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《半导体学报》 2004年02期
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一种新型CMOS兼容湿度传感器

顾磊  黄庆安  秦明  张中平  严先蔚  
【摘要】:给出了与 CMOS工艺兼容的一种新型梳齿状湿度传感器的结构、工艺流程及其测试结果 .利用 Coventor软件对这种新型结构进行了理论分析 ,对制备出的湿度传感器的性能如灵敏度、滞回特性、重复性、响应时间等进行了测试并讨论 .结果表明文中提出的 CMOS湿度传感器工艺简单、响应时间快、成本低、灵敏度高 ,有望在实际中得到应用 .

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 杨子健;韦波;王敬松;崔千红;杨建红;;基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制[J];半导体技术;2009年04期
2 陈军宁,于峰崎,王阳,柯导明;CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型[J];半导体学报;2005年07期
3 彭韶华,黄庆安,秦明,张中平;CMOS工艺兼容的温湿度传感器[J];半导体学报;2005年07期
4 彭韶华;黄庆安;秦明;张中平;;CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器[J];半导体学报;2006年02期
5 杨子健;韦波;王敬松;崔千红;杨建红;;聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究[J];传感器与微系统;2009年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 贾水英;CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器的研制[D];兰州大学;2011年
2 王鑫;电阻式碳纳米管湿度传感器电学模型及湿敏特性研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
3 顾磊;CMOS工艺兼容电容式相对湿度传感器的设计[D];东南大学;2004年
4 唐祺;采用MEMS技术研制聚酰亚胺湿度传感器[D];黑龙江大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 胡绪洲;半导陶瓷湿度传感器的组分分析[J];半导体学报;1995年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 段景宽;倪新梅;汪根林;江平开;;接枝改性环氧树脂/不饱和聚酯互穿聚合物网络的研究[J];工程塑料应用;2009年07期
2 宋如敏;王恒青;;农产品加工的供热管道在传输过程中的热损耗分析[J];安徽农业科学;2009年02期
3 范伟栋,王渭源;As~+、Si~+双注入GaAs瞬态退火的行为[J];半导体学报;1989年03期
4 胡绪洲,杨爱明,胡晓春;半导陶瓷的红外吸收谱和喇曼散射谱[J];半导体学报;1998年07期
5 胡绪洲,白光启,施淑秋,胡晓春;加湿器的可调湿度测控器电路设计[J];半导体杂志;1997年03期
6 邢修三;材料退化失效的非平衡统计特性[J];北京工业学院学报;1988年01期
7 陈润晶;改进 20kV 及以下套管结构降低对变压器局部放电测量的干扰[J];变压器;1998年09期
8 陆玉龙;杨小俊;周建伟;;烟草包装裂缝大小对保存期影响的处理[J];包装工程;2006年04期
9 何茗;;MATLAB与Visual C++混合编程在计算材料介电性能中的应用[J];重庆邮电大学学报(自然科学版);2010年02期
10 归柯庭,颜生和;用电容探针测量铁磁介质气固流化床的空隙率[J];传感技术学报;1995年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李盛涛;李巍巍;闵道敏;林敏;黄印;;基于TSC的空间介质载流子迁移率测量方法[A];第三届空间材料及其应用技术学术交流会论文集[C];2011年
2 龚海峰;涂亚庆;宋世远;彭烨;;高压电场作用下油中水滴变形动力学模型[A];中国石化协会、润滑脂专业委员会一届二次全体成员大会暨全国第十五届润滑脂技术交流会论文集[C];2009年
3 梁震;胥飞;肖登明;曹菲;;经脉冲电场处理过的牛血清白蛋白的介电谱分析研究[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年
4 王士良;;论电场强度的定义[A];第十三届全国工程电介质学术会议论文集[C];2011年
5 郭文敏;李忠华;;聚乙烯基非线性复合材料的电导特性及机理[A];第十三届全国工程电介质学术会议论文集[C];2011年
6 查俊伟;党智敏;George Chen;;聚酰亚胺纳米复合薄膜表面电位衰减特性[A];第十三届全国工程电介质学术会议论文集[C];2011年
7 宋震煜;于虹;黄庆安;;纳米梁的动态特性研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
8 刘来君;陈秀丽;樊慧庆;;铅酸钾单晶的表面组织及畴结构[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
9 贺万华;向光;彭美富;彭波;晏妮;陈智慧;;基于SDT烘后梗丝含水率CPK值偏低的多元回归分析[A];中国烟草学会2009年年会论文集[C];2009年
10 覃新;钟辉智;雷波;;自然通风条件下铁路旅客车站热舒适标准的研究[A];2007年西南地区暖通空调及热能动力学术年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 郭文敏;聚乙烯/无机填料复合材料非线性电导特性及机理研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
2 王海兰;乔木体水分的测试技术及其监测系统的研究[D];北京林业大学;2011年
3 王立惠;ZnO表界面及其相关特性的第一性原理研究[D];昆明理工大学;2009年
4 高敬伟;多形态聚吡咯的制备与吸波性能研究[D];东华大学;2010年
5 丁世敏;电磁吸波混凝土材料关键技术研究[D];西安电子科技大学;2010年
