杰;大高宽比纳米光学元件制作工艺及应用研究[D];中国科学技术大学;2012年
5 李旭;方孔微通道板极紫外波段成像性能研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 陈海超;基于Micro-CT的骨分析平台设计[D];西安电子科技大学;2011年
2 冯媛;基于力反馈的虚拟膝关节手术系统关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2012年
3 张蒙;基于Micro-CT骨分析软件的设计开发[D];西安电子科技大学;2012年
4 王宝明;Micro-CT系统几何校正算法研究及实现[D];西安电子科技大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 付绍军;洪义麟;陶晓明;;软X射线衍射元件[J];光学机械;1991年01期
2 徐向东,洪义麟,付绍军,张允武;X射线波带片的制作及其应用[J];光学技术;1999年02期
3 李跃林,白文安,陈时胜,徐至展;针孔透射式光栅光谱仪衍射效率的理论模拟[J];光学学报;1989年06期
4 杨家敏,易荣清,马洪良,陈正林,王红斌,孙可煦,温树槐,郑志坚,唐道源,崔明启,黎刚,崔聪悟;透射光栅衍射率的实验标定和数值计算[J];光学学报;1996年11期
5 江少恩,刘忠礼,李楠,郑志坚,唐道源,丁永坤,胡昕;惯性约束聚变靶三维成像研究[J];光学学报;1998年04期
6 江少恩,郑志坚,杨家敏;透射光栅测量的解谱方法[J];核聚变与等离子体物理;2000年02期
7 成金秀,丁耀南,何海恩,姚震宇,胡增文,温天舒;时空分辨透射光栅谱仪及其应用[J];核聚变与等离子体物理;1995年01期
8 成金秀,温天舒,杨存榜,郑志坚,付绍军,洪义麟;激光等离子体时、空、能三维分辨测试系统[J];中国科学(A辑);1998年01期
9 张钧,古培俊;平面孔靶激光注入率的简化物理模型[J];计算物理;1987年02期
10 胡仁宇,郑志坚;激光产生的高温高密度等离子体诊断技术——我院在这一领域工作的进展[J];强激光与粒子束;1990年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王向东,杜秉初,葛璜;电子束曝光机自动套准系统的研究[J];电子学报;1995年08期
2 邱小莎;电子束曝光机电定位控制系统脱机连调初探[J];微细加工技术;1990年01期
3 唐文剑,武丰煜,唐辉,陈建平;DY-5型亚微米电子束曝光机偏转系统[J];电工电能新技术;1996年03期
4 尹明,孙晓军,张玉林;FIR滤波器在电子束曝光机中的应用[J];山东工业大学学报;1998年06期
5 阎剑龙,王理明;0.1微米电子束曝光机成像系统的计算[J];微细加工技术;1999年01期
6 罗正全;亚微米电子束曝光机自动输片控制系统研制[J];微细加工技术;1999年04期
7 张玉林,张玲;基于PC机控制的电子束图形控制器[J];微细加工技术;2001年04期
8 张明,张玉林,王国瑕,赵春民;电子束曝光机扫描场非正交性畸变校正[J];微细加工技术;1995年02期
9 武丰煜,顾文琪;DY-5型亚微米电子束曝光机[J];微细加工技术;1996年01期
10 尹明,张玉林;有限长单位脉冲响应滤波器在电子束电源系统中的应用[J];微细加工技术;1998年02期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 刘洪元;;DB7亚微米电子束曝光机电定位系统印制电路板的设计[A];第七届全国印制电路学术年会论文集[C];2004年
2 陈大鹏;叶甜春;谢常青;李兵;赵玲利;韩敬东;胥兴才;胥俊红;陈昭辉;;氮化硅X射线光刻掩膜[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
3 王大椿;颜一鸣;康念坎;;一种简易方便的软X射线源及其探测装置[A];第7届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(三)[C];1994年
4 苟立;万静;冉均国;;X射线掩模用金刚石膜的性能[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;未来几年的关键技术[N];中国计算机报;2001年
2 穆强 赵艳秋 编译;下一代光刻技术的烦恼[N];中国电子报;2002年
3 蒋;第四十八所加快产业化进程[N];中国电子报;2001年
4 李海泉;21世纪电子工艺装备发展方向[N];中国电子报;2001年
5 赵艳秋 编译;掩模制造业:应对成本攀升挑战[N];中国电子报;2002年
6 梁红兵;设备:半导体产业“晴雨表”[N];中国电子报;2004年
7 北京赛迪新型材料工程咨询中心 韦东滨 李国强 霍振武 刘磊;欧洲半导体:成功源于合作[N];中国电子报;2002年
8 信息产业部电子信息产品管理司 王勃华;半导体设备业:调整·发展[N];中国电子报;2002年
9 微文;半导体设备将成为48所主导产品[N];中国电子报;2002年
10 郭金彬;纳米技术与思维变革[N];福建科技报;2000年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 柳龙华;X射线显微成像纳米光学元件制作与应用研究[D];中国科学技术大学;2009年
2 习锋杰;光栅型曲率传感器的设计与应用研究[D];国防科学技术大学;2008年
3 李岩;飞秒激光微纳加工制备研究[D];吉林大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 陈建辉;可变矩形电子束曝光机图形数据转换软件的实用化研制[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2002年
2 王颖;Ee~-BES-40A光栅扫描电子束曝光机控制系统的改进研究[D];山东大学;2005年
3 王妍;液晶空间光调制器的驱动与光学特性研究[D];华中师范大学;2008年
4 林滢;基于新型图形发生器的数据格式转换软件的研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2003年
5 李海亮;自支撑X射线透射光栅的制备及测试[D];北京工业大学;2010年
6 王蕾;量子时钟同步与量子相干控制[D];陕西师范大学;2010年
7 方磊;纳米尺度X射线衍射光学元器件的研究[D];安徽大学;2012年
8 颜丽华;光学塑料成型技术的微光学元件制作工艺设计[D];南昌航空大学;2011年
9 商涛;以DSP处理器为核心的图形发生器单元图形算法研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2003年
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