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《半导体学报》 2003年10期
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直流反应磁控溅射Zn_(1-x)Cd)_xO薄膜的研究

马德伟  叶志镇  黄靖云  赵炳辉  
【摘要】:用直流反应磁控溅射法在n Si(111)和玻璃衬底上生长高度择优取向的Zn1-xCdxO合金晶体薄膜 ,最佳生长温度为 45 0℃ (x=0 2 ) .当x≤ 0 6时 ,Zn1-xCdxO薄膜具有纯ZnO的六角结构 ,x =0 8时 ,薄膜是由ZnO六角结构晶体和CdO立方结构晶体组成的混合物 .透射光谱测试表明 ,通过改变合金薄膜中Cd的含量 ,可以调节Zn1-x CdxO薄膜的禁带宽度 .

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【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 唐海平;ZnO纳米材料的制备、物性及场发射原型器件研究[D];浙江大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 韩菲;稀土镝掺杂纳米氧化镉薄膜的制备及特性[D];内蒙古大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
2 邱东江,吴惠桢,杨爱龄,徐晓玲;低温生长的ZnO单晶薄膜的结构和性能[J];材料研究学报;2000年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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10 邵乐喜,张昆辉,黄惠良;铝掺杂氧化锌薄膜在玻璃衬底上的RF反应共溅射低温织构生长[J];半导体学报;2003年06期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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8 陈兴科;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及发光特性研究[D];郑州大学;2005年
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10 刘德华;一维氧化锌纳米线的研制、光致发光与场发射特性研究[D];武汉大学;2005年
【同被引文献】
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3 李瑛;冯士维;杨集;张跃宗;谢雪松;吕长志;卢毅成;;ZnO单晶薄膜光电响应特性[J];半导体学报;2006年01期
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8 杨田林,韩圣浩,高绪团,杨光德;有机衬底SnO_2掺Sb透明导电膜的制备[J];太阳能学报;2003年02期
9 余保龙,吴晓春,陈文驹,邹炳琐,张桂兰,汤国庆;半导体SnO_2纳米微粒的光学特性[J];物理学报;1995年04期
10 赖复兴!512024,童长钿!512024,郭学益!410083,刘志宏;高品质活性氧化镉电池材料的制备[J];有色冶炼;1999年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 马德伟;带隙可调的Zn_(1-x)Cd_xO合金半导体薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
2 莫春兰;硅衬底GaN基蓝光LED材料生长及器件研制[D];南昌大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
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5 陈瀚;;ZnO薄膜的制备及应用[J];材料开发与应用;2011年04期
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7 高频;王晓晖;杜玉杰;李彪;付晓倩;;NEA GaN光电阴极的制备与评估[J];红外技术;2011年06期
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5 赵东旭;刘益春;申德振;吕有明;范希武;;Mg~(2+)在Mg_xZn_(1-x)O合金薄膜中的扩散过程研究[A];第九届全国发光学术会议摘要集[C];2001年
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7 杨晓杰;许小亮;谢家纯;徐传明;徐军;刘洪图;;ZnO同质p-n结的研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
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1 北方交通大学  滕 枫 徐 征 赵谡玲;既熟悉又陌生的LED[N];计算机世界;2002年
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3 傅竹西;新一代宽禁带半导体材料[N];科技日报;2000年
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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2 濮春英;掺杂构型对ZnO电子结构和合金稳定性影响的第一性原理研究[D];大连理工大学;2012年
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6 张锡健;MgZnO薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2006年
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9 薛海林;金属—半导体—金属结构二氧化钛紫外光电探测器的研制[D];吉林大学;2008年
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1 叶羽敏;直流反应磁控溅射法制备Al-N和In-N共掺p型ZnMgO与ZnO薄膜[D];浙江大学;2006年
2 于晓龙;半导体异质结中极化子回旋共振及其压力效应[D];内蒙古大学;2005年
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5 杜伟;氮化锌粉末与氮化锌薄膜的制备[D];山东大学;2006年
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8 包晓清;氮化硅薄膜转移技术与多孔硅基一维光子晶体制备研究[D];华东师范大学;2005年
9 张志刚;磁控溅射法制备Mg_xNi_(1-x)O薄膜及其表征[D];山东大学;2006年
10 蔡冠华;Ge_3N_4的准粒子能带结构计算[D];复旦大学;2011年
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