6 陈小林;高温透波介质h-BN陶瓷介电性能建模研究[D];西安交通大学;2007年
7 陈玉;环氧复合材料快脉冲真空闪络特性研究[D];西安交通大学;2008年
8 严家明;油浸绝缘纸局部放电损伤特性研究[D];重庆大学;2011年
9 查俊伟;耐电晕聚酰亚胺/无机纳米复合薄膜的制备与电性能研究[D];北京化工大学;2010年
10 宋红涛;高性能聚乙烯绝缘材料与半导电屏蔽材料制备及其性能研究[D];北京化工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张磊;沥青混凝土桥面铺装车辙问题的模拟与分析[D];大连理工大学;2010年
2 高桂超;场渗透对n型硅场发射电子能谱的影响[D];中国海洋大学;2010年
3 司昌健;基于DSP的高压容性电力设备介质损耗因数测量[D];哈尔滨理工大学;2010年
4 王洪波;非线性防电晕结构的电—热场耦合仿真分析[D];哈尔滨理工大学;2010年
5 王丽娜;碳纤维混凝土三向受压状态下压敏性研究[D];沈阳建筑大学;2011年
6 李阳;同面多电极感应式冰层厚度传感器及其检测系统的设计与研究[D];太原理工大学;2011年
7 张宗鑫;温度对电声脉冲法聚合物空间电荷测量的影响[D];华北电力大学(北京);2011年
8 陶晶;跨临界CO_2汽车空调系统仿真及性能控制分析[D];吉林大学;2011年
9 陈响亮;抽灌井群热交互性及其布控特性研究[D];吉林大学;2011年
10 戚杰;稀土/AlN/MAS微晶玻璃复合材料结构与性能的研究[D];武汉理工大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 邓俊泳,冯勇建;聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用[J];微纳电子技术;2003年04期
2 顾磊,秦明,黄庆安;一种新型的CMOS集成湿度传感器[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 彭韶华,黄庆安,秦明,张中平;CMOS工艺兼容的温湿度传感器[J];半导体学报;2005年07期
4 彭韶华;黄庆安;秦明;张中平;;CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器[J];半导体学报;2006年02期
5 刘晓为;赵振刚;李拓;王鑫;;Novel capacitance-type humidity sensor based on multi-wall carbon nanotube/SiO_2 composite films[J];半导体学报;2011年03期
6 卢跃东,张靖漓,李标荣,曾勇强;用复阻抗法分析MgCr-2O_4-TiO_2湿敏陶瓷感湿机理[J];传感技术学报;1993年03期
7 陈文菊;郭淼;陈金霞;潘敏;陈裕泉;;多壁碳纳米管湿敏传感器的研究[J];传感技术学报;2005年04期
8 王展飞;李志宏;;一种用于差分电容检测的电荷Delta-Sigma调制器的研究[J];传感技术学报;2006年05期
9 卢崇考;高分子功能材料及在传感器中的应用一高分子功能材料种类和功能(连载一)[J];传感器技术;1997年01期
10 万徽,王兢,宝晓鹏;用复阻抗法分析纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理[J];传感器技术;2003年09期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 杨子健;韦波;王敬松;崔千红;杨建红;;基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制[J];半导体技术;2009年04期
2 单晓锋;杨建红;;电容型湿度传感器模型计算与分析[J];半导体技术;2010年11期
3 彭韶华;黄庆安;秦明;张中平;;CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器[J];半导体学报;2006年02期
4 王阳;柯导明;陈军宁;郑长勇;;集成电容式传感器的理论模型研究[J];传感技术学报;2008年12期
5 张广庆;赵成龙;秦明;;MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究[J];传感技术学报;2011年09期
6 杨子健;韦波;王敬松;崔千红;杨建红;;聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究[J];传感器与微系统;2009年04期
7 童筱钧;钟素娟;;新型抗腐蚀结构声表面波湿度传感器的研究[J];传感器与微系统;2011年01期
8 崔千红;杨子健;韦波;杨建红;;CMOS工艺制备聚酰亚胺电容型湿度传感器及其性能[J];电子元件与材料;2009年12期
9 王阳;陈军宁;柯导明;;集成电容式传感器边界电极的静电电容值分析[J];电子学报;2010年06期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 王阳;基于CMOS工艺的集成微电容式传感器研究[D];安徽大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 贾水英;CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器的研制[D];兰州大学;2011年
2 顾简;基于GPRS的农业微环境多参数无线监测系统研究[D];哈尔滨理工大学;2011年
3 程坤;MEMS电容式传感器接口集成电路研究[D];东南大学;2006年
4 孙凯;探空式气象检测微系统的研究与应用开发[D];东南大学;2006年
5 彭韶华;CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器研究[D];东南大学;2006年
6 黄慧锋;CMOS兼容湿度传感器封装的研究[D];东南大学;2005年
7 苏凤;电容湿度传感器性能研究[D];西南交通大学;2008年
8 杜鹏;硅衬底氧化锆薄膜湿敏元件研制及特性研究[D];大连理工大学;2008年
9 崔千红;聚酰亚胺电容型湿度传感器的研制[D];兰州大学;2010年
10 李淑青;8通道12位逐次逼近型模数转换器IP核的设计[D];山东大学;2012年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘岩;赵成龙;聂萌;秦明;;CMOS电容式湿度传感器特性研究[J];电子器件;2011年04期
