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《半导体学报》 2004年07期
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ZnO纳米岛的MOCVD自组装生长

周昕  顾书林  叶建东  顺明  秦锋  刘伟  胡立群  张荣  施毅  郑有炓  
【摘要】:利用低压金属有机源气相沉积 (L P- MOCVD)技术 ,在 (0 0 0 1 )蓝宝石衬底上生长 Zn O纳米岛 ,发现在适当的生长条件下 ,可以生长出规则排列的纳米岛 .实验发现随着生长时间的增加 ,在蓝宝石衬底上沉积的 Zn O晶体颗粒无论是密度还是体积都在增加 ,并出现颗粒之间的交叠现象 .与厚膜材料相比 ,相应的室温 PL 谱上显示出带边蓝移现象 ,随着生长温度的提高将大大增加 Zn O在蓝宝石衬底上成核的困难 .另外 ,所有样品的室温 PL 谱在带边附近均存在一个展宽峰 ,这可能是由表面态或晶体缺陷造成的 .研究表明选择合适的生长时间与生长温度是利用MOCVD生长高质量 Zn O纳米岛的关键因素之一

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 高海永,庄惠照,薛成山,王书运,何建廷,董志华,吴玉新,田德恒;Si基氨化ZnO/Ga_2O_3薄膜制备GaN纳米线[J];半导体学报;2005年05期
2 张希艳;刘全生;柏朝晖;王晓春;米晓云;卢利平;;Mg_xZn_(1x)O的性能及研究进展[J];长春理工大学学报(自然科学版);2008年03期
3 饶军;庄彬平;林丽梅;瞿燕;赖发春;;溶胶-凝胶法在石英基片上制备氧化锌薄膜[J];福建师大福清分校学报;2009年S1期
4 吴颖超;张松海;娄辉;张伟风;;厚度对溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜光学性质的影响[J];河南大学学报(自然科学版);2007年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 梁建;新型结构半导体材料的制备与表征[D];太原理工大学;2005年
2 赵磊;脉冲激光沉积纳米氧化钛薄膜及其光催化性能的研究[D];吉林大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 魏琳;氧化锌纳米阵列的可控生长与性质研究[D];山东大学;2010年
2 杨玲敏;MOCVD法制备ZnO量子点及其性能研究[D];浙江大学;2006年
3 孙磊;ZnO及ZnMgO量子点的可控生长和性能研究[D];浙江大学;2007年
4 郑梅琴;复合材料ZnS/AlPO_4-5的制备及其光催化性能研究[D];福建师范大学;2007年
5 吴亚贞;MOCVD法可控生长磷掺杂ZnO量子点及其性能研究[D];浙江大学;2008年
6 陈玲;用纳米球类光刻技术可控制备ZnO纳米点的研究[D];浙江大学;2008年
7 许小华;纳米多孔氧化铝薄膜制备工艺的研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
8 杨健;Zn_(1-x)Co_xO和Ti_(1-x)Ho_xO_2薄膜的制备及光学性能研究[D];沈阳理工大学;2011年
9 王汉斌;ZAO靶材的制备及性能测试[D];东北大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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3 周勋;左长明;邹泽亚;廖秀英;姬洪;罗木昌;刘挺;赵红;;二次退火对p型GaN的应变影响[J];半导体光电;2008年03期
4 李建丰;孙硕;欧谷平;张福甲;;Liq/ITO结构表面与界面的AFM和XPS研究[J];半导体光电;2008年03期
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6 朱光耀;顾书林;朱顺明;;MOCVD ZnO缓冲层生长与退火研究[J];半导体技术;2008年S1期
7 张臣;半导体量子点材料[J];半导体情报;2000年05期
8 郑明波,曹洁明,唐璐,常欣,邓少高,马贤佳,还大军,陶杰,徐国跃;自组装与纳米技术[J];微纳电子技术;2003年Z1期
9 王瑞华,李怀祥,张华,赵婧;制备纳米发光氧化锌的新方法[J];微纳电子技术;2004年02期
