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《半导体学报》 2003年12期
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一种新的光学临近校正方法(英文)

李卓远  吴为民  王旸  洪先龙  
【摘要】:提出了一种新的光学临近矫正算法 .首先建立了一套高效并且适用性强的规则描述 ,然后提出了一种新的规则运用方法 .算法在规则数据表的基础上通过 v- SVR方法建立规则描述同矫正数据之间的数学表达式 ,使得对于任意输入的规则描述都能够精确计算出相应的矫正数据 .实验结果表明 ,该算法比传统的查表插值方法具有更高的精度 .

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1 李卓远,吴为民,王旸,洪先龙;一种新的光学临近校正方法(英文)[J];半导体学报;2003年12期
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