2 孙慧明;张筱朵;吴剑;秦明;黄庆安;;基于MEMS工艺的压阻式湿度传感器的设计制作[J];传感技术学报;2008年05期
3 程坤;秦明;张中平;黄庆安;;一种湿度传感器接口电路的分析与改进[J];微电子学;2005年06期
4 金建东;郑丽;王震;;MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究[J];计测技术;2010年S1期
5 陈同心;杨俊德;;氯化锂湿度传感器及其应用[J];仪器仪表与分析监测;1986年04期
6 骆如枋;金属-Al_2O_3-硅结构湿度传感器[J];物理;1992年10期
7 顾磊,秦明,黄庆安;一种新型的CMOS集成湿度传感器[J];微纳电子技术;2003年Z1期
8 余丹铭,梁利华,许杨剑;微电子机械技术的研究和发展趋势[J];电子机械工程;2005年01期
9 德本;湿度传感器的现状和开发动向[J];仪表技术与传感器;1988年04期
10 成;;用有机聚合物制造湿度传感器[J];化学通报;1988年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 孔德义;梅涛;;MEMS技术及其在汽车传感器中的应用[A];2004“安徽制造业发展”博士科技论坛论文集[C];2004年
2 陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
3 梁杰;李中华;;MEMS的微管道流动特征数值模拟研究[A];2003空气动力学前沿研究论文集[C];2003年
4 于华男;张勇;马小艳;;制导弹药用MEMS惯性导航系统发展与关键技术综述[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
5 张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动跟踪研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
6 周锋;张淑娟;刘泰宏;丁立平;房喻;;基于静电纺丝法荧光湿度传感器的制备[A];中国化学会第28届学术年会第11分会场摘要集[C];2012年
7 胡星星;滕云田;;基于MEMS传感器的小型智能化强震仪[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
8 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
9 张文明;孟光;;MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究[A];第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN'2010论文集[C];2010年
10 陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集(下册)[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 中国电子科技集团公司第49研究所信息中心主任 曹金名;微电子机械系统开辟新世界[N];中国电子报;2003年
2 吴琼;高分子材料在湿度传感器中的应用[N];中国电子报;2000年
3 江西 李靖 编译;3种湿度传感器的应用电路[N];电子报;2011年
4 ;全数字三端式湿度传感器研制成功[N];中国电子报;2002年
5 ;Intel悄然推出手机MEMS模块[N];计算机世界;2004年
6 重庆中易电测技术研究所;湿度传感器与湿度变送模块[N];电子报;2000年
7 记者 卫新华;我市全面启动MEMS研发和产业化工作[N];重庆日报;2001年
8 ;测试会议聚焦MEMS[N];计算机世界;2003年
9 ;欧洲的MEMS工业[N];中国电子报;2002年
10 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王蕊;基于几种介孔结构材料的电阻型湿度传感器的性能研究[D];吉林大学;2010年
2 苏梅英;不同结构纳米ZrO_2材料的制备、湿敏特性及机理研究[D];大连理工大学;2012年
3 于景荣;质子交换膜与MEMS微型燃料电池的研究[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2003年
4 董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
5 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
6 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
7 丁喜波;电容式湿度传感器测试方法与测试系统研究[D];哈尔滨理工大学;2005年
8 王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
9 肖功利;MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究[D];复旦大学;2009年
10 李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄慧锋;CMOS兼容湿度传感器封装的研究[D];东南大学;2005年
2 王海燕;铁氧化物/硅纳米孔柱阵列复合体系的湿敏特性研究[D];郑州大学;2005年
3 汤忠斌;微电子机械系统材料力学性能测试方法的研究[D];西北工业大学;2004年
4 肖已文;基于DSP技术的湿度传感器测试系统硬件设计及固件开发[D];哈尔滨理工大学;2005年
5 李娜;MEMS中非线性微分方程变分解的存在性[D];河南大学;2010年
6 王阳;基于CMOS工艺的电容型湿度传感器研究[D];安徽大学;2005年
7 杜深慧;温湿度检测装置的设计与实现[D];华北电力大学(河北);2005年
8 丛松颖;碳纳米管在气湿敏传感器中的应用研究[D];大连理工大学;2008年
9 孙发威;扭臂式MEMS光开关的建模与优化[D];西安电子科技大学;2010年
10 彭韶华;CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器研究[D];东南大学;2006年
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