10 杨丽萍;刘锋; 韩焕鹏;;氧化锌材料的研究与进展[J];微纳电子技术;2007年02期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 周细应;徐祖健;刘延辉;徐洲;;磁控共溅射Al-Cu-Fe薄膜表面形貌分析[A];China SAMPE' 2008国际学术研讨会论文集[C];2008年
2 安红娜;杨祖念;肖定全;余萍;刘志强;黄昕;;电化学法制备钼酸盐和钨酸盐薄膜的生长特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(10)[C];2007年
3 李颖;李变晓;邹文俊;董企铭;毛协民;;电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层制备工艺的研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
4 郝斌魁;姜雪宁;张庆瑜;陈充林;;基片温度对反应射频磁控溅射法制备掺杂CeO_2电解质薄膜的影响[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
5 胡明;高晓明;孙嘉奕;翁立军;杨军;伏彦龙;汪晓萍;;低温沉积的Ag和Ag-Cu薄膜的耐原子氧性能[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会2011学术交流会论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 雷洁红;锂氢同位素化合物性质的理论研究及其薄膜的制备[D];中国工程物理研究院;2010年
2 游峰;面向微波应用的铊系高温超导薄膜研究[D];南开大学;2010年
3 李莹滢;一维半导体纳米材料制备、性能及辐射探测器件研究[D];南京航空航天大学;2009年
4 陈建林;Al掺杂与Al-Sc共掺杂ZnO薄膜的制备、微观组织及光电性能[D];湖南大学;2009年
5 赵东旭;氧化锌基材料紫外发光性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
6 张喜田;纳米氧化锌薄膜的结构和光学特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
7 吕树臣;纳米晶ZnO及ZnO:RE材料的制备和发光性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
8 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
9 王学华;TiO_2薄膜的结构、特性及生长模式的研究[D];武汉理工大学;2003年
10 孙铭山;外场作用下强化钢液脱氮、脱氧的研究[D];上海大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李冲;超导材料性质和半导体表面重构及表面合金性质[D];郑州大学;2010年
2 王文杰;氧化钛基光电子器件[D];郑州大学;2010年
3 姜雅丽;La_2Mo_3O_(12)薄膜的制备和光学性能的研究[D];郑州大学;2010年
4 程慧;正交相Y_2Mo_3O_(12)薄膜的制备及光吸收性能研究[D];郑州大学;2010年
5 陈伟绩;玻璃衬底上GaN和InN制备的研究[D];大连理工大学;2010年
6 王涛;镍/铁沉积薄膜微观结构及其特性的分子动力学研究[D];湘潭大学;2010年
7 孟庆蕾;提高有机太阳电池中空穴输出效率方法的研究[D];江南大学;2010年
8 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
9 郭正宇;黑硅材料的制备及特性研究[D];电子科技大学;2010年
10 李艳;PVD技术制备铂基掺铈薄膜及其结构研究[D];昆明理工大学;2009年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王戴木;低温下超薄膜分形生长的Monte-Carlo模拟[J];安庆师范学院学报(自然科学版);2001年03期
2 王亚东,黄靖云,王龙成,叶志镇;半导体量子点的生长机理及特性[J];半导体技术;2000年06期
3 王占国;纳米半导体材料及其纳米器件研究进展[J];半导体技术;2001年03期
4 王占国;纳米半导体材料及其纳米器件研究进展(续)[J];半导体技术;2001年04期
5 王占国;纳米半导体材料及其纳米器件研究进展[J];半导体技术;2001年05期
6 李效白;氮化镓基固态器件的研究进展[J];半导体技术;2001年05期
7 詹娟;直接键合硅片的亲水处理[J];半导体技术;1994年06期
8 李栓庆;GaN基半导体激光器发展动态研究[J];半导体情报;2000年03期
