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《半导体学报》 2003年12期
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一个集成电路工艺诊断实例

严利人  李瑞伟  徐春林  
【摘要】:介绍了一种计算机自动 PCM(process control module)工艺参数分析系统 ,可用于集成电路制造过程中的工艺诊断和分析 .在具体处理上应用了主成分分析方法 ,能够从大量数据中提取其统计特征 ,根据这一特征可找出造成工艺波动的关键因素 .从所给出的具体诊断实例来看 ,该方法能够得出一般人工诊断所不能得出的诊断结论 ,效果较好 ,是实施严格生产控制的有效工具 .

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 具丽洁;严利人;;集成电路制造工艺状态的表达与跟踪监控[J];微电子学;2006年04期
【共引文献】
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10 金友玉;;湖北省区域经济差异综合评价及分类分析[A];2007中国科协年会专题论坛暨第四届湖北科技论坛优秀论文集[C];2007年
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7 任奔滔;中小企业社会资本与融资研究[D];武汉大学;2009年
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9 孟凡奇;基于GIS的泥石流预测预报[D];吉林大学;2011年
10 张亚刚;基于广域信息的电力系统故障元件定位方法研究[D];华北电力大学(北京);2011年
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 严利人,郭进,曹秉军;主成分分析在PCM测试数据处理中的应用[J];微电子学;2003年03期
【相似文献】
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1 严利人,郭进,曹秉军;主成分分析在PCM测试数据处理中的应用[J];微电子学;2003年03期
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6 骆鹿;樊可清;;快速定点独立分量分析在盲源分离中的应用[J];科技信息(科学教研);2008年02期
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10 蔡淋波;应自炉;;基于2D-Gabor滤波和主成分分析的人脸识别算法[J];长江大学学报(自然科学版)理工卷;2009年01期
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1 陈伟福;冯国灿;;局部光滑主成分分析[A];第十五届全国图象图形学学术会议论文集[C];2010年
2 陈明星;缪柏其;靳韬;;利率影响因素的主成分分析与因子分析[A];中国现场统计研究会第12届学术年会论文集[C];2005年
3 胡汪洋;景玎;冯民;于宏民;;沈阳市自然资源评价研究[A];科学发展与社会责任(B卷)——第五届沈阳科学学术年会文集[C];2008年
4 农吉夫;金龙;;均生函数与人工神经网络相结合的降水预报模型研究[A];第二十七届中国控制会议论文集[C];2008年
5 任丽娜;翟宇梅;王力维;;选择最优预报因子对华北1月份温度进行预报[A];第28届中国气象学会年会——S5气候预测新方法和新技术[C];2011年
6 张普敦;周艳明;;红外显微图像的主成分分析方法研究[A];第十届中国化学会分析化学年会暨第十届全国原子光谱学术会议论文摘要集[C];2009年
7 曹新向;苗长虹;;休闲城市评价指标体系及其应用研究[A];中国地理学会2007年学术年会论文摘要集[C];2007年
8 吕青涛;仲晓宁;张兆旺;孙秀梅;容蓉;;乙肝颗粒剂指纹图谱-模式识别研究[A];2011年中国药学大会暨第11届中国药师周论文集[C];2011年
9 孙洪元;杜文侠;刘克嘉;;人体健康功能态的主成分分析[A];第四届全国人—机—环境系统工程学术会议论文集[C];1999年
10 吴旗韬;张虹鸥;岑倩华;;泛珠三角区域竞争力梯度分布[A];中国地理学会2007年学术年会论文摘要集[C];2007年
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3 记者 王娟;北方微电子公司获国家科技进步二等奖[N];首都建设报;2010年
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7 北京交通大学经济管理学院 穆岩;改善人力资本状况 提升区域竞争力[N];经济日报;2004年
8 郭寅龙 王昊阳;建立中药质检认可体制[N];上海中医药报;2002年
9 记者 王宝琳;我首次采用基因组学技术研究中药[N];科技日报;2009年
10 王新亮 王娟;今年上半年度股价涨幅前20上市公司绩效分析(下)[N];财会信报;2007年
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1 姚焕玫;基于GIS技术的湖泊水质污染综合评价的研究[D];武汉大学;2005年
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9 王海贤;有限混合模型、非线性二维主成分分析及其在模式分类中应用[D];安徽大学;2005年
10 张亚刚;基于广域信息的电力系统故障元件定位方法研究[D];华北电力大学(北京);2011年
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1 秦昌才;中国上市公司股权治理的实证研究[D];东北财经大学;2005年
2 王欣;四川省上市公司运营状况及其对四川经济的贡献研究[D];西南交通大学;2005年
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10 肖强;渝西丘陵地区生态经济区划研究[D];西南大学;2006年
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