9 王占国;纳米半导体材料的制备技术[J];微纳电子技术;2002年01期
10 王志明,吕振东,封松林,赵谦,李树英,吉秀江,陈宗圭,徐仲英,郑厚植;不同厚度GaAs覆盖层对自组织生长InAs量子点退火效应的影响[J];半导体学报;1997年09期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
2 李明宇;基于薄膜技术的光子晶体理论与器件研究[D];浙江大学;2006年
3 朱兴文;ZnO薄膜制备及其光、电性能研究[D];上海大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 訾振发;纳米ZnO的制备、微结构及其特性的研究[D];安徽大学;2004年
2 孙磊;ZnO及ZnMgO量子点的可控生长和性能研究[D];浙江大学;2007年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 李春华;刘光焕;梁建;王晓敏;许并社;;高质量氮化镓纳米线的结构表征[J];电子显微学报;2006年05期
2 何建廷;宿元斌;杨淑连;卢恒炜;;以ZnO为缓冲层制备硅基氮化镓薄膜[J];功能材料;2010年S1期
3 周世彦;庄志强;余红华;;溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜的晶粒定向生长与光学性质[J];化工新型材料;2009年03期
4 符春林;潘复生;蔡苇;邓小玲;;金属有机化学气相沉积制备铁电薄膜材料研究进展[J];真空;2008年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 张丽霞;张秀霞;王二垒;;纳米氧化锌薄膜发光管的研究[A];中国电子学会真空电子学分会第十八届学术年会论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
2 牟书香;聚酰亚胺表面功能化复合材料的制备及结构与性能研究[D];北京化工大学;2010年
3 郭培涛;长脉冲激光辐照下多孔薄膜激光损伤机制研究[D];武汉理工大学;2011年
4 田付强;聚乙烯基无机纳米复合电介质的陷阱特性与电性能研究[D];北京交通大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 杨卫海;分子印迹聚合物、量子点及其复合微球的制备[D];华中农业大学;2010年
2 赵春雷;氧化锌基紫外探测器的制备与研究[D];吉林建筑工程学院;2010年
3 陈玲;用纳米球类光刻技术可控制备ZnO纳米点的研究[D];浙江大学;2008年
4 李雪;电化学沉积法制备ZnO纳米材料及其光催化性质研究[D];长春理工大学;2010年
5 吴硕;玻璃基(SnO_2:Sb)-(CeO_2-TiO_2)防静电与紫外线截止双功能薄膜的制备及表征[D];武汉理工大学;2010年
6 王洋;图案化氧化锌微纳结构的制备与表征[D];河南大学;2011年
7 洪序达;聚合物前驱体法制备SrBi_2Ta_2O_9铁电陶瓷和薄膜及其性能研究[D];华南理工大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
2 王溪溪;孙金余;任文;黄飞;许磊;;竹纤维与丙烯酸接枝共聚反应的研究[J];长江大学学报(自科版)理工卷;2006年04期
3 李剑光,汪雷,叶志镇,赵炳辉,袁骏;ZnO薄膜的晶体性能的分析[J];真空科学与技术;1999年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周侃;冯东海;李霞;贾天卿;刘建胜;徐至展;;飞秒激光诱导ZnO:Al薄膜周期结构及其光致发光特性[J];光学学报;2011年08期
2 赵君芙;赵丹;梁建;马淑芳;许并社;;采用Al缓冲层在蓝宝石衬底上合成GaN多晶薄膜[J];材料导报;2011年08期
3 董军堂;张富春;张威虎;杨延宁;;ZnO纳米棒水热法制备及其发光特性研究[J];半导体技术;2011年09期
4 彭盛华;张欣;何建军;;氩等离子体诱导量子阱混合技术[J];浙江大学学报(工学版);2011年06期
5 郭亮;赵东旭;张振中;李炳辉;张吉英;申德振;;退火处理对ZnO纳米线紫外探测器性能的改善[J];发光学报;2011年08期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 白云帆;任山;刘欢;许宁生;邓少芝;;Zn薄膜表面的ZnO纳米结构的变化规律研究[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
2 左则文;闾锦;濮林;施毅;韩平;张荣;郑有炓;;氢化纳米硅(nc-Si:H)薄膜的淀积与发光特性[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年
3 顾刚;丁维平;程光煦;章建荣;王敦辉;都有为;;束缚于13X分子筛的C_(60)光致发光研究[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
4 吴嘉达;钟晓霞;孙剑;伍长征;李富铭;;纳米硅颗粒膜的制备及其光致发光特性的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
5 揭建胜;吴气虹;韩新海;于琳;王冠中;方容川;;激光脉冲沉积(PLD)ZnO薄膜光热偏转及光致发光谱的研究[A];第九届全国发光学术会议摘要集[C];2001年
6 李燕;李守义;王建;马保宏;王成伟;;AAO及Co/AAO纳米阵列结构的光致发光特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
7 罗晏;梁宏;马芙蓉;李晓明;陈如意;夏稷;卢志恒;李映雪;张兴;王阳元;;SIMOX材料制作及其结构、电特性与杂质分析[A];中国电子学会第七届学术年会论文集[C];2001年
8 李成斌;贾天卿;徐至展;冯东海;孙海轶;李晓溪;徐世珍;;氧化锌纳米颗粒缺陷能级发光特性研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
9 宋银;谢二庆;张崇宏;周丽宏;李玉红;杨义涛;姚存峰;李炳生;马艺准;缑洁;;Xe~(23+)离子辐照Al_2O_3的光谱特性[A];第五届北京核学会核技术应用学术交流会论文集[C];2008年
10 刘丽;江昕;梁家和;李亚栋;李福利;;多方法制备纳米ZrO2及其光谱特性研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 记者 王海蕴;我国纳米材料研究取得世界性突破[N];中国高新技术产业导报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 孔令民;InAs自组织量子点的光学性质研究[D];厦门大学;2005年
2 薛理辉;稀土氧化物和稀土矿物的谱学研究[D];武汉理工大学;2003年
3 隋晓萌;聚合物—氧化锌纳米复合材料的制备和发光性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
4 葛树勋;介孔SBA-15及其孔内组装联吡啶铕配合物的光致发光性质研究[D];东南大学;2006年
5 周庆涛;半导体纳米线及其阵列可控生长和物性研究[D];合肥工业大学;2008年
6 尤伟;离子注入GaN的光学和电学特性研究[D];兰州大学;2008年
7 魏显起;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及其光电性质研究[D];山东师范大学;2007年
8 曹萌;干法刻蚀和离子注入影响Ⅲ-Ⅴ族半导体量子阱发光特性研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
9 杨义发;脉冲激光沉积ZnO薄膜及其性质研究[D];华中科技大学;2008年
10 于东麒;ZnO纳米结构与器件的制备和研究[D];大连理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邹睿;GaAs/AlGaAs多量子阱材料的辐照效应研究[D];四川大学;2002年
2 李琪;量子限制结构的光学特性研究[D];武汉大学;2005年
3 江小雪;多孔氧化铝模板的制备及其光致发光性能[D];天津大学;2006年
4 龚晓丹;一维纳米结构材料的合成及其光致发光特性的研究[D];广东工业大学;2007年
5 李娟;SiO_2/Si(001)表面Er相关纳米结构及其光致发光性质研究[D];复旦大学;2008年
6 陈希;ZnO薄膜晶体管的制备及CdS_xSe_(1-x)量子点光学特性研究[D];大连理工大学;2009年
7 高菲;PVP-ZnO复合纳米纤维材料的制备及其发光性质研究[D];东北师范大学;2009年
8 娄昊楠;掺Er薄膜材料发光特性研究[D];复旦大学;2009年
9 张秀芳;磁控溅射法制备ZnO薄膜及特性研究[D];哈尔滨理工大学;2009年
10 吴闰生;半导体纳米点镶嵌在不同介电基体中的制备及发光特性的研究[D];江西师范大学;2009年
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